7.2 Порядок виконання роботи

Через високу небезпечність складових сполук поліруючого травника та самої процедури травлення в даній лабораторній роботі досліджуються вже протравлені зразки кремнію.

Отримати від викладача зразки пластин кремнію після селективного травлення.

За допомогою оптичного мікроскопа дослідити форму ямок травлення на структурних дефектах.

7.3 Контрольні питання

1. Написати рівняння реакції взаємодії хромового ангідриду CrO₃ з водою.

2. Для чого в технології мікроелектроніки використовують селективне травлення?

3. Чому при селективному травленні на поверхні пластини кремнію утворюються фігури травлення?

4. Які заходи безпеки необхідно виконувати при роботі з хромовим ангідридом та при його зберіганні?

Список літератури

1. Глинка, Л.Н. Общая химия. 30-е изд., испр. - М.: 2003. - 728 с.

2. Дорофеев, А.И Практикум по неорганической химии / А.И. Дорофеев, М.И. Федотова.. - Л: Химия, 1990, - 240 с.

3. Зайцев, О.С.. Исследовательский практикум по общей химии. - М: Изд-во Московского университета, 1994, - 480 с.

4. Ахметов, Н.С. Лабораторные и семинарские занятия по неорганической химии / Н.С. Ахметов, М.К. Азизова, Л.И. Бадыгина. - М: Высшая школа, 1988, - 303 с.

5. Васильева, З.Г. Лабораторные работы по общей и неорганической химии / З.Г. Васильева, А.А. Грановская, А.А. Таперова. - Л: Химия, 1986, - 287 с.

6. Практикум по общей и неорганической химии / Под ред. Н.Н. Павлова, С.В. Петрова. - М: Высшая школа, 1986, - 298 с.

7. Червоний, І. Ф. Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва: монографія / [І. Ф. Червоний, В. З. Куцова и др.]; під. заг. ред. І. Ф. Червоного. – Вид. 2-е, допр. і перер. – Запоріжжя: Видавництво ЗДІА, 2009. – 488 с.

40