- •Глава 4. Контакт металл-полупроводник
- •Термоэлектронная эмиссия, термодинамическая работа выхода
- •4.2. Система металл-вакуум-полупроводник, контактная разность потенциалов
- •4.3. Запорный (барьер Шоттки) и антизапорный контакты мп
- •4.4. Предельные случаи контакта мп
- •4.5. Распределение объемного заряда, концентрации подвижных носителей,
- •4.6. Барьер Шоттки в неравновесных условиях
- •4.6.1. Прямое смещение
- •4.7. Вольтамперная характеристика барьера Шоттки
- •4.7.1. Диффузионная теория выпрямления
- •4.6.2. Обратное смещение
- •Диодная теория выпрямления
- •4.7.3. Сравнение диффузной и диодной моделей
- •4.7.4. Температурная зависимость параметров вах запорного контакта
- •4.8. Реальный контакт металл – полупроводник
- •4.9. Емкость запорного контакта металл – полупроводник
- •4.10. Эквивалентная схема барьера Шоттки на переменном сигнале
- •4.11. Омический контакт
- •Реализация омических контактов
- •4.12. Применение барьера Шоттки в электронике
- •Контрольные вопросы
4.6.2. Обратное смещение
В обратном смещении внешнее поле направлено по контактному полю. Суммарное поле будет локализовано в ОПЗ.
;
.
Рисунок
4.13 - Поле и потенциальный барьер контакта
Шоттки в обратном смещении
Барьер для потока электронов со стороны полупроводника увеличивается на величину обратного напряжения, а со стороны металла – не изменяется (рисунок 4.14). В результате доминировать будет ток термоэмиссии из металла (меняется направление тока в соответствии с приложенной полярностью смещения). При смещении порядка 1В и выше влиянием тока эмиссии из полупроводника из-за его малости можно пренебречь. В этом случае обратный ток насыщается (не зависит от напряжения) и равен равновесному току эмиссии из металла при нулевом смещении (поток из металла не зависит от внешнего смещения).
.
Дифференциальное сопротивление стремится к бесконечности.
Толщина ОПЗ увеличивается в соответствии с результирующим барьером (рисунок 4.13) (эксклюзия основных носителей заряда)
.
Энергетическая диаграмма запорного контакта в обратном смещении представлена на рисунке 4.14. Результирующая ВАХ контакта приведена на рисунке 4.15.
Рисунок 4.14 - Энергетическая диаграмма барьера Рисунок 4.15 - ВАХ барьера Шоттки
Шоттки в обратном смещении
Концентрация электронов в ОПЗ полупроводника при обратном смещении уменьшается экспоненциально с величиной приложенного смещения (рисунок 4.14)
.
При
U
=
1 В
n(U)
=
n(0)exp(–40)
0
(электронный поток со стороны
полу-проводника практически равен
нулю).
4.7. Вольтамперная характеристика барьера Шоттки
Эффект выпрямления тока на барьере Шоттки описывается двумя теориями: диффузионной и диодной.
4.7.1. Диффузионная теория выпрямления
Диффузионная теория была разработана Моттом и Шоттки. Она описывает поведение контактов, у которых длина свободного пробега электрона значительно меньше толщины ОПЗ:
l << z . (4.16)
При движении в ОПЗ контакта электроны испытывают рассеяние. Перенос носителей осуществляется диффузией и дрейфом. Условие (4.16) означает, что диффузионная модель пригодна для контактов с большим значением Ф0 , mef , низкой подвижностью µ и низкой концентрацией основных носителей заряда (n0 = ND). Эти условия соответствуют поликристаллическим полупроводникам Se, Cu2O и другим.
Основное допущение теории:
.
(4.17)
Концентрация в плоскости контакта МП не зависит от смещения. Это допущение приемлемо в случае, когда время взаимодействия электронов со стороны металла значительно меньше, чем со стороны полупроводника, и занятые состояния с энергией ФВ определяются металлом (const). В этом случае энергия более горячих (за счет внешнего поля) электронов полупроводника снижается до средней равновесной в металле (рисунок 4.16). Квазиуровень Ферми в полупроводнике (ОПЗ) снижается до уровня Ферми в металле.
П
лотность
тока в контакте:
.
(4.18)
Рисунок
4.16 - Энергетическая диаграмма барьера
Шоттки для диффузионной модели
Воспользовавшись
соотношением Эйнштейна
и
,
получим
–
(4.19)
дифференциальное уравнение I порядка типа: y′ + p(x)y + Q(x) = 0.
Оно имеет решение:
.
(4.20)
В нашем случае:
;
;
у0
=
n0;
x0
= ;
y(x)
=
n(x).
Из (4.20) следует:
.
(4.21)
Граничные условия:
при
х
=
0 :
,
;
при
х
= z
:
Ф(
) = 0,
.
(4.22)
Рассмотрим решение (4.21) в плоскости х = 0.
.
и
ли
. (4.23)
Преобразуем
,
где
.
При
приложении прямого смещения ОПЗ сужается,
а барьер понижается. Поэтому величина
,
определяемая напряженностью поля при
х
=
0 ,
практически не изменяется. Это второе
«натянутое» предположение в этой теории:
.
(4.24)
Тогда интеграл в знаменателе (4.23) примет вид:
.
Выражение для тока (4.23):
.
При
малых смещениях
,
и единицей можно пренебречь.
,
или
.
(4.25)
В прямом смещении ток возрастает экспоненциально (сверхлинейно) с приложенным смещением. В обратном –
,
(4.26)
,
обратный ток увеличивается по закону U1/2.
