Цели травления

Травление применяется:

• Для снятия поверхностного слоя загрязнений, окислов, жировой пленки и т.п. (например, окалины с полуфабриката в металлургии);

• Для выявления структуры материалов (например, структуры металлов и сплавов при металлографии);

• Для нанесения рельефного рисунка при художественной обработке материалов (обычно металлов).

• Для формирования проводящих дорожек и контактных площадок при производстве печатных плат

• Для формирования проводящих дорожек, контактных площадок и окон в слоях окисла для диффузии при изготовлении интегральных схем методом фотолитографии;

• Для изготовления мембран (вытравливание сверхмалых отверстий с применением метода фотолитографии);

• Для химической полировки поверхности и удаления нарушенного в ходе предшествующей механической обработки слоя.

Глава 1 Физико-химические свойства титана

Элементарный титан обладает свойствами настоящего, и при­том довольно активного металла, почему и получил название ме­таллического. Титан в компактном состоянии по внешнему виду напоминает сталь. Аморфный титан представляет собой мелкий серо-черный порошок, очень похожий на восстановленное железо.

1. Физические свойства титана

Таблица 1 – Основные физические свойства титана

Температура плавления, °С	1667
Температура кипения, °С	3285
Энтальпия плавления, кДж/моль	20,9
Энтальпия испарения, кДж/моль	428,9
Энтальпия атомизации, кДж/моль	469,9
Плотность, г/см3	4,54
Электрическое сопротивление, мкОм см	42,0
Модуль Юнга, ГПа	120,2
Стандартный электродный потенциал, В	-0,88
Тип кристаллической решётки	Гексагональная
Температура фазового перехода (гексагональной решётки в кубическую), °С	885

В земной коре титан довольно распространен. Встречается главным образом в виде минералов рутила ТiО₂, ильменита FeTiO₃ и перовскита CaTiO₃

Титан в виде слитков - твердый серебристо-белый металл, ковкий и пластичный, чистый титан хорошо поддается механической обработке. Следует отметить, что у металла, содержащего в качестве примесей О, N, С, Н, пластичность, ковкость, тягучесть, твердость, прочность на разрыв и другие механические характеристики резко изменяются. Среди тугоплавких металлов гагам < т наиболее легких. ПДК в воде - 0,06 мг/л.

Самая устойчивая степень окисления титана +4, хотя соединения с Ti⁺² и Ti⁺³ также существуют. Они намного устойчивей, чем соединения аналогов титана (в первую очередь, циркония и гафния) в этих же степенях окисления. Аквакатион [Ti(H₂O)₆]³⁺ существует в кислых растворах, из которых выделены соответствующие сульфаты и галогениды. С увеличением степени окисления окислительные и кислотные свойства увеличиваются (например, Ti⁺² неплохой восстановитель, а Ti⁺⁴ никаких восстановительных свойств не проявляет. Гидроксид Ti(ОН)₃ сильнее, чем ТiO₂ * nH₂O проявляет основные свойства).

Наиболее характерное координационное число для титана – 6, также встречается и 4.