Материалы электронных средств
.pdf
100
Продолжение таблицы A.2.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
· |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
− 1 |
|
энергетических зон |
зоны,запрещенной эВ |
|
|
|
Ý)/dTd( |
|
|
ñ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
Полупроводник |
|
кристалличекойТип структуры |
|
|
Плотность, Мг/м3 |
Температура плавления,°C |
Удельнаятепло проводность,Вт/(м |
Температурныйкоэф. расширения,линейногоК |
|
Структура |
Ширина |
|
|
запрещеннойИзменение |
ýÂ/Ê |
|
|
|
|
|
дырок |
диэлектричесСтатическая проницаемостькая |
|
Высокочастотнаядиэлект |
проницаемостьрическая |
преломленияПоказатель приν |
|
|
|
|
|
|
|
çîíû, |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
Период |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Подвижность, |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
решетки Ч10, нм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Zñð |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
× |
|
электронов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
a |
c |
|
|
|
|
|
|
· Ê) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3,5 |
|
|
|
200 |
|
|
550 |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3,7 |
− |
|
4000 |
|
1400 |
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3,0 |
78000 |
|
|
750 |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
AlSb |
32 |
Ñô |
6,1355 |
— |
4,28 |
1065 |
56 |
4,2 |
|
Íåïð. |
1,61− |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
12,0 |
|
10,2 |
3,4 |
|||
GaSb |
41 |
Ñô |
6,0959 |
— |
5,61 |
712 |
35 |
6,2 |
|
Ïð. |
− |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
15,7 |
|
14,4 |
3,82 |
|||
|
0,726 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
InSb |
50 |
Ñô |
6,4794 |
— |
5,78 |
525 |
18 |
4,9 |
|
Ïð. |
0,172 |
|
|
140 |
|
|
100 |
|
|
17,7 |
|
15,7 |
3,96 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3,8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
BeO |
6 |
 |
2,69 |
4,39 |
3,03 |
2550 |
300 |
5,2 |
|
Ïð. |
6,0 |
|
|
|
— |
|
|
— |
|
|
— |
— |
|
— |
1,71 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5,2 |
− |
|
280 |
|
|
— |
|
|
|
|
|
|
|
|||
ZnO |
19 |
 |
3,253 |
5,213 |
5,68 |
2300 |
30 |
5,4 |
|
Ïð. |
3,43 |
|
— |
|
|
200 |
|
|
180 |
8,75 |
3,75 |
1,96 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5,0 |
|
300 |
|
|
50 |
|
|
|
|
|
|
|
||||
ZnS |
23 |
Ñô |
3,822 |
6,260 |
4,09 |
1830 |
16 |
6,2 |
|
Ïð. |
3,74 |
−60 |
|
|
|
|
|
|
|
|
9,6 |
|
5,4 |
2,4 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
4,1 |
|
1200 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
ZnS |
23 |
 |
5,4102 |
— |
4,10 |
1020* |
16 |
6,14 |
|
Ïð. |
3,68 |
− |
|
600 |
|
|
28 |
|
|
8,3 |
|
5,4 |
2,4 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
−Ïð. |
4,5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
CdS |
32 |
Ñô |
4,136 |
6,714 |
4,82 |
1750 |
20 |
5,4 |
2,48 |
|
|
|
|
900 |
|
|
50 |
|
|
8,8 |
|
5,3 |
2,5 |
||||
HgS |
48 |
Ñô |
5,850 |
— |
7,73 |
1480 |
— |
20 |
Ïð. |
4,6 |
|
|
— |
700 |
|
— |
31,0 |
|
— |
— |
|||||||
2,0 |
− |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
ZnSe |
32 |
 |
5,6687 |
— |
5,26 |
1520 |
19 |
7,14 |
Ïð. |
2,70 |
|
− |
530 |
|
30 |
|
|
8,1 |
|
5,4 |
2,89 |
||||||
CdSe |
41 |
Ñô |
4,299 |
7,011 |
5,81 |
1264 |
4,5 |
4,3 |
Ïð. |
4,1 |
|
|
|
|
9,7 |
|
6,2 |
— |
|||||||||
1,75 |
− |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
HgSe |
57 |
Ñô |
6,084 |
— |
8,25 |
790 |
2,0 |
1,8 |
Ïð. |
0,6 |
|
— |
|
|
20000 |
|
|
— |
26,0 |
|
— |
— |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
ZnTe |
41 |
Ñô |
6,1033 |
— |
5,63 |
1295 |
20 |
8,3 |
Ïð. |
2,28 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
9,67 |
7,28 |
— |
|||
CdTe |
50 |
Ñô |
6,4834 |
— |
5,86 |
1098 |
6,5 |
6,2 |
Ïð. |
1,51 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10,2 |
|
7,1 |
— |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
HgTe |
66 |
NaCl |
6,463 |
— |
8,09 |
670 |
2,2 |
6,8 |
Ïð. |
0,02 |
|
|
|
5,0 |
|
25000 |
|
|
200 |
48,0 |
|
— |
3,8 |
||||
PbS |
49 |
NaCl |
5,936 |
— |
7,61 |
1078 |
144 |
19,4 |
Ïð. |
0,41 |
|
|
|
4,2 |
|
600 |
|
|
700 |
180,0 |
|
20 |
4,1 |
||||
PbSe |
58 |
NaCl |
6,124 |
— |
8,15 |
1065 |
94 |
19,4 |
Ïð. |
0,28 |
|
|
|
4,0 |
|
1200 |
|
|
1000 |
227,0 |
|
24 |
4,6 |
||||
PbTe |
67 |
NaCl |
6,462 |
— |
8,16 |
920 |
115 |
19,8 |
Ïð. |
0,32 |
|
|
|
4,3 |
|
1800 |
|
|
900 |
428,0 |
|
35 |
5,3 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Примечания: Ал — алмаз; Сф — сфалерит; В — вюрцит; Гекс — гексагональная; * — температура фазового перехода.
A Приложение
.Ý hСправочные=
таблицы
101
2,4 (150 ...
|
− − |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2,6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
2,2 |
|
|
|
|
|
|
Таблица A.3. Свойства диэлектрических материалов. |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
0,97 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
300) |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
0,93 |
2,0 |
|
|
|
|
|
|
|
Температур |
|
|
|
ÌÃö |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ì |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2,5 |
|
|
|
|
|
Диэлектри |
|
ный коэффи |
· Удельное |
Тангенс угла |
Электри |
|
|
||||||||||||
1,10 |
|
(150 |
|
|
циент диэлек |
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
ческая |
|
объемное |
|
диэлектри |
|
ческая |
|
|
|||||||||||||
... |
|
Плотность, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
трической |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Примечание |
|||||
|
Материал |
|
Ìã/ì3 |
|
проница |
|
сопротивле |
ческих потерь, |
прочность, |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
проница |
105°C |
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
− |
|
|
емость |
|
|
|
|
íèå, |
Îì |
|
10 |
|
|
|
ÌÂ/ì |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
емости,1 |
ïðè f = 1 |
|
|
|
... |
|
||||||||||
|
|
|
|
2,2 |
600 |
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
· |
|
|
150 |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
α |
|
10 6 Ê − |
... |
|
|
|
4) |
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
... |
|
... |
|
|
|
|
l |
· |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
4 |
... |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
100 |
|
|
|
|
|
|
|
|
15 |
|
· |
|
− |
|
|
|
* |
|
|
|||||
Полиэтилен |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
14 |
|
(2 |
|
40 |
|
Нагревостой |
|||||||||||
0,92 |
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
130 |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
— |
|
|
|
|
|
|
|
5) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
3,5 |
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
... |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
кость 90 |
|||||
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
... |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
15 |
|
· |
|
− |
|
|
|
* |
|
|
||||
|
|
0,92 |
|
|
|
|
|
|
|
|
12 |
|
(3 |
|
11030 |
Нагревостой |
|||||||||||
Полипропилен |
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
3) |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
4 |
... |
|
|
кость 105°C |
|||
|
|
|
|
2,2 |
|
1,9 |
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
... |
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
· |
|
|
|
|
|
* |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
400 |
|
|
|
|
|
14 |
15 |
|
|
|
|
− |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
3,5 |
|
|
|
|
|
|
(2 |
|
2050 |
|
Нагревостой |
||||||||||||
Полистирол |
1,05 |
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
... ... |
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
3) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
80°C |
|
|
|
|
|
3,2 |
|
|
50 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
4 |
|
|
|
|
кость |
75°C |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 14 |
15 |
|
|
0,05 |
− |
|
|
|
* |
... |
|
||||||
Политетра |
|
2,151,3 |
3,4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
40 |
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
(2 |
|
|
|
|
Нагревостой |
||||||||||||
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
... |
|
|
|
50 |
|
Нагревостой |
|||
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
фторэтилен |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
... |
|
|
кость 300°C |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
· |
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
109 |
13 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Поливинил |
|
1,2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,01 |
|
|
20 |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
Прочность пр |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
180 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
хлорид |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
20) |
|
4 |
|
|
|
кость 60 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
... |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
− |
|
|
|
|
ÌÏà |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
12 |
14 |
10 |
|
|
|
|
* |
|
||||
Полиэтилен |
|
|
|
1,4 |
|
|
3,0 |
|
|
|
|
|
|
20 |
|
|
è |
||||||||||
|
|
|
1,22 |
3,0 |
|
|
|
|
|
|
10 |
|
· |
|
|
|
|
|
|
|
100°Cрастяжении |
||||||
терефталат |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
60) |
|
|
150 |
|
||||||||
|
|
|
6... |
|
|
|
— |
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
− |
|
|||||
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
3 |
... |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
äî 200 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
14 |
15 |
|
|
|
|
− |
|
|
|
* |
|
|
|
|
1,17 |
|
|
|
|
|
|
|
|
(2 |
|
30 |
|
|
ñòü |
|||||||||||
Поликарбо |
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
íàòû |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ÌÏà |
|
|
|
1,19 |
3,6 |
6,6 |
|
|
|
— |
10 |
12 |
|
|
0,02 |
|
|
|
40 |
|
íèæå |
|
||||||||
Поливинил |
|
|
1,76 |
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
0,17 |
|
|
25 |
|
Обладает |
||||||||
иденфторид |
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
пьезосвойствами |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Полиметил |
1,16 |
4 |
|
|
|
|
|
— |
1010 |
11 |
|
|
0,1 |
|
|
|
|
|
|
||||||||
1,18 |
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
0,01 |
|
|
15 |
|
Прочность вол |
|||||||||||
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
... |
|
|
|
25 |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
метакрилат |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
изгибе 100 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
||||||||
Полиамиды |
1,13 |
|
|
|
|
|
|
|
1011 |
12 |
|
|
0,02 |
|
|
20 |
|
|
ÌÏà |
îêîí |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
(капрон) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
при растяжении |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
äî 400 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
диэлектриков Свойства
102
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Продолжение таблицы A.3. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
Температур |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
ì |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
ный коэффи |
· Удельное |
ÌÃö |
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
Диэлектри |
Тангенс угла |
Электри |
|
||||||||||||
|
|
|
циент диэлек |
|
||||||||||||||
Материал |
Плотность, |
ческая |
трической |
объемное |
диэлектри |
ческая |
|
Примечание |
||||||||||
Ìã/ì3 |
проница |
сопротивле |
ческих потерь, |
прочность, |
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
проница |
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
емость |
|
íèå, |
Îì |
· |
|
|
= 1 |
ÌÂ/ì |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
ïðè f |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
емости,1 |
10 |
|
2) |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
200 |
|
|
|||
|
1,5 |
|
|
|
|
10 |
6 Ê − |
... |
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
α · |
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
l |
|
|
1015 |
16 |
|
|
|
− |
... |
* |
|
|
Полиимиды |
1,3 |
|
3,5 |
|
|
|
— |
(0,6 |
30 |
Кратковременная |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
0,03 |
|
|
|
нагревостойкость |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
25 |
|
||
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
... |
|
|
... |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
äî 500°C |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
12 |
13 |
|
|
|
|
... |
|
||
|
2,0 |
|
... |
|
|
|
|
10 |
|
|
|
0,5 |
|
|
|
|
|
|
Полиуретаны |
|
3 |
|
|
|
— |
10 |
|
|
0,02 |
20 |
|
Стойкость к окис |
|||||
|
1,2 |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
... |
|
|
6 |
|
|
|
|
... |
|
|
|
... |
|
|
17 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
лителям |
||||
|
|
|
... |
|
|
|
|
10 |
12 |
|
0,08 |
|
... |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
7 |
|
|
|
|
30 |
|
|
||
Фенопласты |
|
|
4 |
|
|
|
— |
10 |
|
|
|
0,01 |
|
Фенолформальде |
||||
1,4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
5 |
|
||||||||
|
... |
|
|
7 |
|
|
|
|
... |
|
|
... |
|
|
|
300°C |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
гидная смазка |
||
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
11 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
108 |
|
0,04 |
16 |
|
|
||||
Гетинакс |
|
|
|
|
|
— |
10 |
|
|
0,04 |
|
Вдоль слоев |
||||||
381, |
66 |
|
|
|
|
|
15 |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
... |
|
|
|
|
... |
|
|
... |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
11 |
|
0,02 |
... |
|
свойства хуже |
|||
|
9 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
Стеклотекс |
5,5 |
|
|
|
— |
8 |
|
|
|
|
1045 |
|
Нагревостой |
|||||
1, 6 |
|
|
|
10 |
|
|
0,02 |
|
||||||||||
|
... |
|
6,5 |
|
|
|
|
... |
|
|
... |
|
|
|
|
|
||
толит |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
... |
|
кость 180 |
||||
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
10 12 |
14 |
· |
|
|
250 |
|
|
||||
Эпоксидные |
21,8 |
|
|
|
|
|
— |
|
|
|
Возможно отверж |
|||||||
4 |
|
|
20 |
10 |
|
|
0,01 |
20 |
|
|||||||||
|
|
|
|
8 |
|
|
|
... |
|
6) |
|
... |
|
|
|
|||
компаунды |
... |
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
4 |
|
|
дение при 20°C |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10... |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 12 |
14 |
· |
|
− |
|
|
* |
|
||
Слюда |
2,6 |
|
|
|
|
10 |
|
|
100 |
Вдоль слоев |
||||||||
|
6 |
|
|
|
10 |
|
(1 |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
3) |
|
400 |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
свойства хуже |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
... |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1014 |
15 |
... 10 |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
· |
|
− |
|
|
* |
|
|||
Кварцевое |
3,02,2 |
|
3,8 |
|
|
|
— |
|
|
(2 |
|
|
|
Низкая теплопро |
||||
|
|
|
|
10 |
|
|
400 |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
7) |
|
|
|
||||
|
... |
|
11 |
|
|
500 |
... |
|
|
|
|
|
ÌÏà |
|||||
стекло |
|
|
|
|
|
|
|
3 |
... |
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
водность |
||||||
|
|
|
... |
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6 |
10 |
10 |
− |
|
|
* |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
Щелочные |
2,2 |
6 |
|
|
3 |
|
10 |
|
· |
|
|
|
40 |
|
Допускают спай |
|||
|
|
|
10 |
|
(2 |
|
|
|||||||||||
силикатные |
2,8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
80) |
|
85 |
|
с металлами |
||||
10 |
|
|
|
|
... |
|
|
|
||||||||||
стекла |
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
... |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ситаллы |
2,4 |
... |
|
|
|
— |
108 |
12 |
(1 |
|
− |
20 |
|
Прочность при |
||||
5 |
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
изгибе до 200 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
таблицы Справочные .A Приложение
103
|
80 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Продолжение таблицы A.3. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
8 |
|
120 |
|
|
|
— |
|
Температур |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
8,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3,4 |
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
ì |
|
|
ÌÃö |
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
... |
|
|
|
|
|
|
|
Диэлектри |
|
ный коэффи |
· Удельное |
Тангенс угла |
Электри |
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
циент диэлек |
|
|
||||||||||||||
Материал |
Плотность, |
|
|
ческая |
|
трической |
объемное |
|
диэлектри |
ческая |
Примечание |
||||||||||||||
Ìã/ì3 |
|
|
|
проница |
|
сопротивле |
ческих потерь, |
прочность, |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
80 |
|
|
|
|
|
|
проница |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
емость |
|
|
íèå, |
Îì |
ïðè f = 1 |
|
ÌÂ/ì |
|
|
||||||||
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
10 |
|
|
|
0,03 |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
100 |
|
|
|
емости, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
9,5 |
|
|
5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
85 |
Щелочные окси |
|
|||||
|
|
180 2,7 |
|
|
|
|
|
|
10 6 Ê |
− |
... |
|
|
|
|
... |
|
|
|||||||
|
|
... |
|
... |
|
|
|
|
|
α |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
l |
· |
|
|
|
|
10 |
|
... |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
109 |
|
· |
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
11 |
|
|
|
|
|
|
|
||||
Изоляторный |
2,4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,02 |
|
25 |
|
|
äû |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
Не содержит |
|||||||||||
|
|
|
|
100) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
10) |
|
30 |
|
|||||
фарфор |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
в стеклофазе |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
... |
|
|
|||||
|
|
|
|
± |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 12 |
13 |
|
|
10 |
− |
|
|
|
|
||
Ультрафарфор |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
25 |
|
|
|
|||||||
3,2 |
|
|
|
40 |
|
|
|
|
|
10 |
|
(1 |
|
|
Нагревостойко |
|
|||||||||
|
|
|
|
200)7 |
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
... |
|
30 |
|
||||
|
|
|
|
(70 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
щелочных добавок |
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
||||||
|
|
8 |
|
± |
70 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
600°C |
|
||||||
Алюминоксид |
|
|
8,5 |
|
|
|
|
|
10 13 |
|
· 1014 |
|
25 |
|
ñòü |
||||||||||
|
|
3,9 |
|
|
|
|
|
|
|
|
15 |
15 |
|
Ê) |
|||||||||||
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
· |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
100 |
|
|
|
|
2) |
|
|
45 |
Оптически |
|
||||
|
|
|
|
(1300 |
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
... |
|
4 |
... |
|
äî 1 |
|
||
|
|
|
|
− |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
− |
|
|
|
|
|||||
Поликор |
|
|
3,9 |
|
9 |
|
|
|
80 |
|
|
14 |
15 |
· |
|
|
30 |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
(1 |
|
|
Тепловродонос |
|
||||||||||
|
|
|
|
80 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3) |
|
|
45 |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... − |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
4 |
... |
|
прозрачен |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
− |
|
|
|
|
|||
Брокерит |
|
|
— |
|
|
|
6 |
|
|
|
|
|
|
|
16 |
· |
|
|
30 |
|
|
òü |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
(2 |
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
150 |
|
|
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8) |
|
|
40 |
Малая усадка |
|
|||
|
|
3,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
... |
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
äî 250 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
4 |
... |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
— |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
000 |
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
16 |
|
10 |
− |
|
|
|
|
||||||
Стеатитовая |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
· |
|
|
25 |
|
|
|
|||||
2,9 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
(6 |
|
|
Электрохимиче |
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
5) |
|
20 |
|
||||
керамика |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
при обжиге |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
... |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 13 |
15 |
|
10... |
|
|
|
|
||||
Рутиловая |
|
|
3,8 |
|
|
|
70 |
|
|
|
|
|
|
· |
|
− |
10 |
|
|
ñêîå |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
(4 |
|
Электрохимиче |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20 |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
керамика |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
4) |
4 |
|
старение |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
... |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 11 |
13 |
|
|
|
0,3 |
− |
|
|
|
|
|
Первоскито |
|
|
3,8 |
|
|
|
140 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
ñêîå |
|||||
|
|
|
6 |
|
äî |
20 |
|
|
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
10 |
Нелинейные |
|
|||
вая керамика |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
старение |
|
|
|
... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
... |
|
|
||||
Сегнетоке |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
109 |
11 |
|
|
|
0,05 |
|
|
|
|
|
||
|
5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|||||||
рамика |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
свойства |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
* Верхние пределы электрической прочность указаны для тонких пленок.
диэлектриков Свойства
Приложение A. Справочные таблицы
I |
II |
III |
IV |
V |
VI |
1 |
|
|
|
|
|
H |
|
|
|
|
|
|
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
|
Be |
B |
C |
N |
O |
|
|
13 |
14 |
15 |
16 |
|
|
Al |
Si |
P |
S |
|
|
31 |
32 |
33 |
34 |
|
|
Ga |
Ge |
As |
Se |
|
|
49 |
50 |
51 |
52 |
|
|
In |
Sn |
Sb |
Te |
|
|
81 |
82 |
83 |
|
|
|
Tl |
Pb |
Bi |
|
Таблица A.4. Группы аморфных тел
|
IIB |
IIIA |
IVA |
VA |
VIA |
|
2 |
|
5 |
6 |
7 |
|
|
|
B |
C |
N |
|
||
|
|
|
||||
3 |
|
13 |
14 |
15 |
16 |
|
|
Al |
Si |
P |
S |
||
|
|
|||||
4 |
30 |
31 |
32 |
33 |
34 |
|
Zn |
Ga |
Ge |
As |
Se |
||
|
||||||
5 |
48 |
49 |
50 |
51 |
52 |
|
Cd |
In |
Sn |
Sb |
Te |
||
|
||||||
6 |
80 |
|
|
|
|
|
Hg |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
Таблица A.5. Элементы, образующие полупроводниковые соединения.
104
Литература
1.Беккер Я. М. Материалы для микроэлектронных ЭВМ (физические свойства). — Ленинград: ЛИТМО, 1979. — 64 с.
2.Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А. Физические основы микроэлектроники. — М.: Издательский центр «Академия», 2008. — 400 с.
3.Пасынков В. В., Сорокин В. С. Материалы электронной техники. — 6-е, стер. изд. — СПб.: Издательство «Лань», 2004. — 368 с.
4.Сорокин В. С., Антипов Б. Л., Лазарева Н. П. Материалы и элементы электронной техники. — М.: Издательский центр «Академия», 2006. — Т. 1. Проводники, полупроводники, диэлектрики. — 448 с.
5.Горелик С. С., Дашевский М. Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков. — М.: «МИССИС», 2003. — 480 с.
6.Скворцов А. М. Физика отказов и надежность больших интегральных схем. Учебное пособие. — Л.: ЛИТМО, 1987. — 99 с.
7.Ткалич В. Л., Коробейников А. Г., Гатчин Ю. А. Исследование концентраторов механических напряжений и микродеформаций элементной базы микро- и наноэлектроники // Научнотехнический вестник. — 2006. — № 30. Фундаментальные и прикладные исследования информационных систем и технологий.
8.Коробейников А. Г., Титов А. Н, Гатчин Ю. А. Методы исследования характеристик оптических кристаллов калий-
105
ЛИТЕРАТУРА
гадолиниевого вольфрамата // Известия ВУЗов. Приборостроение. — 2006. — № 3. — С. 70–73.
9.Титов А. Н., Гатчин Ю. А. Выращивание, спектроскопия и эффективная перестраиваемая генерация кристаллов KYW:Yb:Tm вблизи 1,9 мкм // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. — 2006. — № 14. Информационные технологии, вычислительные и управляющие системы.
10.Справочник по электротехническим материалам / Под ред. Ю. В. Корицкого, В. В. Пасынкова, Б. М. Тареева. — 3-е, перераб. изд. — Л.: Энергоатомиздат. Ленингр отд-ние, 1988. — Т. 3. — 728 с.
11.Пасынков В. В., Чиркин Л. К. Полупроводниковые приборы. — СПб.: «Лань», 2002.
12.Булычев А. Л. и др. Электронные приборы. — М.: Лайт Лтд., 2000. — 200 с.
106
В 2009 году Университет стал победителем многоэтапного конкурса, в результате которого определены 12 ведущих университетов России, которым присвоена категория «Национальный исследовательский университет». Министерством образования и науки Российской Федерации была утверждена Программа развития государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики» на 2009–2018 годы.
Кафедра проектирования компьютерных систем
1945–1966 РЛПУ (кафедра радиолокационных приборов и устройств). Решением Советского правительства в августе 1945 г. в ЛИТМО был открыт факультет электроприборостроения. Приказом по институту от 17 сентября 1945 г. на этом факультете была организована кафедра радиолокационных приборов и устройств, которая стала готовить инженеров, специализирующихся в новых направлениях радиоэлектронной техники, таких как радиолокация, радиоуправление, теленаведение и др. Организатором и первым заведующим кафедрой был д. т. н., профессор С. И. Зилитинкевич (до 1951 г.). Выпускникам кафедры присваивалась квалификация инженер-радиомеханик, а с 1956 г. — радиоинженер (специальность 0705).
В разные годы кафедрой заведовали доцент Б. С. Мишин, доцент И. П. Захаров, доцент А. Н. Иванов.
1966–1970 КиПРЭА (кафедра конструирования и производства радиоэлектронной аппаратуры). Каждый учебный план специальности 0705 коренным образом отличался от предыдущих планов радиотехнической специальности своей четко выраженной конструкторско-технологической направленностью. Оканчи-
107
вающим институт по этой специальности присваивалась квалификация инженер-конструктор-технолог РЭА.
Заведовал кафедрой доцент А. Н. Иванов.
1970–1988 КиПЭВА (кафедра конструирования и производства электронной вычислительной аппаратуры). Бурное развитие электронной вычислительной техники и внедрение ее во все отрасли народного хозяйства потребовали от отечественной радиоэлектронной промышленности решения новых ответственных задач. Кафедра стала готовить инженеров по специальности 0648. Подготовка проводилась по двум направлениям — автоматизация конструирования ЭВА и технология микроэлектронных устройств ЭВА.
Заведовали кафедрой: д. т. н., проф. В. В. Новиков (до 1976 г.), затем проф. Г. А. Петухов.
1988–1997 МАП (кафедра микроэлектроники и автоматизации проектирования). Кафедра выпускала инженеров, конструкторов, технологов по микроэлектронике и автоматизации проектирования вычислительных средств (специальность 2205). Выпускники этой кафедры имеют хорошую технологическую подготовку и успешно работают как в производстве полупроводниковых интегральных микросхем, так и при их проектировании, используя современные методы автоматизации проектирования. Инженеры специальности 2205 требуются микроэлектронной промышленности и предприятиям-разработчикам вычислительных систем.
Кафедрой с 1988 г. по 1992 г. руководил проф. С. А. Арустамов, затем снова проф. Г. А. Петухов.
С1997 ПКС (кафедра проектирования компьютерных систем).
Кафедра выпускает инженеров по специальности 210202 «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств». Область профессиональной деятельности выпускников включает
всебя проектирование, конструирование и технологию электронных средств, отвечающих целям их функционирования, требованиям надежности, проекта и условиям эксплуатации. Кроме того, кафедра готовит специалистов по защите информации, специальность 090104 «Комплексная защита объектов информатизации». Объектами профессиональной деятельности специалиста по защите информации являются методы, средства и системы обеспечения защиты информации на объектах информатизации.
С1996 г. кафедрой заведует д. т. н., профессор Ю. А. Гатчин. За время своего существования кафедра выпустила 4364 инженеров.
108
На кафедре защищено 65 кандидатских и семь докторских диссертаций.
На кафедре проектирования компьютерных систем осуществляется магистерская подготовка по направлению 210200.05 — «Информационные технологии проектирования электронных средств».
Кафедра измерительных технологий и компьютерной томографии
Кафедра измерительных технологий и компьютерной томографии, в прошлом кафедра часового производства и приборов точной механики, была создана одновременно с основанием университета, который ведет свою историю от образования в 1900 г. ремесленного училища цесаревича Николая. Основателем кафедры является Норберт Болеславович Завадский — первый заведующий механико-оптического отделения этого училища.
В1920 г. после революции механико-оптическое отделение было реорганизовано в техникум точной механики и оптики, который с 1925 г. начал подготовку инженеров-приборостроителей. В дальнейшем техникум был преобразован и уже в 1933 г. стал институтом точной механики и оптики. В течение этого времени кафедрой заведовал профессор Н. Б. Завадский.
В1930 кафедра получила название Приборов точной механики, и ее возглавил Лаврентий Павлович Шишелов. В этот период времени на кафедре читались дисциплины «Теория часовых механизмов», «Электроизмерительные приборы» и «Механические приборы». В 1935 г. из состава кафедры выделилось направление гироскопических устройств и навигационных приборов. В 1940 г. на кафедре защитил кандидатскую диссертацию Захар Маркович Аксельрод, впоследствии доктор технических наук, возглавлявший кафедру во время войны.
После войны кафедра приборов точной механики выпускала специалистов по часовому производству и производству точного мерительного инструмента. На кафедре читались курсы «Приборы времени», «Теория и проектирование приборов времени», «Приборы для измерения малых промежутков времени», «Приборы для измерения скоростей и ускорений», «Тахометры», «Основы конструирования приборов точной механики».
В1976 г. кафедру возглавил профессор Борис Александрович Арефьев, известный специалист в области автоматического
109