2.Порядок выполнения работы.

ВНИМАНИЕ! Приступать к выполнению работы можно только после ознакомления с инструкцией по технике безопасности при проведении лабораторных работ и получения разрешения у преподавателя.

Оборудование: вакуумная установка УРМ 3.279.036.

Ход работы:

1. Включение установки:

1.1. Включаем питание шкафа управления, переключением автомата, питающего шкаф, в положение ВКЛ.

1.2. В задней стенке управляющего шкафа нажимаем на кнопку ПУСК компьютера, при этом должна начаться загрузка операционной системы Windows на экране компьютера.

1.3. На лицевой панели вакууметра «Метахром» переводим тублер «Сеть» в положение Вкл.

1.4. Открываем вентиль холодной воды на водопроводе.

1.5. Включаем компрессор для подачи сжатого воздуха на установку.

1.6. На рабочем столе при помощи мыши запустить программу по управлению установкой при помощи ярлыка Lectus Modbus.

1.7. Затем запускаем еще один ярлык Osutp.

Рис. 1.17. Вид интерфейса окна программы управления: 1 – паромасляяный насос, 2 – азотная ловушка, 3 – высоковакуумный клапан, 4 – резиновый уплотнитель, 5,7,8 – клапаны, 6 – форвакуумный насос.

1.8. В рабочей области программы кликнуть на иконку механического насоса (рис. 1.17, поз. 6), включится механический насос, иконка поменяет цвет на красный;

1.9. Под иконкой механического насоса кликнуть на иконку клапана (рис. 1.17, поз. 7), иконка поменяет цвет на красный;

1.10. Кликнуть на иконку форвакуумного клапана (рис. 1.17, поз. 8), механический насос соединится с объемом паромасляного насоса – начнется откачка воздуха, иконка поменяет цвет на красный. Дождаться достижения в объеме паромасляного насоса вакуума порядка 5•10^-2–1•10^-2 мм.рт.ст. на индикаторе вакуумметра.

1.12. Кликнуть на иконку паромаслянного насоса (рис. 1.17, поз. 1), включится паромасляный насос, иконка поменяет цвет на красный;

1.13. Дождаться надписи в области программы «Паромасляный насос прогрет».

1.14. Кликнуть на иконку форвакуумного клапана (рис. 1.17, поз. 8), дождаться когда она поменяет цвет на зеленый. Кликнуть на иконку байпасного клапана (рис. 1.17, поз. 5), дождаться когда она поменяет цвет на красный – начнется откачка воздуха из вакуумной камеры.

ВНИМАНИЕ! Обязательно соблюдать указанную последовательность: сначала закрывается один клапан, а лишь затем открывается другой (оба клапана никогда не должны быть открыты вместе (быть красного цвета), иначе возможен выход оборудования из строя).

1.15. При давлении в камере не более 10 Па (указывается на индикаторе вакууметра «Метахром»: ПМТ:10,0) и отметке о том, паромаслянный насос прогрет. Кликнуть на иконку байпасного клапана (рис. 1.17, поз. 5), дождаться когда она поменяет цвет на зеленый. Кликнуть на иконку форвакуумного клапана (рис. 1.17, поз. 8), дождаться когда она поменяет цвет на красный.

1.16. Кликнуть иконку затвора (рис. 1.17, поз. 3), затвор откроется, иконка поменяет свой цвет на красный – начнется получение высокого вакуума.

ВНИМАНИЕ! Перед открытием затвора обязательно проверить наличие в вакуумной камере вакуума не более 10 Па., иначе при открытии затвора паромасляный насос выйдет из строя.

2. Получение масс – спектра.

2.1. Запустить программу VacuumPlus.exe. (Рис. 1.18)

Когда давление понижается ниже 3х10^-3 мм.рт.ст., включается ионизационный датчик, а при понижении давления ниже 3х10^-3 мм.тр.ст. начинает работать квадруполь. В заводской конфигурации катоду задано активное состояние (ON), но цвет лампы на кнопке выключателя катода в главном окне будет красным, пока давление не достигнет значения 3х10^-3 мм.тр.ст. С этого момента цвет лампы станет желтым и начнет работать квадрупольный масс – фильтр.

Р ис.1.18 Вид программы VacuumPlus: 1 – поле включения катода: 2 – меню вкладок с настройками параметров сканирования; 3 – область построения масс - -спектра(по оси Х – а.е.м., по Y – ионный ток)

Заводская настройка задает для квадрупольного масс – фильтра развертку по массам в диапазоне от 1 а.е.м до максимальной регистрируемой массы рабочего диапазона – 100 а.е.м.

В поле 3 расположены вкладки с настройками параметров сканирования:

- Вкладка Configuratoin(Конфигурация) служит для восстановления настроек по умолчанию или сохранению новых. Последние сохраненные настройки остаются активными и становятся настройками по умолчанию, которые будут загружены при следующем включении

- Вкладка «Scanning Parameters»(Параметры сканирования) позволяет указать конечную и начальную массы диапазона, число отсчетов на 1 а.е.м. и скорость сканирования. Скорость сканирования – число измеренных отсчетов с секунду. Число отсчетов на 1 а.е.м. – число равномерно распределенных отсчетов, взятых в пределах диапазона величиной 1 а.е.м.

Например, задание для числа отсчетов на а.е.м. значения 10 при скорости сканирования 10/секунду приведет к сканированию со скоростью 1 а.е.м/секунду.

- В поле «Electron Energy»(Энергия электронов) задается разность потенциалов между катодом и сеткой ионного источника. Заводское значение – 70 эВ. Данная настройка влияет на чувствительность.

3.1. Задание:

3.1.1. Записать масс-спектр в интервале масс, указанных преподавателем.

3.1.2. Рассчитать положение пиков для некоторого (одного и того же для всех пиков) времени.

3.1.3. Распечатать записанный масс-спектр и расшифровать его.

3.1.4. Сравнить измеренные и рассчитанные разности масс. Оцените ошибку определения (измерения) разности масс.

3.1.5. Сделать окончательные выводы о результатах измерений.

3.2. Обработка результатов измерений

4. Содержание отчета

1. Цель лабораторной работы.

2. Полученный масс-спектр.

3. Расшифровка масс-спектра.

4. Выводы по работе.