5 Назначение, основные конструктивные элементы и принцип действия оборудования для плазмохимического травления

Установка 08ПХ-I00Т-001 предназначена для травления кремния, пленок двуокиси кремния, нитрида кремния и хлора, структур Si3N4 – SiO2 и для использования в составе технологического оборудования при производстве изделий электронной промышленности.

Установка может применяться автономно и в составе автоматизированной поточной линии.

Установка 08ПХ-I00Т-001 изготовлена в исполнении УХЛ категории по ГОСТ 1515О-69 для работы при температурах от +10 до +35 С при относительной влажности от 45 о 80% при температуре 20 С.

Питание установки 08ПХ-I00Т-001 осуществляется от трехфазной 4-х проводной с нулевым проводом сети переменного тока напряжением 380/220В, частоты 50 Гц. Нормы качества электрической энергии по ГОСТ 131О9-67.

Установка 08ПХ-I00Т-001 обеспечивает работу при подачи азота и технологических газов (кислорода, фреона) под давлением.

Установка 08ПХ-I00Т-001 обеспечивает работу при подачи сжатого воздуха 2 класса по ГОСТ II882-73 под давлением.

Установка 08ПХ-I00Т-001 должна размещаться в помещении категории 2 по ГОСТII6Б.ОО5.О22.

Таблица 9- Составные части оборудования

Позиция	Обозначение и наименование составной части	Количество
1	Шкаф управления	1
2	Камера	2
3	Агрегат вакуумный	1
4	Устройство согласования	2
5	Блок управления и питания	1
6	Программатор «Время-команда»	1
7	Блок высокачастотный	1
8	Выпрямитель 2,7 кВ; 0,5А	1

В основе работы автомата лежит принцип применения низкотемпературной плазмы для удаления фоторезиста в непрерывном режиме с полупроводниковых пластин после травления их в фтор- и хлорсодержащей плазме.

Система управления автомата построена на базе ГУ «Орион – 3». Управление технологически процессом осуществляется по программе пользователя. Функцию общения человека с ЭВМ выполняет дисплей снабженный клавиатурой.

Питание на автомат подается при включении автомата в СЕТЬ блока питания и кнопки ПУСК блока обработки.

Ввод технологической программы и запуск автомата в любом режиме работы осуществляется от клавиатуры дисплея.

Кассеты с пластинами устанавливаются на позиции выдачи, а пустые кассеты – на позиции приема соответствующих агрегатов АПВ. Агрегат АПВ из кассеты механизма приема-выдачи пластин поштучно каждую пластину загружает в шлюз загрузки.

Затворы шлюза приводятся в действие сжатым воздухом. Давление сжатого воздуха поддерживается регулятором и контролируется реле давления и по показаниям манометра . работой входного и выходного затворов шлюза загрузки управляют клапаны ШЗВХЗ и ШЗВЫЗ. Агрегат вакуумный создает вакуум в шлюзах загрузки и выгрузки. Сообщение шлюза загрузки с АВш происходит через клапаны. Эти клапаны приводятся в действие клапанами соответственно. Разгерметизация шлюза шлюза загрузки происходит через клапан ШЗР.

После прохождения шлюза загрузки пластина устанавливается в камере обработки на позиции нагрева. Температура окружающей среды на этой позиции регулируется замкнутой системой регулирования температуры, состоящей из приборов ПН и ПР, установленных в блоке регулирования температуры БРТ, блока комбинированного, нагревательных ламп ЕК1…ЕК4 и термопары.

По истечению времени нагрева механизм кулисы перемещает пластину на позицию обработки.

Пластина обрабатывается в среде низкотемпературной плазмы, которая создается высокочастотным генератором. Устройство согласующее автоматически обеспечивает согласованный режим работы генератора. Агрегат вакуумный создает необходимое разряжение в камере обработки. Откачка камеры обработки осуществляется через вакуумный клапан. Этот клапан приводится в действие электропневмоклапаном. Рабочий газ в камеру подается по трем каналом через вакуумные клапаны которые управляются клапанами типа ГАЗ и НАЗЗ. Расход рабочих газов регулируется регуляторами. Давление рабочих газов поддерживается регуляторами давления и контролируется по показателям манометра. Камера разгерметизируется через специальный клапан. После обработки механизм перемещает пластину в шлюз выгрузки. Входной и выходной затворы шлюзы выгрузки приводятся в действие клапанами. Откачка шлюза производится через вакуумные клапаны которые управляются электропневмоклапанами.

Из шлюза выгрузки агрегат выгружает каждую пластину в кассету механизма приема-выдачи пластин. Подобным образом происходит транспортирование и обработка пластин, размещенных во второй кассете, то есть пластины из кассеты механизма приема-выдачи пластин выгружается в кассету другого механизма приема-выдачи пластин.