- •Микроэлектроника и функциональная электроника
- •1. Описание схемы для разработки
- •2. Определение электрических параметров элементов схемы
- •3. Технологические этапы изготовления имс
- •4. Последовательность расчета параметров биполярного транзистора
- •5. Последовательность расчета параметров интегральных резисторов
- •6. Последовательность расчета мдп – конденсатора
- •7. Особенности топологии разрабатываемой имс
4. Последовательность расчета параметров биполярного транзистора
Исходные данные для расчета
Максимальное напряжение на коллекторном переходе: U кб = 1,5 В
Максимальный ток эмиттера: І э = 4,5 мА
Граничная частота f т = 500 МГц
Дальнейший расчет проводится с помощью программы расчета параметров биполярных транзисторов, результаты расчета, представленные ниже, были получены с помощью данной программы
Расчет выполняется в следующей последовательности
1. По заданному максимально допустимому напряжению U кб определяют пробивное напряжение U кб0 , которое должно быть хотя бы на 20% больше U кб и учитывает возможные колебания напряжения питания, т.е. U кб0 =1,2 U кб , в нашем случае U кб0 =1,8 В. Пробивное напряжение U пр коллекторного перехода выбираем с коэффициентом запаса 3, это учитывает возможность пробоя по поверхности и на закруглениях коллекторного перехода. В нашем случае U пр = 5,4 В
По графику зависимости U пр (N дк ) [1] , где N дк – концентрация доноров в коллекторе, находят N дк . В программе расчета значение концентрации находится численными методами. В нашем случае N дк = 5 · 10 17 см -3 . Данное значение слишком велико, т.к при таком значении возможно появление паразитного n-канала, поэтому уменьшим его до 10 16 см -3
По графику зависимости подвижности электронов от их концентрации [1] находят подвижность электронов. В нашем случае m n = 1200 см 2 /(В · с)
2. Определяют характеристическую длину распределения акцепторов L а и доноров L д :
|
( 4.1) |
где х jк – глубина коллекторного перехода. В нашем случае L a = 0,374 мкм; L д = 0,0748 мкм
3. Для расчета ширины ОПЗ (области пространственного заряда) на коллекторном и эмиттерном переходах предварительно вычисляют контактную разность потенциалов на коллекторном переходе:
|
( 4.2 ) |
где f т – тепловой потенциал, равный 0,0258 В при Т=300 К.; n i – концентрация собственных носителей заряда в кремнии (n i » 10 10 см -3 ). В нашем случае f к = 0,6771 В
Контактная разность потенциалов на эмиттерном переходе f э рассчитывается аналогично f к . В нашем случае f э = 0,1809 В
4. Рассчитывают ширину ОПЗ, распространяющуюся в сторону базы ( D х кб ) и в сторону коллектора ( D х кк ) при максимальном смещении коллекторного перехода U кб :
|
( 4.3 ) |
|
( 4.4 ) |
где , e 0 , e н – соответственно диэлектрическая постоянная и относительная диэлектрическая проницаемость полупроводниковой подложки
В нашем случае D х кб = 0,387 мкм, D х кк = 0,6656 мкм
5. Выбираем ширину технологической базы равной 1 мкм
6. Определяем концентрацию акцепторов на эмиттерном переходе:
N a (x jэ ) = N дк exp(W б0 /L a ) |
( 4.5 ) |
В нашем случае N a (x jэ ) = 1,338 · 10 17 см -3
7. В результате высокой степени легирования эмиттера область объемного заряда на эмиттерном переходе в основном будет сосредоточена в базе. Приближенно можно считать, что D х эб » D х э , где
|
( 4.6 ) |
В нашем случае D х э = 0,08858 мкм
8. Расчитываем ширину активной базы:
W ба = W б0 - D х э - D х кб |
( 4.7 ) |
В нашем случае W ба = 0,4944 мкм
Дальнейший расчет транзистора включает вычисление площади эмиттерного перехода,
9. Расчет минимальной площади эмиттерного перехода осуществляется на основе критической плотности тока через эмиттерный переход
|
( 4.8 ) |
где =const для Si (10 7 cм/с)
В нашем случае j кр = 2811 А/см 2
|
( 4.9 ) |
В нашем случае S е = 160,1 мкм 2
10. Определим емкость коллекторного перехода на основе граничной частоты транзистора
Из заданной частоты f t , найдем емкость коллекторного перехода С к
|
( 4.10 ) |
В нашем случае С к = 0,5 пФ
11. Найдем площадь коллекторного перехода как сумму площадей его донной и боковой частей. Причем донная часть площади составляет приблизительно 80% от общей его площади
Рассчитаем площадь донной части коллекторного перехода:
|
( 4.11 ) |
где V k =V kp
В нашем случае S б дон = 2734 мкм 2
Исходя из полученного значения площади найдем площадь боковой части
коллекторного перехода:
|
( 4.12 ) |
в нашем случае S б.бок = 719 мкм 2
