6.4.2. Анализ по рэс

Особенности анализа по РЭС:

твердые образцы

большое время измерений (несколько часов)

глубина исследования – до 100Å – метод исследуемых поверхностей.

Трудности в построении калибровочных кривых связаны

1. нулевая энергия связи для твердого тела выбирается по уровню Ферми, а не по уравнению вакуума, как в УФЭС;

2. вторичные элементы в объектной камере могут создать на поверхности образца дополнительный (поверхностный) заряд.

Уровень Ферми и поверхностный заряд зависят от природы образца, так что необходима удобная система эталонов(часто используется 1sС). Чем дальше в энергии шкал от 1sС – тем ошибка в Е_i больше.

РЭС позволяет с высокой достоверностью произвести элементный качественный анализ, идентификацию отдельных элементов, установить, находятся ли атомы данного элемента в эквивалентных химических состояниях, определить степени их окисления.

На основе известных данных составляются корреляционные таблицы, которые далее могут использоваться для идентификации и качественного анализа.

Наибольшее число результатов получено по идентификации.Смеси исследованы значительно меньше.

Основа количественного анализа

Si ~ N_фσ_ic

σ_i зависит сложным образом от формы, размера орбитали и энергии ионизирующего излучения, угла падения фотона.

Кроме того S_i зависит дополнительно от многих эксплуатационных факторов.

Для ряда классов (например, определение фтора в стекле при С_F<3%) получены градуировочные графики, т.е. δ=S(с).