Метод нанесения: иэ

Т_исп. = 1730 ⁰ С

Т_подл. = 300 ⁰ С

₁- ₂= 200 – 800 нм

Рассчитаем максимальный коэффициент отражения по формуле:

p_max= = 0,226 = 22,6%

Рассчитаем амплитудные и энергетический коэффициенты отражения системы воздух – плёнки – подложка:

= -0,2

где

R_1,3= |r_1,3|² = 0,04

=

При ₀ =   =

На основе полученных данных составим таблицы 4.1 и 4.2 и построим график R_1,4 = f () (рис. 4.1) и R_1,4 = f () ( рис. 4.2 ).

Спектральная зависимость R_1,4 = f ()

Таблица 4.1

n4h4	0	/4	/2	3 /4
	0			3/2	2
cos2	1	-1	1	-1	1
R1,4	0,04	0,209	0,04	0,209	0,04



Т₁₃

Рисунок 4.1

Спектральная зависимость R_1,4 = f ()

Таблица 4.2

	380	450	560	610	700	780
1	0,79	0,66	/2	0,49	0,42	0,38
cos2	2,48	2,09	-1	1,54	1,34	1,2
R1,4	0,063	0,123	0,196	0,208	0,204	0,189

Рисунок 4.2

Трехслойное отражающее покрытие

n₂h₂ = n₃h₃= n₄h₄ =λ₀/4 = 560/4 = 140 нм

n₂= n_в

n₃= n_н

n₄= n_в

Из таблицы пленкообразующих материалов (приложение 1) выберем материал с наиболее близким к расчетному показателю преломления для заданной области спектра.

n ₄ = 1,94 - HfO₂ (Двуокись гафния)

Метод нанесения: иэ

Т_исп. = 277 ⁰ С

Т_подл. = 300 ⁰ С

₁- ₂= ₁>0.24

Рассчитаем максимальный коэффициент отражения по формуле:

= 0,0625 = 6,25%

Рассчитаем амплитудные и энергетический коэффициенты отражения системы воздух – плёнки – подложка:

= -0,2

где

R_1,3= |r_1,3|² = 0,04

=

При ₀ =   =

На основе полученных данных составим таблицы 4.1 и 4.2 и построим график R_1,5 = f () (рис. 4.1) и R_1,5 = f () ( рис. 4.2 ).

Спектральная зависимость R_1,5 = f ()

Таблица 4.1

n4h4	0	/4	/2	3 /4
	0			3/2	2
cos2	1	-1	1	-1	1
R1,5	0,04	0,4	0,04	0,4	0,04



Т₁₃

Рисунок 4.1

Спектральная зависимость R_1,5 = f ()

Таблица 4.2

	380	450	560	610	700	780
1	0,79	0,66	/2	0,49	0,42	0,38
cos2	2,48	2,09	-1	1,54	1,34	1,2
R1,5	0,053	0,145	0,094	0,046	0,060	0,121

Рисунок 4.2