2. Индекс мпк н01l21/318

- к разделу  H отнесены:          а) основные элементы электромеханического оборудования – все электрические детали и механические конструкции аппаратов и цепей, комбинации основных элементов в так называемых печатных схемах, а также некоторые способы и устройства для изготовления этих элементов (если для этого не предусмотрены специальные рубрики в других разделах);          б) генерирование электрической энергии – устройства для генерирования, преобразования и распределения электрической энергии, а также устройства для управления ими;          в) прикладная электротехника

г)основные электронные схемы и управление ими;          д) техника радио- и электросвязи;          е) подклассы раздела  H часто включают в себя рубрики на «использование материалов с особыми свойствами» для изготовления изделий или элементов. 

- класс H01: Основные элементы электрического оборудования

- подкласс H01L : Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам использование полупроводниковых приборов для измерений.

Индекс УДК 661.55

66-Химическая технология. Химическая промышленность. Пищевая промышленность. Металлургия. Родственные отрасли

661-Продукты основной химической промышленности

661.5-Соединения азота. Связывание азота

661.571.1-Нитриды. Общие вопросы.

Индекс УДК 621.38.0025:533.915.082.5

621.38.0025

62-Инженерное дело. Техника в целом

621 – Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

621.3 – Электротехника

621.38 – Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы, трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц. Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника.

533.915.082.5

53-Физика

533-Механика газов. Аэродинамика. Физика плазмы

533.9 – Физикаплазмы

7.Перечень изученной патентной и информационной документации

В результате патентного поиска по базам данных патентных документов РФ (разделы: Полные тексты российских изобретений из трех последних бюллетеней(НИ), Заявки на российские изобретения(ЗИ) , Рефераты российских изобретений(РИ)) были найдены следующие патентные документы :

1. Способ получения пленок нитрида кремния (№ 2325001) (НИ);

2. Способ получения диэлектрической пленки нитрида кремния (№ 2449414) (НИ);

3. Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния(№ 1584309) (РИ);

4. Способ осаждения нитрида кремния на кремниевую подложку (№ 2012153091) (РИ);

5. Способ осаждения нитрида кремния на кремниевую подложку (№ 2518283) (НИ).

Информационные документы, используемые для изучения информации по предмету патентного поиска:

1. Андриевский Р.А. Нитрид кремния-синтез и свойства// Успехи химии №64(4) , 1995 г, с. 311-329;

2. Андриевский Р.А., Спивак И.И. Нитрид кремния и материалы на его основе. М.: Металлургия, 1984 ., 136 с ;

3. Киреев Ю.В., Столяров А.А. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. М.: Техносфера, 2006 г. 192 с ;

4. Ковалгин А.Ю. Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния: Автореф… дис. Канд. Техн. Наук. Санкт-Петербург, 1995 г. 237 с.