3.4 Рабочие эталоны 4-й части
3.4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
3.4.1.1
В качестве рабочих эталонов 1-го разряда
используют рельефные меры в диапазоне
от 10
до 10
м, микроскопы с лазерным интерферометром
и лазерные измерители перемещений в
диапазоне от 10
до 10
м.
3.4.1.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ±1 до ±10 нм.
3.4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда - рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.
3.4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.4.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют рельефные меры, электронные растровые измерительные микроскопы и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10 до 10 м.
3.4.2.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от ±3 до ±50 нм.
3.4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений - рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.
4. Рабочие средства измерений
4.1 Рабочие средства измерений 1-й части
4.1.1 В качестве рабочих средств измерений используют спектрометры и спектрофотометры в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения и частотно-стабилизированные и нестабилизированные лазеры непрерывного излучения - меры длин волн в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения и лазеры импульсного излучения в диапазоне от 0,4 до 1,2 мкм.
4.1.2
Доверительные границы относительных
погрешностей
при
доверительной вероятности 0,99
частотно-стабилизированных лазеров
повышенной точности составляют от 1±10
до 3·10
.
4.1.3
Пределы допускаемых относительных
погрешностей
рабочих
средств измерений составляют от ±3·10
до ±1·10
.
4.2 Рабочие средства измерений 2-й части
4.2.1 В качестве рабочих средств измерений используют измерители линейных перемещений в диапазоне от 0,01 до 30000 мм, штриховые меры длины в диапазоне от 0,1 до 2000 мм, измерительные преобразователи линейных перемещений в диапазоне от 0 до 32000 мм, приборы для измерений наружных и внутренних размеров в диапазоне от 0 до 1000 мм, складные меры и измерительные линейки в диапазоне от 0 до 1000 мм, нивелирные рейки в диапазоне от 0 до 4000 мм, лесные вилки в диапазоне от 1 до 750 мм, измерительные рулетки длиной до 100 м, землемерные ленты длиной до 50 м, мерные проволоки длиной до 24 м.
4.2.2
Пределы допускаемых абсолютных
погрешностей
рабочих
средств измерений составляют от ±0,05
мкм до ±14 мм.
4.3 Рабочие средства измерений 3-й части
4.3.1 В качестве рабочих средств измерений используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, контактные интерферометры с ценой деления от 0,02 до 0,2 мкм, приборы для измерений наружных и внутренних размеров, нутромеры, штангенинструмент в диапазоне от 0 до 2500 мм; установочные кольца в диапазоне от 1 до 500 мм, преобразователи и приборы автоматизированного контроля, установочные концевые меры, проволочки и ролики для измерений среднего диаметра резьбы, принадлежности к концевым мерам длины (боковики).
4.3.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей рабочих средств измерений составляют от ±0,02 мкм до ±1 мм.
4.4 Рабочие средства измерений 4-й части
4.4.1
В качестве рабочих средств измерений
используют рельефные меры в диапазоне
от 10
до 10
м, электронные растровые измерительные
микроскопы в диапазоне от 10
до 10
м и сканирующие зондовые атомно-силовые
микроскопы в диапазоне от 10
до 10
м.
4.4.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей рабочих средств измерений составляют от ±10 до ±1000 нм.
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10_(-9) до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10_(-9) до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные
Список
использованной литературы
ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1х10_(-9) до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм