Автоматический модуль нанесения структур

Пластина и источник неподвижны. Назначение: нанесение ионно - лучевым распылением пятислойной структуры в едином вакуумном цикле .Тип источника - 4-х мишенный ионный источник . Технические характеристики: Основные параметры источника : а) Источник распыления 1. Средняя энергия ионов 0,5-0,8 кэВ; 2. Ток ионного пучка 0,3 А; б) Источник ионной очистки 1. Средняя энергия ионов 0,01—0,1 кэВ; 2. Ток ионного пучка 0,1 А;

Основные параметры установки:

1. Режим работы автоматический;

2. Размер пластин 76 мм;

3. Количество одновременно загружаемых пластин 1 шт.;

4. Производительность 4 шт/ч;

5. Неравномерность обработки ± 5 %;

6. Средство откачки - турбомолекулярный насос;

7. Рабочее давление 0,01 Па;

8. Предельное остаточное давление 0,001 Па;

9. Потребляемая мощность 10 кВА;

10. Габаритные размеры 3770 х 1610 х 3270 мм;

11. Масса 1750 кг.

Установка магнетронного нанесения защитно - декоративных покрытий на детали товаров народного потребления

Планетарное вращение деталей. Назначение: очистка поверхности и нанесение защитно-декоративных покрытий (бронзы, латуни) на детали товаров народного потребления сложной объемной конфигурации в едином вакуумном цикле. Тип источников: Маг - 50 и протяженный щелевой источник ионов. Технические характеристики Основные параметры источников : а) МАГ-50 1. Потенциал на мишени 0,4 - 0,8 кВ; 2. Ток ионов на мишень 30 А; б) Протяженный щелевой источник ионов 1. Средняя энергия ионов 0,5 кэВ; 2. Ток ионного пучка 1 А.

Основные параметры установки:

1. Режим работы - ручной, автоматический блок откачки;

2. Размер деталей: диаметр от 16 до 196, высота от 16 до 64 мм;

3. Количество одновременно загружаемых деталей 90 шт.;

4. Производительность 70 шт/ч;

5. Неравномерность нанесения  5 %;

6. Средство откачки - диффузионный насос;

7. Рабочее давление 0,2 - 0,5 Па;

8. Предельное остаточное давление 610^-4 Па;

9. Потребляемая мощность 18 кВА;

10. Габаритные размеры 4000 х 1000 х 2000 мм;

11. Масса 2500 кг.

Высокопроизводительная автоматизированная установка магнетронного нанесения металлов

Вертикальное перемещение универсаль-ных кассет. Назначение: двухстороннее двухслойное нанесение металлов на подложки. Тип источника: четыре магнетрона МСИР. Технические характеристики. Основные параметры источника: 1. Потенциал на мишени 0,2 - 0,8 кВ; 2. Ток ионов на мишень 120 А; 3. Размеры мишени 1290 х 136 х 15 мм;

Основные параметры установки :

1. Режим работы - автоматический от микро-ЭВМ "Орион-3";

2.Размер кассет 1250 х 1250 мм;

3. Производительность 20 м²/час;

4. Неравномерность нанесения ± 7 %;

5. Средства откачки турбомолекулярный насос;

6. Предельное остаточное давление 5,410⁴ Па;

7. Потребляемая мощность 200 кВА;

8. Габаритные размеры 8000 х 3000 х 2500 мм;

9. Масса 20000 кг.