Задание

1. Определить морфологические параметры образцов пленок (покрытий) от технологических режимов их формирования [по заданию преподавателя или лаборанта];

2. Определить зависимость морфологических параметров образцов от режимов СТМ [по заданию преподавателя или лаборанта];

3. Определить зависимость морфологических параметров образцов от режимов АСМ [по заданию преподавателя или лаборанта].

Содержание и оформление отчета по работе

Отчет должен содержать следующие сведения:

1. Название лабораторной работы.

2. Формулировку цели работы.

3. Краткое описание физических основ работы сканирующих зондовых микроскопов (СТМ и АСМ).

4. Описание схемы микроскопа СММ-2000.

5. Описание методики и порядок исследования структуры поверхности материалов.

6. Протоколы измерений.

7. Выводы.

ПРОТОКОЛ ИЗМЕРЕНИЯ № 1

№ вар.	Материал покрытия	Разрешение микроскопа	Количество элементов на единице поверхности, 1 мкм2	Размеры элементов	Структура элементов

Вопросы для самопроверки

1. Методы измерения поверхностной структуры твердых тел, их отличительные особенности.

2. Влияние структуры поверхности на физико-химические свойства изделий приборостроения.

3. Основные характеристики структуры поверхности.

4. Особенности СТМ. Достоинства и недостатки метода.

5. Особенности АСМ. Достоинства и недостатки метода.

6. Порядок проведения измерений морфологической гетерогенности методом СТМ.

7. Порядок проведения измерений морфологической гетерогенности методом АСМ.

8. Устройство микроскопа СММ-200.

9. Оценка погрешности измерения исследуемых характеристик.

Литература

Основная

1. Сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопия. Работа на микроскопе СММ-2000: уч. пособие / Б.А. Логинов. – М.: МИФИ, 2008. – 224 с.

2. Сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопия: уч. пособ. по работе на микроскопе СММ-2000 / Б.А.Логинов. – М.: МИФИ, 2006. – 92 с.

3. Галлямов М.О., Яминский И.В. Сканирующая зондовая микроскопия: основные принципы, анализ искажающих эффектов // http://www.spm.genebee.msu.su/

Дополнительная

1. Бахтизин Р.З. Сканирующая туннельная микроскопия - новый метод изучения поверхности твердых тел // Соросовский образовательный журнал, № 11, 2000. // http://nature.web.ru/

2. Иткис Д.М. Наноазбука: кантилевер // http://www.nanometer.ru/2007/06/06/kantilever_2629.html#

3. Суслов А.А., Чижик С.А. Сканирующие зондовые микроскопы (обзор) // Материалы, Технологии, Инструменты. – Т.2 (1997), №3, С. 78–89

4. Нанотехнология // http://www.ru.wikipedia.org/

Распределение учебного времени

Этап лабораторной работы	Время, акад. час
1. Ознакомление с микроскопом СММ-2000, изучение методики и техники эксперимента по измерению параметров структуры поверхности изделий приборостроения	2,0
2. Выполнение работы	1,5
3. Обработка результатов измерений, их обсуждение и оформление отчета	0,5
ИТОГО:	4,0

ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ

ХАРАКТЕРИСТИК ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛОВ

ПРИБОРОСТРОЕНИЯ МЕТОДАМИ СКАНИРУЮЩЕЙ

ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ

Методические указания к выполнению учебно-исследовательской лабораторной работы

по курсам «Материаловедение», «Материалы и покрытия в имплантологии»,

«Напыленные покрытия», «Метрология, стандартизация и сертификация»

Составили: ФОМИН Александр Александрович,

ПЕРИНСКИЙ Владимир Владимирович

Рецензент Н.В. Бекренев

Корректор Л.А. Скворцова

Лицензия ИД № 06268 от 14.11.01

Подписано в печать Формат 60х84 1/16

Бум. офсет. Усл. печ. л. Уч.-изд. л.

Тираж 100 экз. Заказ Бесплатно

Саратовский государственный технический университет

410054, г. Саратов, ул. Политехническая, 77

Отпечатано в РИЦ СГТУ, 410054, г. Саратов, ул. Политехническая, 77