Литература к лекции 1.
1.М.А.
Королев, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева.
Технология, конструкции и методы
моделирования кремниевых интегральных
микросхем. Часть 1. М.:
БИНОМ. Лаборатория знаний. 2007. 397с.
Дополнительная
литература
Черняев
В.Н. Технология производства интегральных
микросхем и микропроцессоров.М.: Радио
и связь, 1987.
2. Броудай
И., Мерей Д. Физические основы
микротехнологии. - М.: Мир, 1985.
4. Ефимов
И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И.
Микроэлектроника. Физические и
технологические основы, надежность:
Учеб. пособие для прибостроит. спец.
вузов / М.; Высш. шк., 1986 г.
5. Коледов
Л.А. Технология и конструкции микросхем,
микропрорцессоров и микросборок: Учебник
для вузов / М.: Радио и связь, 1989 г
