Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Свойства пленок - Лабораторные работы.doc
X
- •Содержание
- •Введение
- •Лабораторная работа № 1 Влияние плазмы тлеющего разряда на электрические свойства тонких пленок.
- •Теоретическое введение
- •Порядок выполнения
- •Лабораторная работа № 2
- •1. Эллипсометрия.
- •2. Метод Крамерса-Кронига
- •Контрольные вопросы
- •Литература
- •Лабораторная работа № 3 Прочностные и энергетические характеристики металлических пленок, полученных при различных технологических режимах
- •Теоретическое введение
- •Практическая часть
- •1) Механические методы:
- •Порядок выполнения:
- •Порядок выполнения работы
- •Порядок выполнения
- •Контрольные вопросы
- •Литература
- •Лабораторная работа № 6 Влияние лазерного отжига на лучевую стойкость диэлектрических пленок
- •Теоретическое введение
- •Порядок выполнения
- •Контрольные вопросы
- •Литература
- •Лабораторная работа №7 Метод измерения удельного сопротивления тонких пленок
- •Теоретическое введение Двухзондовый метод измерения
- •Неоднородность в распределении удельного сопротивления
- •Четырёхзондовый метод измерения.
- •Линейное расположение зондов
- •Расположение зондов по вершинам квадрата
- •Электрическая схема и методика измерения
- •Применение четрехзондового метода к образцам простой геометрической формы
- •Двухслойная структура
- •Тонкий слой
- •Порядок выполнения
- •Контрольные вопросы:
- •240019. Г. Гомель, ул. Советская, 104
- •240019. Г. Гомель, ул. Советская, 104
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]