Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Технология тонких пленок.doc
Скачиваний:
0
Добавлен:
01.07.2025
Размер:
135 Кб
Скачать
☆

Список литературы

1. Чернетский А.В. Введение в физику плазмы. – М.: Атомиздат, 1969.

2. Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме. – М.: Наука, 1974.

3. Патеюк Г.М. Исследование высокочастотного разряда – ЖЭТФ, 1956.

4. Джерпетов Х.А., Патеюк Г.М. Исследование высокочастотного разряда методом зондов. – ЖЭТФ, 1955.

5. Левитский С.М. Потенциал пространства и распыления электродов в высокочастотном разряде. – ЖТФ,1957.

6. Годяк В.А., Кузовников А.А. О вентильных свойствах ВЧ-разрядов. – Физика плазмы, 1975.

7. Годяк В.А., Иванов А.Н., Кузовников А.А. Изменение плавающего потенциала лентмюровского зонда под действием переменного напряжения. – ЖТФ, 1967.

8. Годяк В.А., Кузовников А.А., Савинов В.П., Эль Саммани, Якуб А. О стационарных полях в ВЧ разлядах низкого давления. – Вестник Московского университета, сер. 3, физика, астрономия, 1968.

9. Кузовников А.А., Савинов В.П. Пространственное распределение пеараметров стационарного высокочастотного разряда. – Вестник московского университета, сер.3, физика, астрономия, 1973.

10. Годяк В.А. Статистический нагрев электронов на осциллирующей границе плазмы. – ЖТФ, 1971.

11. Кузовников А.А., Савинов В.П. О влиянии собственных стационарных электрических полей на свойства высокочастотного разряда. – Радиотехника и электроника, 1973.