Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Курс.docx
Скачиваний:
1
Добавлен:
01.07.2025
Размер:
1 Мб
Скачать
☆

Список литературы:

  1. Шалейко И.Г. Физико-статистическая модель процесса электромиграции — 2010. —с.170-173.

  2. Борздов В.М., Лабуда А.А., Молофеев В.М., Петрович Т.А. Влияние структурных свойств тонких алюминиевых пленок на их надежность при электромиграции— 1994. —с.56-58.

  3. Михалкович О.М., Гусаков В.Е., Ташлыков И.С. Массоперенос в Si при нанесении Ti тонких пленок, ассистированном собственными ионами— 2011 —с.1-2.

  4. Колешко В.М., Белицкий В.Ф. Массоперенос в тонких плёнках—2011. — с. 140-160,175, 200-245.

  5. Громов Д.Г. Учебное пособие по дисциплине «Металлизация в системах с наноразмерными элементами» — 2011. — с.5-18.

23