299

Методика РМА может применяться не только в РЭМ, но и в ПРЭМ. На рисунке 87 представлены изображения, полученные с помощью STEM-EDS.

Рис. 87 STEM-EDS изображения в области КЭШа микропроцессора.

Краткое описание

Детектируемый сигнал: характеристическое рентгеновское излучение Детектируемые элементы: B-U

Предел детектирование: 0.1 – 1 ат% Разрешение по глубине: 0.5-3 мкм Изображение: есть Пространственное разрешение: >=0.3 мкм

Применение

•Получение изображения и элементного состава небольших областей

•Идентификация и визуализация хим. элементов, присутствующих в дефекте.

Достоинства

•Быстрый анализ

•Многосторонний, недорогой и широко распространенный метод

•Количественный для некоторый образцов (плоские, полированные и однородные)

Ограничения

•Количественное определение лишь частично для образцов, которые не являются плоскими, однородными и полированными

•Ограничения размера на образце

•Образцы должны быть пригодны для помещения в вакуум

•Анализ (и покрытие) могут испортить последующий поверхностный анализ

•Ограниченная чувствительность для элементов с низким Z