- •Методичні вказівки
- •1.2 Метод амперметра-вольтметра і особливості його реалізації
- •1.2.1 Визначення повного електричного опору за результатами дослідження вольт-амперної характеристики
- •1.2.2 Вимірювання статичної вольт-амперної характеристики і визначення повного електричного опору зразка за отриманими результатами
- •1.2.3 Вимірювання динамічної вольт-амперної характеристики і визначення повного електричного опору зразка за отриманими результатами
- •1.3 Метод одинарного моста постійного струму і особливості його реалізації
- •1.4 Порядок виконання роботи
- •1.4.1 Завдання для виконання роботи
- •1.4.2 Порядок дій
- •Запитання для самоперевірки
- •Визначення питомого електричного опору однорідних тонких напівпровідникових шарів чотиризондовим методом
- •2.1 Загальні відомості
- •2.2 Вплив форми та реальних розмірів планарної поверхні тонких напівпровідникових шарів при визначенні поверхневого і питомого опорів однокомбінаційним чотиризондовим методом
- •2.2.1 Лінійне розташування системи зондів з однаковими міжзондовими відстанями
- •2.2.2 Розташування системи зондів у вершинах квадрату
- •2.3 Методика визначення поверхневого і питомого опорів однорідних тонких напівпровідникових шарів чотиризондовим методом
- •2.3.1 Однокомбінаційний чотиризондовий метод
- •2.3.2 Двохкомбінаційний чотиризондовий метод
- •2.4 Порядок виконання роботи
- •2.4.1 Завдання для виконання роботи
- •2.4.2 Порядок дій
- •Запитання та завдання для самоперевірки
1.2 Метод амперметра-вольтметра і особливості його реалізації
1.2.1 Визначення повного електричного опору за результатами дослідження вольт-амперної характеристики
Згідно до викладеного вище при реалізації методу амперметра-вольтметра повний електричний опір досліджуваного зразка розраховується за формулою (1.1) при використанні експериментальних значень UΩ і IΩ(UΩ), що відповідають омічній ділянці вольт-амперної характеристики I = I(U), котра у випадку однорідного напівпровідника та омічних контактів описується співвідношенням
,
(1.4)
де R(U) = const.
Ця ділянка вольт-амперної характеристики має місце, коли діапазон робочих значень U відповідає нерівності
0 < U < U*, (1.5)
де U* - напруга, при помітному перевищенні якої слабке електричне поле (суттєво менше за 1000 В/см) у напівпровідниковому матеріалі змінюється сильним (більше 1000 В/см), що приводить до суперлінійного зростання струму з підвищенням напруги на зразку [7], а це у свою чергу – до зменшення R при збільшенні U.
Якісний вигляд типової вольт-амперної характеристики так званої однорідної напівпровідникової структури на основі однорідного напівпровідникового матеріалу з омічними контактами наведено на рисунку 1.2.
Таким чином, вимірювання вольт-амперної характеристики досліджуваного зразка і встановлення діапазону значень U, що відповідає умові (1.5), є важливим етапом експерименту з визначення питомого електричного
о
Рисунок 1.2 –
Якісний вигляд типової вольт-амперної
характеристики однорідної
напівпровідникової структури
1.2.2 Вимірювання статичної вольт-амперної характеристики і визначення повного електричного опору зразка за отриманими результатами
Для вимірювання статичної вольт-амперної характеристики досліджуваних зразків використовується так звана схема амперметра-вольтметра 6, котра у модифікованому сучасному вигляді зображена на рисунку 1.3.
Для живлення вимірювального кола за наведеною на рис. 1.3 схемою може бути використане джерело стабілізованої постійної напруги 1 подібне за своїми технічними характеристиками, наприклад, до типу ТЕС-5020, яке у разі останнього забезпечує можливість змінювати напругу на вихідних клемах від нуля до 60 В і силу струму у зовнішньому колі від нуля до 6 А. Резистивний дільник напруги 2 призначений для реалізації можливості забезпечувати більш точне регулювання напруги UК, що подається на вхід вимірювального кола, у порівнянні з регулятором напруги джерела 1. Таким дільником може бути, наприклад, реостат або змінний резистор.
При цьому повний опір RД
дільника напруги 2 має забезпечувати
силу струму IК
у вимірювальному колі не меншу за
величину
,
яка може бути розрахована за формулою
,
(1.6)
де Rmin – найменше можливе значення повного електричного опору досліджуваного зразка.
Рисунок 1.3 – Схема амперметра-вольтметра
для вимірювання статичної вольт-амперної характеристики:
1 – джерело стабілізованої постійної напруги; 2 - резистивний дільник напруги; 3 – цифровий вольтметр для виміру напруги, що подається до кола досліджуваного зразка; 4 – досліджуваний зразок; 5 – змінний еталонний резистор; 6 – цифровий вольтметр для виміру напруги на еталонному резисторі
Тоді максимально припустима
величина електричного опору дільника
розраховується, виходячи зі співвідношення
,
(1.7)
де
,
(1.8)
UE – напруга на змінному еталонному резисторі 5 з опором RE << Rmin, яким може бути, наприклад, магазин еталонних опорів типу Р-33.
Оскільки RE << Rmin, то UE << U* і тому співвідношення (1.8) спрощується до такого
(1.9)
Очевидно, що наслідком співвідношень (1.7) і (1.9) є таке
,
(1.10)
звідки випливає, що при визначенні повного електричного опору досліджуваного зразка резистивний дільник напруги 2 повинен мати опір
(1.11)
Цифровий
вольтметр
3 для виміру напруги UК,
що подається до кола досліджуваного
зразка 4, повинен мати
внутрішній опір
>>
і
може
бути подібним за своїми технічними
характеристиками до вимірювального
приладу типу В7-37,
діапазон виміру постійної напруги у
якого складає 10-4
- 103
В при класі точності
рівному 0,5, що забезпечую проведення
вимірів з відносною інструментальною
похибкою 0,5 %, а RВ
= 10 МОм.
Зі схеми на рис. 1.3 видно, що напруга U на досліджуваному зразку точно може бути визначеною за формулою
,
(1.12)
а сила струму I в зразку визначається за формулою
(1.13)
Напруга UE
на змінному еталонному резисторі 5
вимірюється цифровим вольтметром 6,
котрий повинен
мати внутрішній опір
>>
і
може
бути подібним за своїми технічними
характеристиками до вимірювального
приладу типу В7-38,
діапазон виміру постійної напруги у
якого складає 10-5
- 103
В при класі точності
рівному 0,07 %, що забезпечую проведення
вимірів з відносною інструментальною
похибкою 0,07 %, а RВ
= 10 МОм. Таким чином, еталонний резистор
5 разом з вольтметром 6 виконують функцію
амперметра, внутрішній опір якого
дорівнює RE
і на відміну від опору існуючих
амперметрів, як приладів, може бути
суттєво нижчим завдяки використанню
існуючих еталонних резисторів з RE
<< 1 Ом. Ця обставина є дуже важливою
з точки зору полегшення визначення
повного опору досліджуваного зразка
за його вольт-амперною характеристикою.
Дійсно, після підстановки U
і I
відповідно до формул (1.12) і (1.13) у формулу
(1.1) з урахуванням умови (1.5) маємо
(1.14)
Якщо RE
<< R,
то UE
<< U,
а оскільки при цьому UК
U, то
UE
<< UК
і тоді
>>
1, у зв’язку з чим формула (1.14) спрощується
і приймає вигляд
(1.15)
Таким чином, визначення повного електричного опору досліджуваного зразка за результатами вимірювання його статичної вольт-амперної характеристики для наступного розрахунку за формулою (1.2) питомого опору напівпровідникового матеріалу, з якого виготовлено цей зразок, складається з трьох етапів:
1) знаходження за результатами виміру вольт-амперної характеристики зразка I = I(U) діапазону робочих значень напруг U, котрому відповідає омічна ділянка вольт-амперної характеристики, що описується співвідношенням (1.4);
2) вибір найбільш оптимального значення U = UК-UE і відповідного йому значення I = UE/RE;
3) максимально точний розрахунок повного опору R досліджуваного зразка за формулою (1.14) або з деяким наближенням – за формулою (1.15).
Вимір вольт-амперної характеристики на першому етапі дослідження здійснюється шляхом ступінчастої зміни напруги UК від нуля до UК > U* з відповідною ступінчастою реєстрацією величин UE, за якими згідно до формули (1.13) розраховуються значення I(U).
Стосовно до другого етапу слід відмітити, що під найбільш оптимальним значенням U UК розуміється таке, при якому з мінімально можливою похибкою визначається величина I та є відсутнім можливий помітний розігрів зразка відповідно до закону Джоуля-Ленца, котрий веде до монотонної зміни сили струму при фіксованому значенні U.
Абсолютна і відносна похибки визначення питомого опору досліджуваного напівпровідникового матеріалу у разі використання двох вимірювальних приладів згідно до [8, 9] можуть бути розрахованими при цьому наступним чином.
Відносна похибка розрахованого за формулою (1.15) значення повного електричного опору розраховується за співвідношенням
,
(1.16)
де
і
- абсолютні інструментальні похибки
вольтметра
для виміру напруги, що подається до
кола досліджуваного зразка, та вольтметра
для виміру напруги на еталонному
резисторі, відповідно;
і
- абсолютні похибки відліку UК
та UЕ,
відповідно.
В більшості випадків у співвідношенні (1.16) абсолютні похибки відліку зазначених величин дорівнюють половині ціни ділення або кроку відповідного вимірювального приладу. А величини абсолютної інструментальної похибки для кожного вимірювального приладу визначаються виходячи з його класу точності за формулою
,
(1.17)
де
- абсолютна інструментальна похибка
вимірювального приладу;
- клас точності вимірювального приладу;
- максимальне значення шкали вимірювального
приладу.
Далі, якщо припустити, що у формулі (1.2) величини S і l не мають похибки вимірювання, то відносна похибка визначення ρ за цією формулою дорівнює відповідній похибці визначення R
.
(1.18)
Абсолютну похибку розрахованого значення ρ можна визначити за формулою
.
(1.19)
Абсолютну похибку вимірювання округлюють до однієї значущої цифри, а чисельне значення результату вимірювання округлюють так, щоб розряд його останньої цифри відповідав розряду останньої цифри похибки.
