Технологический процесс изготовления кремниевых пластин

Подготовка слитков к резке, резка слитков

1. Получение слитка заданного диаметра (калибровка слитка)

Шлифовка слитка кремния по наружному диаметру до заданного диаметра

2. Ориентирование слитка по торцу и направлению базового среза (или лунки)

1. Рентгенографический метод или

2. Оптический метод

3. Создание базового среза (или лунки)

Шлифовка слитка кремния параллельно базовой плоскости

4. Создание дополнительного среза

Шлифовка слитка кремния параллельно плоскости дополнительного среза

5. Ориентация слитка кремния

(для ориентированной резки пластин)

1. Рентгенографический метод или

2. Оптический метод

6. Крепление слитка кремния на держателе станка резки

Наклейка слитка кремния на прокладку, а затем крепление к держателю

7. Резка слитков на пластины

1. Резка дисковыми пилами

2. Струнная резка

8. Снятие механических напряжений и очистка пластин после резки

Травление пластин в щелочном растворе

9. Идентификация пластины

Нанесение лазерной маркировки непосредственно на пластину после резки

10. Формирование фаски по краю пластины

Шлифовка (и полировка) фаски

11. Снятие механических напряжений и очистка пластин после снятия фаски

Травление пластин в щелочном растворе

12. Контроль внешнего вида

Контроль внешнего вида под люминесцентным освещением

13. Разбраковка по геометрическим параметрам (толщина, клин, прогиб)

1. Разбраковка по геометрическим параметрам контактным методом с помощью индикатора

2. Разбраковка по геометрическим параметрам бесконтактным методом

Шлифовка пластин

14. Шлифовка пластин (удаление с поверхности пластин нарушенного слоя, образовавшегося в процессе резки)

1. Односторонняя шлифовка связанным абразивом или

2. Двухсторонняя шлифовка свободным абразивом или

3. Двухсторонняя полировка свободным абразивом

15. Снятие механических напряжений и очистка пластин после шлифовки или после полировки

1. Травление пластин в щелочном растворе

2. Очистка пластин в растворах с добавлением поверхностно активных веществ (ПАВ) с помощью ультразвука

16. Контроль внешнего вида

Контроль внешнего вида под люминесцентным освещением

17. Разбраковка по геометрическим параметрам (толщина, клин, прогиб)

1. Разбраковка по геометрическим параметрам контактным методом с помощью индикатора

2. Разбраковка по геометрическим параметрам бесконтактным методом

Создание внешнего геттера и защитного слоя

18. Создание внешнего геттера на нерабочей стороне

1. Методом механической обработки (пескоструйки)

2. Осаждение слоя поликремния

3. Создание поврежденного слоя алмазной пастой при полировке

19. Защита нерабочей стороны для исключения автолегирования

1. Осаждение низкотемпературного оксида кремния

2. Осаждение эпитаксиального слоя кремния

3. Осаждение «сэндвич-слоя» кремния

Финишная полировка пластин

20. Крепление пластин

1. Нанесение клеящей мастики на приклеечный блок и приклеивание пластин или

2. Нанесение клеящей мастики непосредственно на пластину, затем крепление пластин на приклеечный блок или

3. Безвосковое крепление пластин

21. Химико-механическая полировка, удаление нарушенного слоя после предыдущей обработки (полировка проходит в две стадии: финишная и суперфинишная)

1. Односторонняя полировка или

2. Двухсторонняя полировка

22. Отклейка пластин

Отклейка пластин от приклеечных блоков или извлечение пластин из безвосковых систем и помещение пластин в кассеты

23. Химическая очистка пластин от клеящих мастик, полировальных суспензий

1. Обработка пластин в растворах ПАВ

2. Обработка пластин в химических растворах (КАРО, ПАР, ПСР)

3. Гидромеханическая очистка пластин с последующей сушкой

24. Контроль геометрических параметров пластин

1. Контроль толщины, клина, прогиба бесконтактным методом

2. Контроль параметров плоскостности пластин бесконтактным методом

25. Выходной контроль

1. Контроль внешнего вида под люминесцентным освещением

2. Контроль внешнего вида под светом высокой интенсивности

3. Инструментальный контроль частиц, матовости

4. Контроль структурного совершенства (выборочный разрушающий контроль)

5. Контроль удельного сопротивления, типа проводимости, содержания кислорода, углерода (при необходимости))

26. Упаковка пластин

1. Упаковка в потребительскую тару

2. Упаковка в потребительскую тару с последующей вакуумной упаковкой