- •Диффузия и дрейф неравновесных носителей заряда
- •Диффузионная длина пробега неосновных носителей заряда
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Определение удельного сопротивления полупроводника
- •Условия применения четырехзондового метода
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •Литература
Диффузионная длина пробега неосновных носителей заряда
Рис. 2.2.
Одномерная модель полупроводникового
образца
)
выполнен в виде параллелепипеда, величина
поперечного сечения которого значительно
меньше длины. Часть образца (
)
освещается слабопоглощающим светом
так, что происходит равномерная генерация
носителей заряда во всем объеме освещаемой
области образца (рис. 2.2). К образцу
приложено электрическое поле Е так,
что носители могут дрейфовать в этом
поле и диффундировать в неосветленную
область образца.
Концентрация неосновных носителей может быть определена в результате решения уравнения непрерывности
, (13)
где
— член, учитывающий рекомбинацию
носителей;
— дивергенция потока неосновных
носителей; g — скорость генерации
носителей светом.
Найдем в стационарном случае (
)
распределение концентрации неосновных
носителей вдоль оси х в неосвещенной
части образца (
).
Продифференцируем выражение для
плотности электронного тока (8) и подставив
в выражение (13), получим
. (14)
Разделив (14) на
и обозначив
;
(15)
получим
. (16)
Общим решением этого уравнения будет
,
где
,
— постоянные, определяемые из граничных
условий;
,
— корни характеристического уравнения.
Учитывая уменьшение концентрации неосновных неравновесных носителей по мере удаления от освещенной области образца, окончательно получаем
при
, где
;
при
, где
.
Таким образом, в области тени по обе
стороны от освещенной части образца
концентрация неосновных носителей
заряда спадает по экспоненциальному
закону с постоянными спада
и
.
В отсутствие электрического поля (
),
когда имеет место только диффузия
носителей заряда, экспоненциальный
закон спада носителей определяется
величиной
,
которая называется диффузной длиной
пробега неосновных носителей заряда
(в данном случае — электрон). При наличии
электрического поля постоянные спада
и
отличаются от диффузной длины
,
и в зависимости от направления
электрического поля могут быть больше
или меньше
:
при
.
Рис. 2.3.
Распределение концентрации неравновесных
носителей заряда вдоль образца
и
называются диффузионной длиной вдоль
поля и диффузионной длиной против поля.
На рисунке 2.3 показано распределение неравновесных носителей в отсутствие и при наличии электрического поля. Так как при решении задачи предполагалось выполнение электронейтральности, то показанное на рисунке 2.3 распределение носителей заряда выполняется одновременно и для неравновесных электронов и дырок.
Измерительная установка и методика измерений
Рис. 2.4.
Схема измерительного приспо-собления
Измерительная установка (рис. 2.4) состоит из препаратоводителя, в котором закрепляется исследуемый образец, осветителя — лампы накаливания, модулятора М, фокусирующей линзы, миллиамперметра, селективного усилителя У2-6, блока питания.
Поверхность образца освещается пучком света в виде узкой прямолинейной полосы. Источником света является лампа накаливания. Свет фокусируется с помощью линзы. Световая полоса шириной около 1 мм пересекает образец. Для того чтобы отделить ту часть коллекторного тока, которая вызвана неосновными неравновесными носителями, применяется модулированное освещение. Свет модулируется вращением диска с отверстиями. Частота прерывания света выбирается с учетом того, что концентрация неравновесных носителей должна успевать достигать своего установившегося значения за время освещения образца и спадать до нуля в интервале между двумя импульсами света. Это условие выполняется при длительности освещения и затемнения, значительно превышающее время жизни неравновесных носителей в образце. Электрический импульс, возникающий при таком освещении образца, регистрируется в цепи контакта металлического острия с образцом полупроводника. Постоянное смещение подается от источника постоянного напряжения. Ток в измерительной цепи регулируется реостатом R. Напряжение, пропорциональное концентрации неравновесных неосновных носителей вблизи острия, регистрируется при помощи усилителя У2-6. Это напряжение может быть определено:
,
где
— концентрация неосновных неравновесных
носителей вблизи острия, x —
расстояние от границы света и тени до
зонда,
— диффузионная длина пробега.
Если откладывать результаты измерений
на графике
,
то получится прямая, котангенс угла
наклона которой пропорционален
диффузионной длине пробега неосновных
неравновесных носителей заряда
:
. (17)
Зная диффузионную длину и коэффициент диффузии D, можно, воспользовавшись соотношением Эйнштейна (11), найти время жизни неосновных неравновесных носителей заряда :
. (18)
