- •30.Определение плазмы
- •2. Элементарные процессы в газоразрядной плазме
- •2.1. Определение плазмы по Ленгмюру
- •2.2. Взаимодействие частиц, эффективное сечение
- •2.3. Упругие взаимодействия
- •2.4. Неупругие взаимодействия
- •2.5. Неупругие столкновения тяжелых частиц
- •2.6. Химические реакции в плазме
- •38. Автоэлектронная эмиссия
- •43. 1.5 Электродуговое напыление
- •Электронный2.4 Плазмоионное распыление в несамостоятельном газовом разряде
- •50. Генераторная лампа
2. Элементарные процессы в газоразрядной плазме
2.1. Определение плазмы по Ленгмюру
Плазма – четвертое состояние вещества, ионизованный газ. Во вселенной – 99,9 % вещества – плазма. На земле – около 0 %.
Квазинейтральность – основное свойство плазмы. zini 0. Условие квазиэлектронейтральности означает малость суммарного заряда плазмы по сравнению с суммой зарядов одного знака.
Потенциал электрического поля, существующего в окрестности любого заряда в плазме
= (zie/r) exp(– r/D),
потенциал Дебая – Хюнкеля (кулоновский потенциал 0 = zie/r).
Дебаевский радиус экранирования заряда D для равновесной изотетмичной плазмы равен
D = (kT/8zi2e2ni)1/2,
для неравновесной плазмы, но при максвелловском распределении частиц внутри каждой из групп частиц
D = [kTeTi/8zi2e2(Te + Ti)ni]1/2.
На расстоянии D потенциал убывает в e раз по сравнению с кулоновским потенциалом. D – характеризует линейный масштаб декомпенсации нейтральности плазмы.
Определение плазмы по Ленгмюру: совокупность заряженных и нейтральных частиц, для которой выполняется условие квазинейтральности zini 0 и D << L (характерного размера плазмы).
2.2. Взаимодействие частиц, эффективное сечение
Типы взаимодействия частиц: кулоновские, упругие и неупругие. Ближние и дальние кулоновские взаимодействия. Траектории движения частиц.
Вероятности взаимодействия характеризуются так называемыми эффективными сечениями взаимодействия (из кинетической теории газов).
Рассмотрим (рис. 2.1) мишень с однородной плотностью = MN неподвижных частиц, пучок взаимодействующих частиц с концентрацией n и скоростью u.
Рис. 2.1. Воображаемое сечение элементарного параллелепипеда единичной площади при взаимодействии частиц.
Число частиц испытывающих взаимодействия пропорционально плотности частиц мишени, плотности частиц самого потока и длине dx, на котором рассматривается взаимодействие
dn = nN dx = nNu dt.
Коэффициент пропорциональности это эффективное сечение данного взаимодействия для отдельной частицы.
Вероятность взаимодействия
Pc = N/p0,
где p0 – приведенное давление (Торр).
p0 = 273 p/T,
где температура T и давление p при данных условиях. Pc – среднее число взаимодействий частицы на расстоянии 1 см при давлении 1 Торр и 0 С.
Длина свободного пробега lср
lср = 1/N = 1/ Pcp0.
2.3. Упругие взаимодействия
Кулоновские взаимодействия и рассеяние электронов и ионов на нейтралах.
F = z1z2e2/r2, упр< кулон
Эффект слабого рассеяния электронов при малых энергиях в инертных газах, назван эффектом Рамзауэра (рис. 2.2). Он объясняется чисто квантовыми явлениями – дифракцией электронов на атомах. При больших энергиях применимо классическое рассмотрение, т.к. длина волны электронов становиться много меньше размера атомов.
Рис.2.2. Зависимость сечения рассеяния электронов на различных частицах от скорости электронов.
упр для электронов имеет характерные значения порядка 10–15 см2.
