- •1.Межмолекулярное взаимодействие в газах.Эффективный газокинетический диаметр.
- •2.Среднее число столкновений и средняя длина свободного пробега
- •3.Частота соударений молекул газа с поверхностью.Число Кнудсена.Степени вакуума.
- •4.Растворимость газов в твердых телах.Газовыделение.Газопроницаемость
- •5.Теплопередача в вакууме,Радиационный теплообмен
- •6. Условие теплового равновесия в вакууме.Термомолекулярный эффект Кнудсена.
- •7. Проводимость трубопровода при вязкостном режиме течения.
- •9 Классификация вакуумных насосов
- •1 2. Двухроторные вакуумные насосы
- •11. Насосы с маслясным уплотнением
- •13. Турбомолекулярные насосы
- •1 − Впускной патрубок; 2 − охлаждаемый коллектор; 3 − защитный экран; 4 −
- •22.Магнитные электроразрядные ионно-геттерные насосы.
- •23. Тепловые манометрические преобразователи.
- •24. Электронные ионизационные манометрические преобразователи.
- •25. Магнитные электроразрядные манометрические преобразователи.
- •26. Статические газоанализаторы.
- •27. Квадрупольный динамический масс-фильтр.
- •2 8. Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель.
- •33 Осаждение покрытий методами ионного распыления.
4.Растворимость газов в твердых телах.Газовыделение.Газопроницаемость
Растворимость
s
газа
в металлах описывается выражением
где
S0
-
коэффициент, зависящий от природы
растворяемого газа и твердого тела
(константа растворимости); j
- количество
атомов в молекуле газа; Es-
энергия активации процесса
растворения.Растворимость газов,
образующих истинные твердые растворы,
возрастает с повышением температуры,
(показатель экспоненты берется со
знаком "-"), а образующих химические
соединения - уменьшается с температурой
(показатель экспоненты берется со
знаком "+"). В неметаллах растворение
газов идет в молекулярном состоянии.При
этом образуются истинные растворы:
.Адсорбированные
на
внутренней
поверхности вакуумной камеры и других
элементов вакуумных систем, а также
растворенные в твердом теле газы могут
выделяться в объем вакуумной камеры.
Выделение газа из материала в вакуум
называется газовыделением.
Различают
процессы
десорбционного
и нестационарного диффузионного
газовыделения. Десорбционное
газовыделение обусловлено
выделением адсорбированных на
поверхности газов и сконденсированных
паров. Нестационарное
диффузионное газовыделение имеет
место при нарушении равновесия между
концентрациями веществ,находящимися
в газовой фазе и раствотенными в твердом
теле.Дополнительный газовый потока
в вакуумную камеру, обусловленный
проникновением I
аза
через стенки вакуумной камеры
-газопроницаемостью.Величина
газопроницаемости зависит от природы
газа, материала стенок вакуумной
камеры и температуры.
5.Теплопередача в вакууме,Радиационный теплообмен
Теплопроводность - перенос тепла от более нагретой части термодинамической системы к менее нагретой в результате передачи кинетической энергии теплового движения молекул от молекул, обладающих большей энергией, молекулам с меньшей энергией.
В
отличие от коэффициента теплопроводности
плотных газов коэффициент теплопередачи
в вакууме прямо пропорционален плотности
молекул,а следовательно, и давлению.
Это
выполняется на опыте в области средних
давлений. Зависимость коэффициента
теплопередачи в разреженном газе от
давления положена в основу принципа
действия тепловых манометрических
преобразователей для измерения
остаточного давления в вакуумных
системах.Коэффициент теплопередачи в
вакууме существенно ниже коэффициента
теплопроводности газа при высоком
давлении. Поэтому вакуум используется
в качестве теплоизоляции. Количество
теплоты, передаваемой за время t
при излучении
от
поверхности площадью S1,
имеющей температуру T1,к
поверхности имеющей температуру Т2,
(T1
> Т2) определяется
в соответствии с законом Стефана-Больцмана
следующим образом:
6. Условие теплового равновесия в вакууме.Термомолекулярный эффект Кнудсена.
Пусть
имеются два сосуда с газом, соединенные
трубкой,температуры газа в сосудах
различны (Т1>
Т2).В
вакууме столкновений между молекулами
практически нет. Есть два независимых
встречных потока молекул. Количество
молекул, попадающих в единицу времени
на площадку S
(где
S
-
площадь сечения трубки):
.Равновесие
установится в тот момент, когда сравняются
потоки молекул через сечение трубки в
прямом и обратном направлениях, т. е.
при
.Если
температуры в сосудах с сильно разреженным
газом (область высокого вакуума) различны,
то равновесие устанавливается при
соотношении
между
давлениями и температурами. Явление
возникновения разности
давлений в вакууме вследствие разности
температур называется тепловой
транспирацией, термомолекулярным
эффектом или
эффектом
Кнудсена.
Эффект
нужно учитывать при измерении вакуума,
поскольку датчик манометрического
преобразователя может находиться в
одном месте вакуумной системы, а другая
часть вакуумной камеры может
охлаждаться либо нагреваться.
Действительное равновесное давление
р
в
вакуумной камере с температурой Т
отличается
от измеряемого давления ризм
при
температуре измерения Тизм:
