Описание лабораторного макета и оборудования

В зависимости от вида выполняемого задания в рамках данной лабораторной работы комплектация лабораторного оборудования может незначительно изменяться, однако в любом случае студенту выдается:

1. Комплект химической посуды, состоящий:

- из керамической чашечки (ванночки) для травления образцов;

- пластикового пинцета;

-стеклянной чашечки (стакана) для промывки образцов после обработки;

-стеклянной палочки для перемешивания жидкостей.

2. Набор подложек для нанесения на них тонких пленок методами вакуумного испарения или магнетронного распыления.

3. Комплект стандартных травильных растворов (травильные растворы готовятся заранее штатным лаборантом и хранятся в лаборатории под тягой).

4. Для оценки степени очистки подложек перед нанесением на них тонкой металлической пленки (меди или алюминия) и анализа совершенства их адгезионных характеристик может использоваться промышленная ультразвуковая установка.

5. Стандартный набор лабораторных отмывочных средств: четыреххлористый углерод, ацетон, бензол, толуол, изопропиловый спирт, а также поливиниловый спирт (хранятся под тягой в лаборатории).

6. Аналитические весы.

7. Секундомер (часы с секундной стрелкой).

8. Микроскоп с большим увеличением типа МИМ-3, МИМ-8.

9. Ветошь для протирки или фильтровальная бумага

Требования к отчету

Отчет должен содержать:

1. Титульный лист.

2. Цель работы.

3. Краткие теоретические сведения согласно предложенного варианта

выполнения работы (теоретические сведения не должны превышать 3,4

листов печатного текста, не допускается копирование всего материала

теоретического введения в отчет).

4. Основные результаты, сведенные в таблицы.

5. Выводы по работе.

Лабораторное задание

Домашняя работа:

1. Ознакомиться с описанием лабораторной работы.

2. Подготовить необходимые экземпляры форм таблиц для занесения

результатов лабораторных испытаний:

Форма таблицы 1

Результаты лабораторных измерений

№ п/п	Время τ, с	Текущая масса образца Pi, г	Убыль массы образца ΔPi, г
1	0
2	30
3	60
4	-	-	ΔP(обр), г	(Сумма по ΔPi)

Форма таблицы 2

Результаты лабораторных измерений

Номер участка пластины	Количество дислокаций на площади S, шт	Среднее количество дислокаций для «5» замеров, n, шт	Площадь измерений, S, см2
1
2
3
4
5

Форма таблицы 3

Результаты лабораторных испытаний

Номер подложки и ее тип	Тип загрязнения (или чистая тестовая)	Результаты испытаний на истирание	Ультразвук (время обработки до разрушения пленки)
Пример: №1; стеклянная	Пример: тестовая	Пример: качество пленки визуально не изменилось	Пример: качество пленки не изменилось после 5 мин. обработки
и т.д.

3. Изучить теоретические сведения.

4. Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.

Работа в лаборатории:

Конкретное задание в данной работе форматируется преподавателем, который в праве потребовать выполнения всего объема работы или ее отдельных разделов, включая исследование тех или иных процессов либо объектов. Практически возможно проведение следующих заданий:

1. Определение глубины нарушенного слоя полупроводниковой пластины.

2. Выявление кристаллографической ориентации пластины и количественное определение микродефектов структуры.

3. Исследование влияния режима процесса на скорость травления и качества поверхности.

4. Изучение влияния типов загрязнения подложки на адгезионные характеристики наносимых на них тонких металлических пленок.