Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Методические указания к выполнению практических и контрольных работ по дисциплине «Вакуумная техника» для студентов направления подготовки 11.03.04. Николаева Е.П., Николаева С.О

.pdf
Скачиваний:
9
Добавлен:
30.04.2022
Размер:
1 Мб
Скачать
☆

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к выполнению практических занятий по дисциплине «Вакуумная техника»

для студентов направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»,

профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника» заочной формы обучения

Составители: Николаева Елена Петровна

Николаева Светлана Олеговна

В авторской редакции

Компьютерная верстка Е. Е. Лавлинской

Подписано к изданию __.____.2019. Уч.-изд. л.

ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14

51

Соседние файлы в предмете Вакуумная техника