Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Технология пп материалов.doc
Скачиваний:
143
Добавлен:
25.11.2018
Размер:
1 Мб
Скачать
☆

Равновесные коэффициенты распределения k0 примесей в некоторых полупроводниках

Примесь

Si

Ge

GaAs

GaP

InP

Кремний

–

5,5

0,14

0,6

5,5.10–1

Германий

0,33

–

1,5.10–2

2.10–2

0,3

Углерод

1,0

–

0,8

3.10–2

1,4.10–1

Олово

1,6.10–2

1,9.10–2

5.10–3

3.10–2

–

Свинец

–

1,7.10–4

1.10–5

–

–

Бор

0,8

17

–

–

–

Алюминий

3.10–3

7,3.10–2

3,0

–

–

Галлий

8.10–3

8,7.10–2

–

–

–

Индий

4.10–4

1.10–3

7.10–3

–

–

Фосфор

0,35

8.10–2

3,0

–

–

Мышьяк

0,3

2.10–2

–

–

–

Сурьма

2,3.10–3

3.10–3

1,6.10–2

–

–

Висмут

7.10–4

4.10–5

5.10–3

–

–

Литий

1.10–2

2.10–3

–

–

–

Медь

4.10–4

1,5.10–5

2.10–3

2.10–3

–

Серебро

10–4–10–5

1,5.10–5

1.10–3

–

–

Золото

2,5.10–3

1,3.10–5

–

–

–

Бериллий

–

–

3,0

1,25

–

Цинк

1.10–5

4.10–4

0,42

0,25

–

Кислород

0,5

0,1

–

–

–

Сера

1.10–5

–

0,5

2,5.10–1

0,47

Селен

1.10–8

–

0,4

1,5.10–1

–

Теллур

8.10–6

–

4,6.10–2

6.10–2

0,4

Хром

1.10–8

–

7,0.10–4

1.10–3

3.10–4

Марганец

1.10–5

1.10–6

2.10–2

2.10–2

2.10–2

Железо

6.10–5

3.10–5

2.10–3

2.10–2

2.10–3

Таблица 4