- •1. Задание на курсовой проект и исходные данные
- •2. Требования к оформлению и содержанию. Защита курсового проекта
- •3. Методические материалы к курсовому проектированию по технологии интегральных микросхем и твердотельных приборов и устройств
- •3.1. Динамика развития микротехнологии
- •Ниже представлена «история» изменения проектных норм по разрешению оптической литографии:
- •Техпроцесс атомарного уровня
- •3.2. Методология разработки и изготовления мис.
- •3.3. Активные и пассивные элементы мис на Si.
- •3.4. Активные и пассивные элементы для мис на GaAs.
- •3.5. Требования к оформлению курсового проекта.
- •4.2. Содержание курсового проекта.
- •4.3. Методические указания по выполнению отдельных разделов курсового проекта
- •4.4. Требования к графической части
- •Список литературы
- •Оглавление
- •197376, С. –Петербург, ул.Проф.Попова, 5
3.5. Требования к оформлению курсового проекта.
В курсовом проекте должна быть приведена топологическая схема разрабатываемой МИС в соответствии с рис 2 и заданной принципиальной электрической схемой. На топологической схеме должны быть указаны все активные области (области легированные той или иной примесью).
Далее следует описание последовательности проводимых операций, включая сопутствующие, как-то: снятие стекол после диффузии примеси, постимплантационный отжиг, термообработки металлизации и т.д.
Рисунки должны появляться только в случае появлении нового фрагмента в подложке. Это, как правила после литографии и обработки какого-либо функционального слоя. Подробно расписывать основные литографические переходы не обязательно.
4. МЕТОДИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ К КУРСОВОМУ
ПРОЕКТИРОВАНИЮ ПО ТЕХНОЛОГИИ ВАКУУМНЫХ
ПРИБОРОВ И УСТРОЙСТВ
4.1. Тематика курсового проектирования
Темой курсового проекта является разработка технологии изготовления сборочного узла электронного прибора (катода, сетки, анода, подогревателя и т.д.) или разработка технологического процесса изготовления электронного прибора (сборка, откачка, тренировка, и т.п. ).
Задание на курсовое проектирование содержит следующие данные:
Конструкторскую документацию на узел или прибор;
Конкретный тип прибора;
Количество выпускаемых изделий;
Основные требования к готовой продукции.
Например: «Разработка технологии изготовления подогревателя прибора ГУ-84Б в условиях серийного производства». Объём выпуска – 7000 приборов в год.
4.2. Содержание курсового проекта.
Пояснительная записка включает в себя следующие разделы:
1. Титульный лист
2. Оглавление
3. Задание на курсовой проект
4. Перечень принятых в работе обозначений
5. Введение
Во введении описывается назначение узла или технологического процесса, основные требования к технологии изготовления, условия производства и его связь с организацией труда и выбором оборудования.
6. Основная часть:
- анализ конструкторской документации, технических требований
- обоснование выбора материалов, заготовок и полуфабрикатов
- разработка технологической схемы изготовления узла или проведения технологического процесса
- технология изготовления и обработки деталей
- разработка технологической документации
- описание технологического маршрута.
В ходе разработки технологического процесса изготовления узла прибора обосновывается выбор конкретных технологических операций, режимов, используемых приспособлений, методов контроля за стабильностью технологии. Определяется необходимость, объём и содержание контрольных операций, а также оценка возможных технологических потерь.
При разработке технологии изготовления и обработки деталей обосновывается выбор технологических операций и оборудования для этих целей, формируются требования к качеству деталей, определяется необходимый объём и содержание контрольных операций.
Технологическая схема изготовления узла или проведения технологического процесса должна содержать основные технологические операции изготовления и обработки деталей и сборки и изготовления узла. На схеме необходимо указать технологические режимы и рабочие среды. Формат и масштаб схемы произвольный.
7. Заключение
Приводится оценка полноты обеспечения технических требований и уровня технологичности разработанных процессов с обоснованием оптимальности достигнутых коэффициентов использования материалов, процента выхода готовой продукции, технологических потерь.
Графическая часть должна состоять из сборочного чертежа и чертежей наиболее важных и сложных деталей, выполненных в соответствии с требованиями ГОСТ(ов).
