- •1 .Опишите фазы основного производства ис и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.
- •2.Опишите фазы вспомогательного производства и назначение вспомогательного оборудования, входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.
- •3.Классификация помещений по микроклимату и запылённости.
- •4.Опишите конструкцию боксов с применением схем данной конструкции.
- •Пылезащитные камеры без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •5. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газы
- •9. Опишите устройство, принцип действия автомата "алмаз-6м" с использованием кинематической схемы автомата.
- •10. Опишите порядок крепления алмазного круга с внутренней режущей кромкой и его натяга с использованием схемы крепления и натяга.
- •6. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газа водорода(угов) с использованием схемы угов.
- •7. Опишите устройство оборудования для очистки воды с использованием схемы установки, принцип действия установки, объясните понятие централизованной очистки и финишной очистки.
- •8. Опишите основные характеристики автомата "алмаз-6м" контролируемые наладчиком, для проверки готовности автомата к работе.
- •11. Опишите устройство и порядок работы станции очистки сож с использованием схемы.
- •12. Опишите устройство турбомолекулярного насоса, принцип его действия, порядок работы.
- •13. Опишите устройство, порядок работы с использованием схемы установки шлифовки с двухсторонним шлифованием.
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •14. Опишите устройство, порядок работы установки полировки (химико-механической) с использованием схемы установки.
- •15. Опишите назначение, устройство и порядок работы установки посадки кристаллов в корпус эм-4085.
- •16. Опишите устройство, порядок работы установки снятие фаски с использованием кинематической схемы установки.
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •17. Опишите назначение, устройство и порядок работы, автомата гидромеханической отмывки с использованием схемы.
- •18. Опишите устройство нагревательной камеры с использованием схемы камеры, основные отказы в работе.
- •19. Опишите назначение, устройство, градуированные характеристики преобразователей температуры (термопар), типы, пределы измерения.
- •20 .Изложите понимание вакуума, опишите примерную схему вакуумного оборудования с пояснением назначения узлов, приборов входящих в оборудование.
- •21.Опишите устройство механических объемных вращательных (пластинчато-роторных, пластинчато-статорных) насосов с использованием схем насосов, принцип действия данных насосов.
- •22. Опишите устройство преобразователя манометрического теплового с использованием его схемы, принцип действия преобразователя, с каким вакуумметром используется пмт.
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •23. Опишите устройство высоковакуумного насоса (паромасляного) насоса с использованием схемы насоса, принцип действия, технические характеристики насоса.
- •24. Опишите устройство преобразователя манометрического ионизационного с использованием схемы преобразователя, принцип действия, с какими вакуумметрами он применяется.
- •25. Опишите назначение, устройство, порядок работы установки присоединения выводов эм-4020б.
- •26. Опишите устройство установки наращивания эпитаксиальных слоев типа унэс-100 с использованием схемы установки, порядок работы установки.
- •27.Опишите устройство скруббера, назначение скруббера, принцип действия, его связь с системой газораспределения унэс-100 с применением схемы.
- •28. Опишите устройство ионного источника с применением схемы ионного источника, принцип действия ионного источника,
- •29. Опишите устройство цилиндра Фарадея, с применением схемы цилиндра, принцип действия. Изложите необходимость применения заземляющих и подавляющей диафрагмы.
- •30.Опишите устройство линейного шагового двигателя (лшд) с использованием схемы индуктора и статора, схемы расположения индуктора на статоре.
6. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газа водорода(угов) с использованием схемы угов.
Схема установки для диффузионной очистки водорода
Очищаемый технический водород через механический фильтр Ф и редуктор РД подают в печь с трубчатым водородным фильтром ПФ, который подогревают электронагревателем. Очищаемый газ нагревается и диффундирует из полости А через стенки трубок из палладиевого сплава в полость Б. Очищенный газ далее поступает в охладитель ОХЛ и через вентиль подается к потребителю. Часть водорода с концентрированным содержанием примесей удаляется из фильтра через трубку 1, охладитель, ротаметр Р и клапан и подается в скруббер для сжигания. Давление очищаемого и чистого газов контролируется мановакууметрами MB. Перед началом работы установки через ее рабочий объем пропускают инертный газ, а затем откачивают до давления около 1 Па (10-2 мм. рт. ст.) После включения нагревателя и прогрева трубчатого фильтра откачка отключается и начинается, подача водорода.
7. Опишите устройство оборудования для очистки воды с использованием схемы установки, принцип действия установки, объясните понятие централизованной очистки и финишной очистки.
Схема очистки воды ионообменными смолами:
1, 3 - катионитовая и анионитовая колонки, 2 - дегазатор
Очищаемую воду последовательно пропускают через две колонки 1 и 3, заполненные смолами, соответственно поглощающими катионы (катионитами) и связывающими анионы (анионитами). Процессы обмена катионов и анионов, называемые катионированием и анионированием, получили широкое распространение в производстве полупроводниковых приборов и микросхем для смягчения, обессоливания и обескремнивания воды. Для удаления углекислого газа после катионирования служит дегазатор 2, в котором очищаемая вода продувается противотоком воздуха.
8. Опишите основные характеристики автомата "алмаз-6м" контролируемые наладчиком, для проверки готовности автомата к работе.
Важнейшими характеристиками станка являются: торцевое биение посадочного места по инструмент, точность подачи слитка на шаг, скорость подачи алмазного диска и частота его вращения.
9. Опишите устройство, принцип действия автомата "алмаз-6м" с использованием кинематической схемы автомата.
Принцип действия основан на врезании быстро вращающегося алмазного круга со связанным абразивом в слиток.
Станок представляет собой основание - стальная станина на шести опорах, поглощающих вибрации. В передней части станины размещены элементы электрической схемы, в задней части станины - управляющая пневмогидравлическая аппаратура, в боковой части - насосная станция, подающая масло к элементам гидравлики. На станине установлен механизм подачи шпинделя
10. Опишите порядок крепления алмазного круга с внутренней режущей кромкой и его натяга с использованием схемы крепления и натяга.
Рис.6.9. Гидравлический способ натяжения алмазного диска:
1-обратный клапан; 2-зажимное кольцо; 3–кольцевая полость;4-прокладка; 5-винт; 6-барабан; 7-алмазный диск АКВР.
На барабане 6 устанавливается по штифтам алмазный диск 7, устанавливается зажимное кольцо 2 с резиновой прокладкой 4, и зажимное кольцо крепится винтами 5. Кроме того, в съемном кольце выполнена кольцевая проточка 3 и в кольце имеется два клапана 1 (входной– впускной и выходной-сливной), через который подается и сливается жидкость-глицерин, заполняющий пространство между кольцами.
Давление через глицерин передается кольцевой резиновой прокладке, с помощью которой зажимается алмазный диск и прокладка вдавливает его в проточку на барабане. На алмазном диске образуется рельеф (зиг), за счет которого диск равномерно натягивается.
Давление глицерина зависит от размера алмазного диска и необходимого его натяжения. Первоначальное натяжение нового диска ориентировочно составляет 0,4% от его внутреннего диаметра (примерно 0.6-0.8мм). Давление равно 10-12 МПа.
