II. Расчет многослойного отражающего покрытия

Расчет однослойного отражающего покрытия.

Рисунок 1.1

Условия идеального отражающего слоя

n₂h₂ = ₀ / 4,

n ₁ < n ₂ > n ₃ ,

n _п = n_в

n₂h₂ = λ₀/4 ,n₂h₂ = 560/4 = 140 нм

, где:

• n ₁ - показатель преломления окружающей среды;

• n ₂ - показатель преломления пленки;

• n ₃ - показатель преломления подложки;

• n _в – показатель преломления пленкообразующего

материала (с n высоким)

• h₂ - толщина просветляющего слоя;

• ₀ – заданная рабочая длина волны.

Из таблицы пленкообразующих материалов (приложение 1) выберем материал с наиболее близким к расчетному показателю преломления для заданной области спектра.

n ₂ = 1,94 - HfO₂ (Двуокись гафния)

Метод нанесения: иэ

Т_исп. = 277 ⁰ С

Т_подл. = 300 ⁰ С

₁- ₂= ₁>0.24

Интегральный коэффициент отражения рассчитывается по формуле Френеля:

_min = = 0,1846 = 18,46%

Рассчитаем энергетический коэффициент отражения системы воздух – пленка – подложка R_1,3

= -0,319

=0,127

= -0,2

R_1,3 = |r_1,3|² = 0,04

где =

При ₀ =   =

На основе полученных данных составим таблицы 4.1 и 4.2 и построим график R_1,3 = f () (рис. 4.1) и R_1,3 = f () ( рис. 4.2 ).

Спектральная зависимость R_1,3 = f ()

Таблица 4.1

n2h2	0	/4	/2	3 /4
	0			3/2	2
cos2	1	-1	1	-1	1
R1,3	0,04	0,184	0,04	0,184	0,04



Т₁₃

Рисунок 4.1

Спектральная зависимость R_1,3 = f ()

Таблица 4.2

	380	450	560	610	700	780
1	0,79	0,66	/2	0,49	0,42	0,38
cos2	2,48	2,09	-1	1,54	1,34	1,2
R1,3	0,065	0,12	0,175	0,183	0,181	0,17

Рисунок 4.2

двухслойное отражающее покрытие

n₂h₂ = n₃h₃= λ₀/4 = 560/4 = 140 нм

n₂= n_в

n₃= n_н

Из таблицы пленкообразующих материалов (приложение 1) выберем материал с наиболее близким к расчетному показателю преломления для заданной области спектра.

n ₃ = 1,45 - SiO₂ (Двуокись кремния)