3 Изучение служб электромеханика

Обеспечивает бесперебойную технически-грамотную эксплуатацию и надежную работу оборудования, повышение его сменности, содержание в работоспособном состоянии.

Должность главного электромеханика может занимать специалист, имеющий высшее техническое образование и стаж на инженерно-технической должности не менее 5 лет.

Главный электромеханик в своей работе руководствуется действующим законодательством РБ, уставом предприятия, нормативными актами, приказами и распоряжениями руководства объединения, положением инструкций и другими локально нормативными актами, действующими на предприятии.

Главный электромеханик обязан:

1) систематически осуществлять надзор за состоянием оборудования и уходом за ним, своевременно и качественно выполнять плановые ремонты;

2) осуществлять систематический контроль за производственным персоналом завода правил и норм по технической эксплуатации оборудования;

3) организовывать разработку и внедрение мероприятий по повышению износостойкости деталей и механизмов, предварительную поломку;

4) составлять перечень регламентных работ и графики их проведения;

5) осуществление технологическим руководством ремонтных работ, обслуживанием и наладкой оборудования;

6) разрабатывать и внедрять мероприятия по безопасности работы оборудования завода;

7) обеспечивать достоверный учет и сохранность драгоценных металлов;

8 ) своевременно организовывать работу по составлению заявок на материалы и изделия для ремонта оборудования;

9 ) обеспечивать правильность расхода материалов;

10) составлять ремонтные ведомости на оборудование завода.

4 Назначение, устройство, работа оборудования и его отдельных узлов

Установка совмещения и предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине и переноса изображения с фотошаблона на пластину экспонированием фоторезистивного слоя пластин при фотолитагрофических процессах изготовления интегральных микросхем и полупроводниковых приборов

Установка рассчитана на применение фоторезиста типа ФПРН-7 со следующими параметрами нанесения слоя:

-толщина слоя ФР,мкм=0,6-0,8

-Разнотолщинность слоя ФР, % не более 10

Установка может применятся автономно и в составе линии фотолитографии.

Установка изготовлена для эксплуатации в помещениях с классом частоты и категории микроклимата 1-2-1 по ОСТ 11 050.001. Колебания температуры воздуха при работе установки не должны превышать 0.5 °С. Амплитуда вибрации основания для установок не должна превышать:

- 5 мкм при частоте до 5 Гц

- 0,3 мкм при частоте от 5 до 20 Гц

Питание установки осуществляется от трехфазной четырехпроводной с нулевым проводом сети переменного тока напряжением 220-380 В, частоты 50 Гц. Нормы качества энергии по ГОСТ 13 109-67

Установка обеспечивает работу при подаче сжатого воздуха по ГОСТ 17433-72. Температура сжатого воздуха не должна отличатся от температуры окружающей среды более чем на ± 2 °С. Установка должна быть подсоединена к вакуумной магистрали с остаточным давлением 0,02 МПа. Для эксплуатации установки в блок экспонирования и контроля совмещения необходимо подавать водопроводную воду под давлением 0.05 ±0.1 МПа и расходом не менее 0.05 м³/2