При записи программы на модуль нанесения фоторезиста

1. В ответ на запрос табл.3 задаем номер и тип, соответствующий модуль нанесения (4):

1,4 <ВК> (программа №1 на модуль нанесения)

При этом на экране появится таблица 6

Таблица 6

Блокировки
Вид работ
Работа
Библиотека техн. пр-мм
Ввод и корректировка
программы
Агрегат нанесения
Коды функций
3. Отмывка обр. стор
9. Подача фоторезиста
18. Инструмент в исхода.
20. Время
21. Скорость
22. Ускорение

- ПРОГРАММЫ.1,4 НЕТ В БИБЛИОТЕКЕ

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ:

2. Водится программа, составленная в соответствии с вариантом задания.

Пример ввода программы:

-ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 10, 21,1500 <ВК>

-ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 20, 9, 1 <ВК>

-ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 30,20, 50 <ВК>

-ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 40, 18,1 <ВК><ВК>

-ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 50,21,3000 <ВК> -ВВЕДИТЕ ШАГ ПР-МЫ: 60,20,100 <ВК>

-ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 70,21, 0 <ВК>

-НОМЕР ПР-МЫ: <ВК> -ЗАНЕСТИ ПРОГРАММУ В БИБЛИОТЕКУ?

(1 -ДА, остальные -НЕТ)

-ПРОГРАММА 1,4 ЗАПИСЫВАЕТСЯ В БИБЛИОТЕКУ Необходимо ответить <ВК>

При этом осуществляется переход к табл.2 с запросом

-ВВЕДИТЕ КОМАНДУ:

Следует ответить еще раз, нажав клавишу

После этих ответов выйдет табл. 1. Очевидно, чтобы выйти в режим присвоения

программ, необходимо на запрос табл. 1 ответить:

-ВВЕДИТЕ КОММАНДУ: 4 <ВК>

При этом на экране появится табл.7.

Таблица 7

Блокировки
Вид работ
Работа Присвоение техн пр-мм
Коды агрегатов
1.	Очистка
2.	Горячая плита 1
3.	Холодная плита 1
4.	Нанесение
5.	Горячая плита 2

-ВВЕДИТЕ КОД АГРЕГАТА, НОМЕР ПРОГРАММЫ:

Пример присвоения программ

-ВВЕДИТЕ КОД АГРЕГАТА, НОМЕР ПРОГРАММЫ: 1,6 <ВК> ПРОГРАММ 1,6 ПРИСВОЕНА

-ВВЕДИТЕ КОД АГРЕГАТА, НОМЕР ПРОГРАММЫ: 2,3 <ВК>

-ВВЕДИТЕ КОД АГРЕГАТА, НОМЕР ПРОГРАММЫ: 3,1 <ВК>

-ВВЕДИТЕ КОД АГРЕГАТА, НОМЕР ПРОГРАММЫ: 4,1 <ВК>

-ВВЕДИТЕ КОД АГРЕГАТА, НОМЕР ПРОГРАММЫ: 5,3 <ВК>

Для выхода из режима на повторение запроса

-ВВЕДИТЕ КОД АГРЕГАТА, НОМЕР ПРОГРАММЫ:

Отвечаем, нажимаем клавишу <ВК>

После ввода и присвоение программ на агрегате можно начинать обработку. Для этого в ответ на запрос табл.2.

-ВВЕДИТЕ КОМАНДУ

Отвечаем 2 <ВК>. При этом на экране появится табл.8.

Таблица 8

Блокировки	АЗОТ ДАВЛЕНИЕ ВАКУУМ
Вид работ	12345
Работа Управление автоматом	сост скор.т ТЕХН.ПР.<6><З><1><1><З>
Коды оператора 1. Начало работы 2. Останов завершением обработки 3. Экстренный останов 4. Продолжение работы 5. останов транспорта	ОБРАТНО ПЛ О

-ВВЕДИТЕ КОМАНДУ:

Для начала обработки на запрос табл.8 отвечаем 1<ВК>

При этом на агрегате нанесения автоматически начнете! последовательная загрузками обработка пластин на модулях, которым присвоены программы.

В случае появления аварийной ситуации на экране в графе «БЛОКИРОВКИ» выйдет сообщение об аварии и работа прекратится. В этом случае необходимо вернуться к табо.1 и войти в режим «СНЯТИЙ БЛОКИРОВКИ» (см. теоретические сведения)