Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
КП ОП Иноземцев 1.doc
Скачиваний:
4
Добавлен:
01.07.2025
Размер:
493 Кб
Скачать
☆

Метод нанесения: иэ

Тисп. = 1270 0 С

Тподл. = 300 0 С

1- 2= 210 – 10000 нм.

Рассчитаем интегральный коэффициент отражения :

min = ; min = = 0,0147 = 14,7 %

Расчет зависимостей R1,3 = f() и R1,3 = f() произведем по формуле (2.9 - 2.12), подставив значения: n1 = 1; n2 = 1,38; n3 = 1,4922; n2h2 =0/2; 0 = 420 нм.

, ( 2.9)

, ( 2.10)

=

При

( 2.11)

R1,3 = |r1,3|2 =0,0389 ( 2.12 )

Энергетический коэффициент пропускания: Т1,3 = 1 – R 1,3 = 0,9611

При 0 =  =

( 2.11)

R1,3 = |r1,3|2 = 0,0147

Энергетический коэффициент пропускания: Т1,3 = 1 – R 1,3 = 0,9853 (2.13 )

На основе полученных данных составим таблицы 3.1 и 3.2 и построим график R1,3 = f () (рис. 3.1) и R1,3 = f () ( рис. 3.2 ).

Спектральная зависимость R1,3 = f ()

Таблица 3.1

n2h2

0

/4

/2

3 /4

0

3/2

2

cos2

1

-1

1

-1

1

R1,3

0,0389

0,0147

0,0389

0,0147

0,0389

0,9949

Т13

0,94

Рисунок 3.1

Спектральная зависимость R1,3 = f ()

Таблица 3.2

340

450

560

874

1188

1500

cos2

R1,3

Рисунок 3.2

    1. Расчет двухслойного просветляющего покрытия.

Рисунок 2.2

n2h2 = n3h3 = 0 / 4 = 105 ( 2.14 )

n 3 / n2 = , ( 2.15 )

Из таблицы пленкообразующих материалов (приложение 1) выберем материал с наиболее близким к расчетному показателю преломления для заданной области спектра -

Трехокись вольфрама WO3

1460

> 0,36

n=1,68

Если условие (2.15) не выполняется, то коэффициент отражения min рассчитывается по формуле (2.16):

min = ( 2.16)

Расчет амплитудных и энергетических коэффициентов отражения системы воздух – слои – подложка производится по следующим формулам (2.1 – 2.4), которые принимают вид:

, ( 2.17)

, (2.18)

, (2.19)

При = 0

, (2.21)

, (2.20)

R1,4 = |r1,4|2 = 0,0839

Энергетический коэффициент пропускания вычисляется по формуле:

Т1,4 = 1 – R 1,4 = 0,9161 (2.24)

При 0 =  =

, (2.21)

, (2.20)

R1,4 = |r1,4|2 = 0,0103 (2.22)

Энергетический коэффициент пропускания вычисляется по формуле:

Т1,4 = 1 – R 1,4 = 0,9897 (2.24)

Спектральная зависимость R1,4 = f ()

Таблица 3.1

n2h2

0

/4

/2

3 /4

0

3/2

2

cos2

1

-1

1

-1

1

R1,4

0,0839

0,0103

0,0839

0,0103

0,0839

0,9949

Т13

0,98

Рисунок 3.1

Спектральная зависимость R1,3 = f ()

Таблица 3.2

340

450

560

874

1188

1500

cos2

R1,4

Расчет трехслойного ахроматического просветляющего покрытия.

Рисунок 2.3

Для ахроматического покрытия типа n2h2 = n4h4 = 0 / 4, n3h3 = 0 / 2 соотношения показателей преломления слоев должны удовлетворять следующие условия:

n 5 < n 3 < n 4 > n 2 ( 2.25 )

n 3 n 2 ( 2.26 )

Из таблицы пленкообразующих материалов (приложение 1) выберем материал с наиболее близким к расчетному показателю преломления для заданной области спектра -

МgО

2800

n=1,7

= 0.25 – 8.5

Интегральный коэффициент отражения рассчитывается по формуле Френеля:

min = ( 2.27 )

Расчет амплитудных и энергетических коэффициентов отражения системы воздух – слои – подложка производится по следующим формулам (2.1 – 2.4), которые принимают вид:

, ( 2.28 )

, ( 2.29 )

, ( 2.30 )

, ( 2.31 )

При = 0

, ( 2.34 )

, ( 2.33 )

, ( 2.32 )

R1,5= |r1,52 |=0,0389 , ( 2.37 )

Энергетический коэффициент пропускания вычисляется по формуле:

Т1,5 = 1 – R 1,5 =0,9611 ( 2.39 )

При 0 =  =

, ( 2.34 )

, ( 2.33 )

, ( 2.32 )

R1,5= |r1,52 |=0,0176 , ( 2.37 )

Энергетический коэффициент пропускания вычисляется по формуле:

Т1,5 = 1 – R 1,5 =0,9824 ( 2.39 )

Спектральная зависимость R1,4 = f ()

Таблица 3.1

n2h2

0

/4

/2

3 /4

0

3/2

2

cos2

1

-1

1

-1

1

R1,5

0,0389

0,0176

0,0389

0,0176

0,0389

0,9949

Т13

0,98

Спектральная зависимость R1,3 = f ()

Таблица 3.2

340

450

560

874

1188

1500

cos2

R1,5