Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
шпоры_МТП.docx
Скачиваний:
22
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
2 Мб
Скачать
☆

17. Модель связанной диффузии, основные уравнения.

Обозначим A – атом примеси, находящийся в узле решетки, (замещающий атом), B - атом примеси, находящийся в междоузлии, V – вакансия, I – междоузлие, i, j, k, l – зарядовые состояния, причем будем считать, что i, j, k, l = 0, ± 1, ± 2,

- образование/распад пар дефект – примесь с высвобождением/связыванием электронов

1) Ai + I j ↔ (AI)i+k + (k - j)n

2) Ai + V j ↔ (AV)i+k + (k - j)n

- генерация-рекомбинация Френкелевских пар с захватом или высвобождением электронов

3) I i + V j ↔ - (i + j)n

- взаимодействие пар дефект – примесь с дефектом противоположного типа

4) (AI)i+j + V k ↔ Ai - (j + k)n

5) (AV)i+j + I k ↔ Ai - (j + k)n

- взаимодействие пар дефект – примесь противоположного типа

6) (AI)i+j + (AV)l+k ↔ Ai + Al - (j + k)n

- ионизация пар

7) (AI)i+j ↔ (AI)i+k + (k - j)n

8) (AV)i+j ↔ (AV)i+k + (k - j)n

- ионизация дефектов

9) I j ↔ I k + (k - j)n

10) V j ↔ V k + (k - j)n

- эстафетный механизм

11) Ai + I j ↔ Bk + (k – i - j )n

- реакция Франка - Торнбула

12) Ai ↔ Bk + V j + (k – i + j )n

18. Модель связанной диффузии, учет протекающих реакций.

Реакции, используемые при моделировании, можно представить в общем виде как

aA+ bB ↔ pP+ qQ; стехеометрические коэффициенты в этом уравнении a, b, p, q – положительные и, как правило, целые, A, B, P, Q – концентрации.

Кинетика протекания реакции описывается уравнением: R = kF(Aa Bb – kR Pp Qq), где kF – скорость прямой реакции, kR - скорость обратной реакции. При kF -> inf (быстрое протекание прямой реакции) получаем алгебраическое соотношение Aa Bb – kR Pp Qq = 0. В противном случае (при конечном значении kF) реакция рассматривается как неравновесная.

Каждое из 12 рассмотренных уравнений должно быть дополнено кинетическим уравнением. Например, для уравнений образования/распада пар дефект – примесь можно записать:

1) Ai + I j ↔ (AI)i+k + (k - j)n

Кинетическое уравнение для пар вакансия - примесь

2) Ai + V j ↔ (AV)i+k + (k - j)n

Одним из наиболее общих допущений является предположение, что реакции ионизации всегда являются равновесными. Отсюда следует, что для реакций ионизации пар (уравнения 7-8) и ионизации дефектов (уравнения 9-10):

R7 = R8 = R9 = R10= 0.

19. Модель связанной диффузии, уравнения непрерывности.

Уравнения непрерывности составляются с учетом протекающих реакций:

RN – кинетические составляющие для всех реакций, протекающих с участием элемента N.

Пример: уравнение непрерывности для междоузлий, находящихся в зарядовом состоянии j - I j

Междоузлия участвуют в процессах:

а) образование/распад пар дефект – примесь (уравнение 1); б) генерация-рекомбинация Френкелевских пар (уравнение 3); в) взаимодействие пар дефект – примесь с дефектом противоположного типа (уравнение 5); г) ионизация дефектов (уравнение 9); д) эстафетный механизм (уравнение 11). Учитывая, что реакция ионизации дефектов относится к равновесным реакциям, в правой части уравнения непрерывности для I j останется четыре типа генерационно - рекомбинационных составляющих: