2.4.3 Ионная очистка мкп с сгп
Ионную очистку МКП проходили 10шт из 3 блок- партий. Ионная очистка проводилась непосредственно после измерений.
Результаты по значениям ЭП и ЭОП представлены в таблице 2.6, а в таблице 2.7 - на сколько изменились параметры ЭП и ЭОП до и после очистки МКПО. На рисунке 2.16 – 2.21 показаны диаграммы изменения параметров МКПО до и после ионной очистки.
Таблица 2.6 - Средние значения параметров МКП, проходивших ионную очистку (отгрузка)
№ блока |
Uр, В |
Uн, В |
М800*1000 Uуск = 3кВ |
М1000 *10000 |
R·108,Ом |
IпСС, А |
до ионной очистки |
||||||
27 |
702 |
936 |
3,37 |
1,02 |
1,68 |
9,18E-11 |
28 |
743 |
945 |
2,28 |
1,08 |
2,12 |
9,10E-11 |
29 |
740 |
970 |
2,10 |
0,85 |
2,16 |
9,70E-11 |
после ионной очистки |
||||||
27 |
766 |
998 |
1,44 |
0,96 |
1,73 |
1,00E-10 |
28 |
765 |
995 |
1,43 |
0,91 |
2,18 |
9,80E-11 |
29 |
780 |
1020 |
1,34 |
0,95 |
2,34 |
1,00E-10 |
Таблица 2.7 - Изменение средних значений параметров до и после ионной очистки
-
№ блока
Uр, В
Uн, В
М800 , %
М1000 , %
R, %
Iп СС, %
27
64
62
-57,3
-5,9
2,7
8,9
28
23
50
-37,4
-15,1
2,8
7,7
29
40
50
-36,2
11,8
8,3
3,1
Рисунок 2.17 - Рабочее напряжение МКП
Рисунок 2.18 - Номинальное напряжение МКП
Р
исунок
2.19 - Усиление МКП при UМКП
= 800В и UУСК
= 3000В
Р
исунок
2.20 - Усиление МКП при UМКП
= 1000В и UУСК
= 3000В
Рисунок 2.21 - Сопротивление МКП при Uмкп = 800В
Рисунок 2.22 - Пороговый ток сотовой структуры МКП
Рабочее и номинальное напряжение МКП после ионной очистки значительно увеличивается, изменение может достигать 60В. Усиление при напряжении на МКП равном 800В уменьшается примерно в два раза. Изменение усиления при Uмкп = 1000В менее значительны. Также увеличились сопротивление и пороговый ток СС (на 3-9%).
2.5 Ионная очистка МКП из изолятора брака
Исследовалось влияние ионной очистки на электрические, электронно-оптические параметры и внешний вид МКПО из изолятора брака. Определялась возможность повышения с помощью ионной очистки порогового тока появления сотовой структуры, а также ликвидации таких дефектов ЧПЗ (чистота поля зрения) как темные и светлые точки и светлая полоса.
2.5.1 Ионная очистка МКПО с дефектом светлая полоса
Исследовалось влияние ионной очистки МКПО 18-10 с дефектом светлая полоса. В таблице 2.8 и на рисунке 2.23 – 2.26 приведены результаты ионной обработки. Дефект ЧПЗ “светлая полоса” в третьей зоне на границе с МО ионной очисткой был ликвидирован. При этом усиление МКП, сопротивление и пороговый ток СС не претерпели каких - либо значительных изменений.
Таблица 2.8 - Параметры экспериментальных МКПО 18-10 (светлая полоса)
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800 *1000 |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
до ионной очистки МКП (первое измерение) |
||||||
40-23 |
720 |
940 |
3,10 |
1,50 |
1,70 |
1,00E-10 |
26 |
720 |
960 |
3,00 |
1,50 |
1,86 |
9,70E-11 |
27 |
720 |
960 |
2,90 |
1,45 |
1,95 |
9,70E-11 |
41-11 |
740 |
990 |
2,00 |
1,10 |
2,90 |
9,80E-11 |
13 |
740 |
980 |
2,30 |
1,25 |
2,16 |
1,00E-10 |
14 |
740 |
980 |
2,30 |
1,25 |
2,05 |
9,80E-11 |
42-11 |
810 |
1050 |
0,95 |
0,50 |
1,54 |
1,00E-10 |
15 |
800 |
1030 |
1,00 |
0,90 |
1,67 |
1,00E-10 |
19 |
780 |
1010 |
1,20 |
0,95 |
1,48 |
9,80E-11 |
29 |
780 |
1000 |
1,35 |
1,00 |
1,54 |
9,80E-11 |
среднее |
755 |
990 |
2,01 |
1,14 |
1,89 |
9,86E-11 |
после ионной очистки МКП |
||||||
40-23 |
760 |
1000 |
1,65 |
1,00 |
1,86 |
9,80E-11 |
26 |
740 |
970 |
2,05 |
1,25 |
2,05 |
9,80E-11 |
27 |
740 |
970 |
2,10 |
1,30 |
2,10 |
9,60E-11 |
41-11 |
770 |
1020 |
1,50 |
0,90 |
2,50 |
9,60E-11 |
13 |
770 |
1000 |
1,55 |
1,00 |
2,35 |
9,70E-11 |
14 |
770 |
1000 |
1,50 |
1,00 |
2,28 |
9,70E-11 |
42-11 |
770 |
1020 |
1,45 |
0,95 |
1,70 |
9,70E-11 |
15 |
770 |
1020 |
1,30 |
0,85 |
1,78 |
9,70E-11 |
19 |
770 |
1010 |
1,50 |
0,95 |
1,63 |
9,70E-11 |
29 |
770 |
1010 |
1,45 |
0,95 |
1,73 |
9,70E-11 |
среднее |
763 |
1002 |
1,61 |
1,02 |
2,00 |
9,70E-11 |
Рисунок 2.23 Рабочее и номинальное напряжение экспериментальных МКП
Рисунок 2.24 Усиление экспериментальных МКП при UМКП = 800В и UМКП = 1000В
Рисунок 2.25 Сопротивление экспериментальных МКП при Uмкп = 800В
Рисунок 2.26 Пороговый ток сотовой структуры экспериментальных МКП
2.5.2 Действие ионной очистки на хранившиеся МКПО
На партии МКПО из изолятора брака исследовалось влияние ИО на параметры в зависимости от срока хранения МКП.
Часть экспериментальных МКП - группа 1, в которую входили блоки 43, 44, 45, 46, 47 хранились в изоляторе брака 5-6 месяцев. Другая часть экспериментальных МКП -группа 2- блок 48 хранился 1месяц. Перед ионной очисткой МКП подвергли обезгаживанию и измерили электрические и электронно-оптические параметры. После ионной очистки провели повторное измерение параметров.
Результаты представлены в таблицах 2.9, 2.10 и на рисунках 2.27-.2.32. Наблюдается различие в изменении параметров МКП после ионной очистки у этих двух групп МКП. У МКП группы 1 рабочее напряжение увеличилось в среднем на 35В, у МКП группы 2 на 25В. Наиболее различаются для групп изменение сопротивления (увеличение на 6% для первой и на 0,5% для второй группы) и порогового тока СС (увеличение на 23% для первой и на 0,7% для второй группы). На изменение параметров МКП при ионной очистке оказывает влияние длительность хранения МКП.
Таблица 2.9 - Параметры экспериментальных МКПО 18-6 из изолятора брака до ИО
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800*1000 Uуск=3кВ |
М800*1000 Uуск=400В |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
853/14-11 |
710 |
980 |
2,70 |
1,90 |
1,15 |
2,58 |
3,00E-11 |
-14 |
710 |
970 |
2,90 |
1,85 |
1,20 |
2,67 |
2,50E-11 |
-15 |
710 |
970 |
3,00 |
1,00 |
1,20 |
2,67 |
2,00E-11 |
-16с |
770 |
1160 |
1,70 |
1,00 |
0,65 |
5,71 |
9,00E-12 |
-18 |
710 |
950 |
3,20 |
1,70 |
1,30 |
2,67 |
4,30E-11 |
-22 |
710 |
960 |
3,00 |
2,20 |
1,30 |
2,86 |
5,00E-11 |
-23 |
710 |
950 |
3,20 |
2,50 |
1,30 |
2,76 |
6,00E-11 |
-24 |
710 |
960 |
3,20 |
2,40 |
1,30 |
2,86 |
5,50E-11 |
-26 |
710 |
970 |
3,00 |
2,10 |
1,30 |
2,76 |
5,00E-11 |
-28 |
710 |
970 |
3,00 |
1,85 |
1,20 |
2,96 |
4,50E-11 |
-29 |
710 |
970 |
3,00 |
2,20 |
1,20 |
2,96 |
4,00E-11 |
-31 |
710 |
970 |
2,90 |
2,00 |
1,15 |
2,96 |
4,00E-11 |
-32 |
710 |
1000 |
2,60 |
0,90 |
1,00 |
3,08 |
4,50E-11 |
-34с |
730 |
1000 |
2,20 |
0,90 |
1,00 |
0,88 |
7,30E-11 |
-35с |
730 |
990 |
2,30 |
1,60 |
1,15 |
1,38 |
1,70E-11 |
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800*1000 Uуск=3кВ |
М800*1000 Uуск=400В |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
853/14-13 |
700 |
920 |
3,70 |
3,10 |
1,60 |
2,16 |
7,50E-11 |
-20с |
730 |
1000 |
2,30 |
1,70 |
1,00 |
2,05 |
7,80E-11 |
-26 |
720 |
970 |
3,00 |
1,75 |
1,25 |
1,95 |
9,00E-11 |
-30 |
700 |
940 |
3,20 |
1,65 |
1,40 |
1,90 |
9,00E-11 |
45-5 |
730 |
980 |
2,30 |
1,05 |
1,20 |
1,86 |
8,50E-11 |
-17 |
730 |
970 |
2,60 |
1,40 |
1,25 |
1,90 |
8,50E-11 |
-33с |
810 |
1270 |
0,95 |
0,65 |
0,40 |
3,64 |
2,00E-11 |
-34с |
770 |
1050 |
1,50 |
1,00 |
0,80 |
1,60 |
7,50E-11 |
-35с |
770 |
1090 |
1,35 |
0,60 |
0,65 |
2,58 |
1,50E-11 |
46-6 |
720 |
950 |
2,80 |
2,00 |
1,45 |
1,82 |
8,90E-11 |
-7с |
720 |
950 |
2,80 |
1,15 |
1,45 |
2,11 |
9,80E-11 |
-16с |
740 |
1030 |
2,00 |
1,20 |
0,90 |
1,40 |
8,00E-11 |
-32с |
780 |
1080 |
1,35 |
0,75 |
0,70 |
1,19 |
8,20E-11 |
-33с |
750 |
1040 |
1,65 |
0,90 |
0,85 |
2,00 |
1,20E-11 |
47-2 |
720 |
950 |
2,75 |
2,40 |
1,40 |
1,86 |
4,00E-11 |
-3 |
720 |
980 |
2,30 |
1,20 |
1,10 |
1,78 |
8,70E-11 |
-4 |
730 |
1000 |
2,20 |
1,20 |
1,00 |
1,86 |
5,00E-11 |
-5 |
720 |
960 |
2,70 |
1,80 |
1,30 |
1,82 |
5,70E-11 |
-8 |
720 |
980 |
2,40 |
1,40 |
1,15 |
1,95 |
6,20E-11 |
-18 |
740 |
1000 |
2,00 |
0,95 |
1,00 |
2,05 |
4,50E-11 |
-19с |
750 |
990 |
2,00 |
1,20 |
1,15 |
1,63 |
6,00E-11 |
-22 |
740 |
990 |
2,30 |
0,90 |
1,10 |
1,70 |
2,00E-11 |
-41с |
800 |
1700 |
1,00 |
0,75 |
0,25 |
10,00 |
8,00E-12 |
-42с |
770 |
1070 |
1,50 |
0,80 |
0,70 |
1,86 |
5,00E-11 |
-43с |
770 |
1070 |
1,50 |
0,85 |
0,70 |
2,05 |
8,70E-11 |
среднее |
733 |
1018 |
2,40 |
1,46 |
1,08 |
2,46 |
5,355E-11 |
48-3 |
700 |
910 |
3,80 |
2,80 |
1,60 |
4,00 |
9,20E-11 |
-4 |
700 |
920 |
3,40 |
2,00 |
1,50 |
3,81 |
9,20E-11 |
-6 |
710 |
930 |
3,20 |
1,50 |
1,50 |
3,81 |
9,20E-11 |
-7 |
710 |
930 |
3,00 |
1,45 |
1,50 |
3,81 |
9,20E-11 |
-8 |
700 |
920 |
3,50 |
2,10 |
1,60 |
3,81 |
9,00E-11 |
-9 |
700 |
970 |
3,70 |
2,00 |
1,60 |
3,64 |
9,00E-11 |
-10 |
700 |
910 |
3,40 |
1,85 |
1,50 |
3,81 |
9,00E-11 |
-12 |
700 |
910 |
3,90 |
2,45 |
1,65 |
3,48 |
8,80E-11 |
-13 |
690 |
940 |
3,80 |
2,40 |
1,60 |
3,64 |
8,80E-11 |
-14 |
720 |
980 |
2,70 |
1,00 |
1,40 |
3,81 |
8,50E-11 |
среднее |
703 |
932 |
3,44 |
1,96 |
1,55 |
3,76 |
8,99E-11 |
Таблица 2.10 - Параметры МКПО 18-8 из изолятора брака после ИО
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800*1000 Uуск = 3кВ |
М800*1000 Uуск = 400В |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
43-11 |
740 |
1000 |
2,20 |
1,80 |
1,00 |
2,67 |
3,00E-11 |
-14 |
740 |
990 |
2,35 |
1,80 |
1,15 |
3,20 |
5,70E-11 |
-15 |
740 |
990 |
2,10 |
1,00 |
1,10 |
2,86 |
5,00E-11 |
-16 |
770 |
1090 |
1,50 |
1,00 |
0,70 |
6,20 |
1,30E-11 |
-18 |
740 |
990 |
2,20 |
1,65 |
1,10 |
2,86 |
5,00E-11 |
-22 |
740 |
980 |
2,20 |
1,40 |
1,10 |
2,96 |
5,00E-11 |
-23 |
730 |
980 |
2,40 |
2,00 |
1,15 |
2,86 |
5,50E-11 |
-24 |
730 |
980 |
2,15 |
1,80 |
1,10 |
3,64 |
5,00E-11 |
-26 |
740 |
1000 |
2,00 |
1,35 |
1,00 |
2,86 |
5,00E-11 |
-28 |
740 |
1000 |
2,00 |
1,33 |
1,00 |
3,08 |
5,00E-11 |
-29 |
740 |
1000 |
2,20 |
1,70 |
1,00 |
3,08 |
5,00E-11 |
-31 |
740 |
990 |
2,10 |
1,90 |
1,05 |
3,08 |
5,00E-11 |
-32 |
750 |
1010 |
1,80 |
1,35 |
0,95 |
3,33 |
3,00E-11 |
-34с |
740 |
1010 |
1,85 |
0,95 |
0,95 |
0,92 |
7,70E-11 |
-35с |
740 |
1000 |
1,85 |
0,95 |
1,00 |
1,43 |
2,00E-11 |
44-13 |
740 |
1000 |
1,90 |
0,95 |
1,00 |
2,16 |
9,20E-11 |
-20с |
780 |
1050 |
1,40 |
0,80 |
0,75 |
2,00 |
9,50E-11 |
-26 |
740 |
1000 |
2,00 |
1,20 |
1,00 |
2,00 |
1,00E-10 |
-30 |
770 |
970 |
2,20 |
1,75 |
1,20 |
2,50 |
1,00E-10 |
45-5 |
780 |
1040 |
1,35 |
0,85 |
0,80 |
1,82 |
9,70E-11 |
-17 |
760 |
1030 |
1,60 |
0,80 |
0,90 |
1,74 |
9,70E-11 |
-33с |
830 |
1210 |
0,80 |
0,70 |
0,40 |
3,81 |
3,00E-11 |
-34с |
820 |
1130 |
0,85 |
0,40 |
0,49 |
1,57 |
7,20E-11 |
-35с |
800 |
1090 |
1,00 |
0,95 |
0,60 |
2,67 |
2,00E-11 |
46-6 |
750 |
1000 |
1,80 |
1,10 |
1,00 |
1,78 |
9,30E-11 |
-7с |
780 |
1020 |
1,50 |
0,95 |
0,95 |
1,74 |
1,00E-10 |
-16с |
780 |
1050 |
1,30 |
1,00 |
0,75 |
1,43 |
9,00E-11 |
-32с |
820 |
1130 |
0,90 |
0,45 |
0,49 |
1,21 |
9,00E-11 |
-33с |
800 |
1100 |
1,00 |
0,50 |
0,60 |
1,95 |
2,00E-11 |
47-2 |
780 |
1030 |
1,50 |
0,65 |
0,85 |
1,86 |
8,80E-11 |
-3 |
770 |
1020 |
1,60 |
0,80 |
0,90 |
1,78 |
1,00E-10 |
-5 |
780 |
1020 |
1,40 |
1,20 |
0,90 |
1,82 |
9,20E-11 |
-8 |
770 |
1010 |
1,75 |
0,95 |
0,95 |
1,95 |
8,90E-11 |
-18 |
770 |
1040 |
1,50 |
0,65 |
0,85 |
2,22 |
8,90E-11 |
-19с |
800 |
1050 |
1,00 |
0,80 |
0,75 |
1,63 |
8,90E-11 |
-22 |
770 |
1020 |
1,60 |
1,25 |
0,90 |
1,70 |
9,50E-11 |
-41с |
840 |
1700 |
0,80 |
0,50 |
0,24 |
11,40 |
1,00E-11 |
-42с |
800 |
1100 |
1,00 |
0,55 |
0,60 |
1,86 |
6,00E-11 |
-43с |
800 |
1100 |
1,00 |
0,85 |
0,60 |
2,11 |
8,40E-11 |
среднее |
768 |
1049 |
1,63 |
1,09 |
0,87 |
2,61 |
6,6E-11 |
48-3 |
730 |
960 |
2,30 |
1,15 |
1,30 |
3,81 |
8,90E-11 |
-4 |
750 |
1000 |
1,90 |
0,95 |
1,00 |
3,81 |
8,90E-11 |
-6 |
730 |
970 |
2,70 |
2,50 |
1,50 |
3,81 |
8,90E-11 |
-7 |
730 |
960 |
2,30 |
1,40 |
1,30 |
3,81 |
9,20E-11 |
-8 |
720 |
940 |
2,80 |
2,40 |
1,60 |
3,81 |
8,80E-11 |
-10 |
720 |
950 |
2,60 |
2,20 |
1,40 |
3,81 |
9,40E-11 |
-12 |
720 |
940 |
2,90 |
1,80 |
1,50 |
3,48 |
9,00E-11 |
-13 |
720 |
950 |
2,50 |
1,45 |
1,35 |
3,64 |
9,00E-11 |
-14 |
730 |
980 |
2,70 |
1,45 |
1,15 |
3,81 |
9,00E-11 |
среднее |
727 |
961 |
2,52 |
1,68 |
1,34 |
3,74 |
9,05E-11 |
Рисунок 2.27 - Рабочее напряжение МКП из изолятора брака при разном сроке хранения
Рисунок 2.28 - Номинальное напряжение МКП из изолятора брака при разном сроке хранения
Рисунок 2.29 - Усиление МКП из изолятора брака при Uмкп = 800В при разном сроке хранения
Рисунок 2.30 - Усиление МКП из изолятора брака при Uмкп = 1000В при разном сроке хранения
Рисунок 2.31 - Сопротивление МКП из изолятора брака при Uмкп = 800В при разном сроке хранения
Рисунок 2.31 - Пороговый ток сотовой структуры МКП из изолятора брака
2.5.3 Влияние ИО на параметры хранившихся МКПО при дополнительных обработках
В продолжение работ по п. 3.3.2 на партии МКПО из изолятора брака исследовалось влияние ИО на параметры в зависимости от срока хранения и дополнительных обработок МКП. Результаты представлены в таблицах 2.11-2.15 и на рисунках 2.33-2.36. МКП были изготовлены и первый раз измерены в период 30.07. – 5.08.2012г. Первый перемер после ТВО происходил 2.09. – 12.09.2012г. то есть после месячного хранения. Все последующие перемеры: до ТВО, после ТВО, после ионной очистки проводились 17.02. – 22.02.13г., то есть после более полугодового хранения. Рассмотрим тенденцию изменения каждого параметра в отдельности. Усиление МКП при Uмкп = 800В - наблюдается рост при первом и втором перемере в 1,8 раза, при повторном ТВО усиление несколько снижается, а после ионной очистки еще снижается до уровня 75% от первоначального, но остается в пределах нормы. Усиление при Uмкп = 1000В изменяется, как и в ранее рассмотренных случаях, меньше – увеличение при хранении в 1,4 раза, а после ионной очистки возвращается к первоначальному значению. Сопротивление в процессе хранения и обработок постоянно растет – после ионной очистки его значение выше первоначального на 26%. Совсем иначе ведет себя пороговый ток СС – в процессе полугодового хранения Iп уменьшился в 3,8 раза с 9,67·10-11А до 2,58·10-11А, после ТВО и ИО повышается до уровня 6,2·10-11А.
Таблица 2.11 - Параметры МКПО из изолятора брака (первое измерение 30.07.-5.08.2012г)
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800* 1000 |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
ЧПЗ |
||
1з |
2з |
3з |
|||||||
49-13 |
790 |
1070 |
1,20 |
0,70 |
1,70 |
9,60E-11 |
N |
N |
N |
-19 |
790 |
1090 |
1,00 |
0,70 |
1,57 |
9,70E-11 |
N |
N |
N |
-20 |
790 |
1070 |
1,20 |
0,70 |
1,67 |
9,40E-11 |
N |
N |
N |
-22 |
790 |
1090 |
1,15 |
0,65 |
1,63 |
9,40E-11 |
N |
N |
N |
-23 |
790 |
1090 |
1,15 |
0,70 |
1,74 |
9,40E-11 |
N |
N |
N |
-25 |
790 |
1080 |
1,20 |
0,70 |
1,86 |
9,40E-11 |
N |
N |
N |
-27 |
780 |
1070 |
1,25 |
0,75 |
2,11 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
-31 |
780 |
1080 |
1,30 |
0,70 |
2,00 |
9,00E-11 |
N |
N |
N |
50-1 |
750 |
1060 |
1,60 |
0,75 |
2,05 |
9,70E-11 |
N |
N |
N |
-2 |
750 |
1060 |
2,00 |
0,75 |
2,11 |
9,70E-11 |
N |
N |
N |
-5 |
740 |
1020 |
2,00 |
0,95 |
2,00 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
-10 |
750 |
1060 |
1,80 |
0,90 |
1,90 |
9,40E-11 |
N |
N |
N |
-19 |
740 |
1050 |
2,00 |
0,90 |
2,16 |
9,30E-11 |
N |
N |
N |
-22 |
750 |
1050 |
1,90 |
0,95 |
3,00 |
9,30E-11 |
N |
N |
N |
-27 |
750 |
1050 |
1,90 |
0,90 |
2,35 |
9,20E-11 |
N |
N |
N |
51-3(с) |
750 |
1040 |
1,80 |
0,85 |
1,54 |
9,60E-11 |
N |
N |
N |
-5 |
790 |
1080 |
1,10 |
0,70 |
1,60 |
9,60E-11 |
N |
N |
N |
-6 |
770 |
1060 |
1,75 |
0,80 |
1,67 |
9,60E-11 |
N |
N |
N |
-8(с) |
770 |
1080 |
1,70 |
0,75 |
1,63 |
9,00E-11 |
N |
N |
N |
-12(с) |
760 |
1060 |
1,75 |
0,80 |
1,60 |
9,40E-11 |
N |
N |
N |
-20(с) |
750 |
1020 |
1,95 |
0,90 |
1,90 |
1,00E-10 |
N |
N |
N |
52-21 |
800 |
1100 |
1,00 |
0,47 |
2,67 |
1,10E-10 |
N |
N |
N |
-30(с) |
780 |
1070 |
1,35 |
0,70 |
2,76 |
1,10E-10 |
N |
N |
N |
-33(с) |
780 |
1070 |
1,35 |
0,70 |
2,86 |
1,10E-10 |
N |
N |
N |
53-3 |
750 |
970 |
1,45 |
1,30 |
2,76 |
1,00E-10 |
N |
N |
N |
среднее |
769 |
1062 |
1,51 |
0,79 |
2,03 |
9,67E-11 |
|
|
|
мин |
740 |
970 |
1,00 |
0,47 |
1,54 |
9,00E-11 |
|
|
|
макс |
800 |
1100 |
2,00 |
1,30 |
3,00 |
1,10E-10 |
|
|
|
Таблица 2.12 - Параметры МКПО из изолятора брака (первый перемер после ТВО 2.09.-12.09.2012г)
№ блока МКП и |
Uр, В |
Uн, В |
М800* 1000 |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
ЧПЗ |
||
1з |
2з |
3з |
|||||||
49-13 |
760 |
1070 |
1,75 |
0,70 |
2,11 |
8,30E-11 |
св200 |
св200 |
N |
-19 |
760 |
1080 |
1,70 |
0,65 |
2,00 |
8,30E-11 |
N |
сер.п. |
св400 |
-20 |
770 |
1040 |
1,60 |
0,85 |
2,00 |
8,10E-11 |
N |
N |
N |
-22 |
770 |
1040 |
1,55 |
0,85 |
2,00 |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
-23 |
770 |
1030 |
1,55 |
0,95 |
2,04 |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
-25 |
770 |
1040 |
1,55 |
0,80 |
2,22 |
7,40E-11 |
N |
св100 |
св50 |
-27 |
770 |
1040 |
1,50 |
0,80 |
2,22 |
7,40E-11 |
N |
N |
N |
-31 |
770 |
1040 |
1,45 |
0,85 |
2,42 |
7,40E-11 |
N |
N |
N |
50-1 |
750 |
1010 |
1,90 |
0,95 |
2,11 |
8,20E-11 |
N |
N |
N |
-2 |
750 |
1000 |
1,90 |
0,95 |
2,16 |
8,20E-11 |
N |
N |
N |
-5 |
750 |
1000 |
2,10 |
1,00 |
2,05 |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
-10 |
730 |
980 |
2,50 |
1,20 |
1,95 |
8,60E-11 |
N |
N |
св200 |
-19 |
750 |
1000 |
2,00 |
1,00 |
2,29 |
9,30E-11 |
N |
N |
св60 |
-22 |
750 |
1010 |
2,00 |
0,95 |
2,29 |
8,60E-11 |
N |
N |
св50 |
-27 |
750 |
1040 |
2,00 |
0,85 |
2,42 |
8,60E-11 |
N |
св100 |
N |
51-3(с) |
770 |
1080 |
1,60 |
0,65 |
1,67 |
8,10E-11 |
N |
N |
N |
-5 |
750 |
1070 |
1,70 |
0,70 |
1,74 |
8,20E-11 |
N |
N |
N |
-6 |
740 |
1030 |
2,00 |
0,90 |
1,70 |
1,00E-10 |
N |
N |
N |
-8(с) |
740 |
1030 |
2,10 |
0,90 |
1,67 |
1,00E-10 |
N |
N |
N |
-12(с) |
730 |
1030 |
2,10 |
0,90 |
1,64 |
1,00E-10 |
N |
N |
св250 |
-20(с) |
730 |
1020 |
2,15 |
0,95 |
1,57 |
1,00E-10 |
N |
N |
св200 |
52-21 |
770 |
1100 |
1,65 |
0,70 |
2,58 |
1,00E-10 |
N |
N |
N |
-30(с) |
750 |
1050 |
1,80 |
0,70 |
2,96 |
1,00E-10 |
N |
N |
св100 |
-33(с) |
740 |
1060 |
2,20 |
0,75 |
3,20 |
1,00E-10 |
N |
N |
N |
53- 3 |
720 |
1010 |
2,10 |
0,95 |
2,96 |
8,30E-11 |
N |
N |
N |
среднее |
752 |
1036 |
1,86 |
0,86 |
2,16 |
8,66E-11 |
|
|
|
мин |
720 |
980 |
1,45 |
0,65 |
1,57 |
7,40E-11 |
|
|
|
макс |
770 |
1100 |
2,50 |
1,20 |
3,20 |
1,00E-10 |
|
|
|
Таблица 2.13 - Параметры МКПО из изолятора брака (перемер до ТВО 17.02.2003г)
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800* 1000 |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
ЧПЗ |
||
1з |
2з |
3з |
|||||||
49-13 |
700 |
940 |
3,30 |
1,30 |
2,35 |
1,00E-11 |
св200 |
N |
св150 |
-19 |
730 |
1040 |
2,00 |
0,80 |
2,22 |
2,50E-11 |
N |
N |
N |
-20 |
740 |
1040 |
1,90 |
0,85 |
2,22 |
2,00E-11 |
N |
N |
N |
-22 |
710 |
960 |
2,90 |
1,20 |
2,16 |
2,00E-11 |
N |
N |
N |
-23 |
710 |
940 |
3,00 |
1,25 |
1,67 |
2,00E-11 |
N |
N |
N |
-25 |
710 |
960 |
3,00 |
1,20 |
2,50 |
2,50E-11 |
N |
N |
N |
-27 |
730 |
1010 |
2,40 |
0,95 |
2,42 |
2,50E-11 |
N |
св150,200 |
N |
-31 |
720 |
1000 |
2,60 |
1,00 |
2,67 |
1,00E-11 |
N |
N |
N |
50-1 |
710 |
960 |
3,00 |
1,30 |
2,20 |
3,50E-11 |
N |
N |
N |
-2 |
710 |
950 |
3,00 |
1,35 |
2,96 |
1,50E-11 |
N |
N |
св80 |
-5 |
720 |
960 |
2,80 |
1,30 |
2,35 |
3,50E-11 |
N |
N |
N |
-10 |
710 |
920 |
3,50 |
1,60 |
2,10 |
2,00E-11 |
т150 |
св400 |
N |
-19 |
720 |
950 |
2,90 |
1,35 |
2,28 |
2,00E-11 |
N |
N |
N |
-22 |
710 |
950 |
3,20 |
1,40 |
2,35 |
2,50E-11 |
N |
N |
св50 |
-27 |
720 |
1010 |
2,50 |
0,95 |
2,50 |
1,50E-11 |
N |
N |
св80 |
51-3(с) |
720 |
1000 |
2,80 |
1,00 |
1,67 |
3,00E-11 |
N |
N |
N |
-5 |
700 |
990 |
3,00 |
1,10 |
1,70 |
2,50E-11 |
N |
N |
N |
-6 |
710 |
990 |
2,80 |
1,05 |
1,78 |
2,50E-11 |
N |
N |
N |
-8(с) |
710 |
980 |
2,90 |
1,15 |
1,95 |
1,50E-11 |
N |
св200 |
N |
-12(с) |
720 |
1010 |
2,60 |
0,95 |
1,70 |
4,00E-11 |
т80 |
св250 |
N |
-20(с) |
700 |
960 |
3,30 |
1,30 |
1,63 |
3,50E-11 |
N |
N |
св250 |
52-21 |
720 |
1020 |
2,50 |
0,95 |
2,67 |
3,50E-11 |
N |
N |
N |
-30(с) |
720 |
1010 |
2,50 |
0,95 |
3,07 |
3,50E-11 |
N |
N |
св50 |
-33(с) |
720 |
970 |
2,40 |
0,95 |
3,33 |
4,60E-11 |
N |
N |
N |
53-3 |
720 |
970 |
2,50 |
1,15 |
2,96 |
4,00E-11 |
N |
N |
N |
среднее |
716 |
980 |
2,77 |
1,13 |
2,30 |
2,58E-11 |
|
|
|
мин |
700 |
920 |
1,90 |
0,80 |
1,63 |
1,00E-11 |
|
|
|
макс |
740 |
1040 |
3,50 |
1,60 |
3,33 |
4,60E-11 |
|
|
|
Таблица 2.14 Параметры МКПО из изолятора брака (перемер после ТВО и ионной очистки 22.02.2013г)
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800* 1000 |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
ЧПЗ |
||
1з |
2з |
3з |
|||||||
49-13 |
800 |
1070 |
1,00 |
0,65 |
2,75 |
5,20E-11 |
N |
N |
N |
-19 |
800 |
1060 |
1,00 |
0,70 |
2,50 |
5,20E-11 |
N |
N |
N |
-20 |
800 |
1070 |
1,00 |
0,65 |
2,50 |
5,20E-11 |
N |
N |
N |
-22 |
800 |
1060 |
1,00 |
0,70 |
2,50 |
5,20E-11 |
N |
N |
N |
-23 |
800 |
1060 |
1,00 |
0,70 |
2,67 |
5,70E-11 |
N |
N |
N |
-25 |
800 |
1070 |
1,00 |
0,65 |
2,96 |
5,70E-11 |
N |
N |
N |
-27 |
800 |
1090 |
1,00 |
0,60 |
2,76 |
5,70E-11 |
N |
т100 |
N |
-31 |
800 |
1060 |
1,00 |
0,70 |
3,08 |
5,70E-11 |
N |
N |
N |
50-1 |
800 |
1040 |
1,00 |
0,75 |
2,86 |
6,00E-11 |
N |
N |
N |
-2 |
800 |
1040 |
1,00 |
0,80 |
2,50 |
6,00E-11 |
N |
N |
N |
-5 |
800 |
1030 |
1,00 |
0,85 |
2,35 |
6,00E-11 |
N |
N |
N |
-10 |
800 |
1040 |
1,00 |
0,80 |
2,28 |
6,50E-11 |
N |
N |
N |
-19 |
800 |
1030 |
1,00 |
0,80 |
2,50 |
6,50E-11 |
N |
N |
N |
-22 |
800 |
1050 |
1,00 |
0,75 |
2,58 |
7,20E-11 |
N |
N |
N |
-27 |
800 |
1070 |
1,00 |
0,60 |
2,86 |
7,20E-11 |
N |
N |
N |
51-3(с) |
790 |
1050 |
1,05 |
0,70 |
1,82 |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
-5 |
790 |
1060 |
1,05 |
0,65 |
1,82 |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
-6 |
790 |
1070 |
1,05 |
0,60 |
1,90 |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
-8(с) |
770 |
1050 |
1,50 |
0,80 |
2,11 |
7,00E-11 |
N |
N |
N |
-12(с) |
770 |
1050 |
1,50 |
0,80 |
1,82 |
7,00E-11 |
т100 |
N |
N |
-20(с) |
770 |
1030 |
1,60 |
0,90 |
1,74 |
7,00E-11 |
N |
N |
N |
52-21 |
770 |
1060 |
1,50 |
0,75 |
2,86 |
6,30E-11 |
N |
N |
а.э. |
-30(с) |
770 |
1080 |
1,35 |
0,65 |
3,33 |
6,30E-11 |
N |
N |
N |
-33(с) |
770 |
1080 |
1,35 |
0,70 |
3,64 |
6,30E-11 |
N |
N |
N |
53-3 |
770 |
1010 |
1,60 |
0,95 |
3,20 |
4,50E-11 |
N |
N |
N |
среднее |
790 |
1055 |
1,14 |
0,73 |
2,56 |
6,25E-11 |
|
|
|
мин |
770 |
1010 |
1,00 |
0,60 |
1,74 |
4,50E-11 |
|
|
|
макс |
800 |
1090 |
1,60 |
0,95 |
3,64 |
7,60E-11 |
|
|
|
Таблица 2.15 - Изменение параметров МКП при хранении и обработках
-
Параметры МКП из изолятора брака
измерения
Uр,В
Uн,В
М800*
1000
М1000
*10000
R·108,
Ом
IпСС, А
1 измерение
769
1062
1,51
0,79
2,03
9,668E-11
1 перемер после ТВО
752
1036
1,86
0,86
2,16
8,664E-11
перемер до ТВО
716
980
2,77
1,13
2,30
2,584E-11
перемер после ТВО
728
1001
2,46
1,04
2,36
5,132E-11
перемер после ИО
790
1055
1,14
0,73
2,56
6,248E-11
Рисунок 2.33 - Изменение рабочего и номинального напряжения МКП в процессе хранения, после ТВО и ИО
Рисунок 2.34 - Изменение усиления М800 и М1000 МКП в процессе хранения, после ТВО и ИО
Рисунок
2.35 - Изменение сопротивления МКП в
процессе хранения, после ТВО и ИО
Рисунок 2.36 - Изменение порогового тока СС МКП в процессе хранения, после ТВО и ИО
2.5.4 Возможность «реанимировать» МКПО
На партии МКПО из изолятора брака исследовалось на возможность “реанимировать” с помощью ионной очистки МКП, забракованные по низкому порогу СС и светлым точкам. Результаты представлены в таблицах 2.16-2.21. Из изолятора брака отобрали МКП блока 54, забракованные ранее по порогу СС, провели ТВО и измерили параметры (таблица 2.16). В связи с перегруженностью участка измерений контролировались ЧПЗ и IпCC, у годных по этим параметрам МКП измерялись электрические параметры. Забракованные при измерениях МКП в количестве 14шт были переданы на операцию ионной очистки. В результате ионной очистки были ликвидированы дефекты ЧПЗ – светлые точки и увеличен до приемлемого значения пороговый ток СС. Если не учитывать 2 пластины, имеющие высокое сопротивление, то ионная очистка дала возможность сделать годными 66,7% забракованных МКП (табл. 2.17).
Аналогичные результаты получены по блоку 18 – после ионной очистки признаны годными 62,5% забракованных после ТВО по пороговому току СС МКП. Пороговый ток у пластин этого блока после ионной очистки повысился в среднем на 27% (таблица 2.19, 2.20).
Таблица 2.16 - Параметры экспериментальных МКПО 18-8 из изолятора брака после ТВО до ИО
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800 *1000 |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
ЧПЗ |
Закл. о годн |
||
1з |
2з |
3з |
||||||||
54-3 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-4 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-5 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-6 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-7 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-8 |
770 |
1010 |
1,35 |
0,90 |
2,20 |
8,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-9 |
770 |
1010 |
1,30 |
0,90 |
2,16 |
8,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-10 |
770 |
1020 |
1,35 |
0,90 |
2,05 |
8,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-11 |
770 |
1010 |
1,30 |
0,95 |
2,10 |
8,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-13 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,50E-11 |
N |
N |
2св100 |
бр |
-14 |
760 |
1020 |
1,40 |
0,90 |
2,05 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-15 |
770 |
1020 |
1,35 |
0,90 |
2,20 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-16 |
770 |
1020 |
1,40 |
0,95 |
1,95 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-17 |
760 |
1030 |
1,30 |
0,85 |
2,10 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-19 |
760 |
1010 |
1,30 |
0,90 |
2,00 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-20 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,60E-11 |
N |
2св150 |
N |
бр |
-21 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,60E-11 |
N |
N |
св250 |
бр |
-22 |
760 |
1010 |
1,30 |
0,95 |
1,77 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-23 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,60E-11 |
N |
св200 |
N |
бр |
-27 |
760 |
1010 |
1,30 |
0,95 |
1,77 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-15 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,60E-11 |
N |
а/э |
N |
бр |
-24 |
760 |
1010 |
1,30 |
0,95 |
1,77 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-35 |
780 |
1040 |
1,30 |
0,85 |
3,64 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-18с |
- |
- |
- |
- |
- |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
среднее |
710 |
980 |
2,70 |
1,15 |
2,14 |
8,43E-11 |
|
|
|
Nр 10шт |
Таблица 2.17 - Параметры экспериментальных МКПО 18-8 из изолятора брака после ТВО и ИО
№ блока и МКП |
Uр,В |
Uн,В |
М800 *1000 |
М1000 *10000 |
R·108,Ом |
IпСС, А |
ЧПЗ |
Закл. о годн |
||
1з |
2з |
3з |
||||||||
54- 3 |
800 |
1060 |
1,00 |
0,70 |
2,22 |
8,80E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-4 |
790 |
1060 |
1,05 |
0,65 |
2,22 |
9,40E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-5 |
790 |
1050 |
1,10 |
0,70 |
2,16 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-6 |
790 |
1040 |
1,15 |
0,80 |
2,22 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-7 |
810 |
1060 |
0,95 |
0,60 |
2,10 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-13 |
800 |
1050 |
1,00 |
0,65 |
2,16 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-15 |
790 |
1050 |
1,15 |
0,75 |
2,20 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-20 |
780 |
1040 |
1,25 |
0,80 |
2,10 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-21 |
780 |
1040 |
1,25 |
0,80 |
1,86 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-23 |
790 |
1050 |
1,10 |
0,70 |
1,86 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-27 |
810 |
1060 |
0,95 |
0,60 |
2,00 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-15 |
800 |
1060 |
1,00 |
0,65 |
2,00 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-35 |
- |
- |
- |
- |
5,00 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-18с |
- |
- |
- |
- |
4,00 |
9,80E-11 |
N |
N |
N |
бр |
Среднее |
794 |
1052 |
1,08 |
0,7 |
2,44 |
9,7E-11 |
|
|
|
Nр 8шт |
Таблица 2.18 - Изменение параметров МКПО 18-8 из изолятора брака после ТВО до и после ИО
изменение параметров |
Uр, В |
Uн, В |
М800, % |
М1000, % |
R, % |
IпСС, % |
84 |
72 |
-60,0 |
-39,1 |
14,1 |
15,1 |
Таблица 2.19 - Параметры экспериментальных МКПО 18-8 из изолятора брака после ТВО до ИО
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800 *1000 |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
ЧПЗ |
Закл. о годн |
||
1з |
2з |
3з |
||||||||
18-11 |
680 |
930 |
4,20 |
1,50 |
1,57 |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-14 |
680 |
960 |
3,60 |
1,30 |
1,54 |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-15 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-16 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-17 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-18 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-19 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-20 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,60E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-21 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-22 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,50E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-23 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,50E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-24 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,50E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-25 |
- |
- |
- |
- |
- |
8,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-26 |
- |
- |
- |
- |
- |
7,30E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-27c |
700 |
980 |
3,00 |
1,25 |
1,48 |
8,60E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-29c |
- |
- |
- |
- |
- |
7,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-13c |
- |
- |
- |
- |
- |
2,20E-11 |
N |
N |
N |
бр |
среднее |
687 |
957 |
3,60 |
1,35 |
1,53 |
7,31E-11 |
|
|
|
Nр 1шт |
Таблица 2.20 - Параметры экспериментальных МКПО 18-8 из изолятора брака после ТВО и ИО
№ блока и МКП |
Uр, В |
Uн, В |
М800 *1000 |
М1000 *10000 |
R·108, Ом |
IпСС, А |
ЧПЗ |
Закл. о годн |
||
1з |
2з |
3з |
|
|||||||
18-11 |
770 |
1030 |
1,30 |
0,80 |
1,60 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-14 |
770 |
1030 |
1,60 |
0,90 |
1,54 |
9,50E-11 |
N |
а/э |
N |
бр |
-15 |
770 |
1030 |
1,60 |
0,90 |
1,43 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-16 |
770 |
1030 |
1,60 |
0,90 |
1,29 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-17 |
760 |
1030 |
1,70 |
0,90 |
1,48 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-18 |
770 |
1030 |
1,40 |
0,90 |
1,54 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-19 |
760 |
1030 |
1,40 |
0,95 |
1,48 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-20 |
- |
- |
- |
- |
1,37 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-21 |
- |
- |
- |
- |
1,29 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
бр |
-22 |
760 |
1010 |
1,60 |
0,95 |
1,48 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-23 |
760 |
1020 |
1,60 |
0,95 |
1,51 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-24 |
760 |
1020 |
1,70 |
0,90 |
1,51 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-25 |
760 |
1010 |
1,70 |
0,95 |
1,54 |
9,50E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-26 |
- |
- |
- |
- |
1,48 |
9,70E-11 |
N |
а/э |
N |
бр |
-29c |
780 |
1040 |
1,70 |
0,80 |
1,70 |
8,90E-11 |
N |
N |
N |
Nр |
-13c |
- |
- |
- |
- |
1,40 |
6,00E-11 |
N |
N |
N |
бр |
среднее |
766 |
1026 |
1,58 |
0,90 |
1,48 |
9,26E-11 |
|
|
|
Nр 10шт |
Таблица 2.21 - Изменение параметров экспериментальных МКПО 18-8 из изолятора брака
-
изменение
параметров
Uр, В
Uн, В
М800, %
М1000, %
R, %
IпСС, %
79
69
-56,3
-33,3
-3,4
26,7
Результаты, полученные на блоках 54 и 18 получили подтверждение и на других блок – партиях МКП из изолятора брака.
Для определения возможности исключения ТВО хранившихся МКП до ионной очистки была проведена очистка необезгаженных МКП. В этом случае выход годных значительно ниже – 15%, светлые точки на одних МКП были удалены, на других появились в результате очистки. Среднее значение порогового тока СС в результате очистки практически не изменилось.
Следует отметить, что в процессе очистки хранившихся в изоляторе брака МКП значительно повышается давление в колпаке. При очистке обезгаженных МКП давление (при непрерывной откачке) изменяется 0,4Па в начале очистки до 0,53Па в конце очистки. При очистке необезгаженных МКП давление увеличивается от первоначального 0,4Па до 0,73 Па, разряд значительно интенсифицируется, что в некоторых случаях приводит к распылению катода и запылению алюминием кварцевых подставок.
2.6 Влияние ионной очистки на внешний вид МКП
Контроль внешнего вида (ВВ) проводился с помощью микроскопов МБС-10 при 16х и МИМ-8 при 640х. Дефекты классифицировались по принятым на предприятии признакам.
Результаты контроля внешнего вида экспериментальных ВЗ, ОВЗ, МКП можно обобщить следующим образом:
Очистка ВЗ: уменьшает количество и размер (в некоторых случаях полностью удаляет) ПЧ типа В (радужные с темной окантовкой). На отдельных блоках ионная очистка активизирует появление налета при термоводородном восстановлении очищенных ВЗ;
Очистка ОВЗ: полностью удаляет или делает значительно слабее налет на обрамлении 2167, уменьшает сплошной налет на обрамлении 2161, частично удаляет налет в виде локальных пятен 2166, удаляет пятна разводы 2152, уменьшает размеры и количество ПЧ 2135. Очистка ОВЗ снижает уровень брака 236- пятна-налеты ПЧ на контактном электроде (КЭ) МКП. Ионная очистка не удаляет ПЧ типа Б. При очистке отдельных блок – партий на ОВЗ появляются крупные ПЧ 2131 в количестве 1-3 в поле зрения, некоторые из них удаляются обдувом;
Ионная очистка МКП практически не влияет на ВВ свежеизготовленные пластин;
Ионная очистка частично удаляет налет от хранения на МКП, в частности налет на границе МКВ-МО.
Изменение внешнего вида ОВЗ, приведено в таблице 2.22.
Таблица 2.22 - Изменение внешнего вида экспериментальных ОВЗ, проходивших ионную очистку
№ блока, ОВЗ |
Внешний вид до очистки |
Внешний вид после очистки |
13 (1-13) |
ПЧ 2135, налет на обрамл.2167, пятна-разводы 2152 |
ПЧ 2135 слабее, налет на обрамл.2167 отсутствует, пятна-разводы 2152 отсутствуют |
15 (1-11)
|
налет на обрамл.2167, сплошной налет на обрамл.2161, налет в виде локальн.пятен 2166 |
налет на обрамл.2167 отсутствует, 2161- слабее, 2166-слабее |
7 (16-25)
|
налет на обрамл.2167, пятна загрязнений 2151 |
налет на обрамл.2167 слабее, пятна загрязнений 2151 без изменений |
9 (22-36)
|
налет на обрамл.2167, точки на торцах 2111, ПЧ 2135 |
налет на обрамл.2167 отсутствует, 2111-без изменений, 2135-без изменений |
8 (14-28)
|
налет на обрамл.2167, сплошной налет на обрамл.2161, ПЧ 2135 |
налет на обрамл.2167 слабее, 2161- без изменений, 2135- без изменений |
11 (10-16)
|
налет на обрамл.2167, сплошной налет на обрамл.2161, след от оснастки 2153 |
налет на обрамл.2167 отсутствует, 2161- без изменений, 2153- без изменений |
14 (7-17)
|
налет на обрамл.2167, сплошной налет на обрамл.2161. |
налет на обрамл.2167 слабее, 2161- без изменений |
10 (1-12)
|
ПЧ 2135, 2154 |
2135- без изменений, 2154- без изменений |
32 (1-16)
|
налет на обрамл.2167, сплошной налет на обрамл.2161.
|
налет на обрамл.2167 отсутствует, 2161- без изменений |
Таким образом, ионная очистка уменьшает (в некоторых случаях сводит к минимуму или удаляет) налетные налет на обрамлении 2167, пятна- разводы 2152, ПЧ 2135 на ОВЗ МКП, что сказывается положительно на качество напыляемого контактного электрода и внешний вид МКП.