- •Эффект Шоттки
- •Термоэлектронная эмиссия
- •1.2. Контактная разность потенциалов
- •Контакт полупроводника с металлом. Запорный слой
- •1.4. Распределение потенциала в запорном слое и ширина запорного слоя
- •1.5 Емкость запорного слоя Шоттки
- •1.6 Диодная теория выпрямления запорного слоя Шоттки
- •1.7. Диффузионная теория выпрямления запорного слоя Шоттки
- •1.9 Эффект Шоттки в запорном слое
- •1.8 Эффект Шоттки на границе раздела металл-вакуум
- •1. Эффект Шоттки
- •1.1 Термоэлектронная эмиссия
1.7. Диффузионная теория выпрямления запорного слоя Шоттки
В
диффузионной теории выпрямления
запорного слоя Шоттки предполагается,
что
Это
неравенство выполняется при малой
подвижности и низкой концентрации
электронов и означает, что носитель
заряда, проходя ОПЗ, испытывает
многократные столкновения с тепловыми
колебаниями атомов полупроводника.
Поскольку в ОПЗ существует и градиент
концентрации электронов и электрическое
поле, то при записи выражения для
плотности тока в этом случае необходимо
учитывать как диффузионную, так и
дрейфовую составляющие тока, т.е.
(35)
где
Dn
- коэффициент диффузии электронов. При
записи плотности тока в таком виде
предполагается, что напряженность
электрического поля в запорном слое
мала, вследствие чего дрейфовая скорость
движения электронов
Для нахождения вольтамперной характеристики уравнение (35) решается при следующих граничных условиях:
(36)
(37)
где
средняя
тепловая скорость электронов. Второе
соотношение в граничных условиях (36)
требует специального обоснования.
Запишем плотность тока через разность
плотностей потоков электронов
Из выражения (27) с учетом того, что средняя
тепловая скорость электронов
, а
будем иметь
(38)
Аналогичное
выражение можно записать и для jнм
, заменив концентрацию электронов на
поверхности полупроводника в равновесных
условиях
на
концентрацию
при наличии тока через контакт. Тогда
(39)
Отсюда получается выражение для n0 в граничных условиях (36).
Домножая
обе части равенства (35) на ехр[Ф(х)/(кТ)]
и принимая во внимание, что
,
получим
(40)
Теперь проинтегрируем соотношение (40) в пределах от 0 до d, учитывая будем иметь
(41)
Отсюда
(42)
Для слоя Шоттки Ф(х) задается формулой (19) и точное значение интеграла в знаменателе выражения (42) может быть получено только численным способом. Чтобы получить аналитическое выражение для вольтамперной характеристики, проведем приближенное вычисление этого интеграла. Поскольку Ф(х) быстро убывает с увеличением х.
соотношение (19), то значение рассматриваемого интеграла в основном определяется областью вблизи плоскости х = 0. С учетом этого разложим Ф(х) в ряд по х, ограничиваясь линейным приближением
(43)
В соответствии с соотношением (20)
(44)
После
подстановки выражений для
в соотношение (43) получим
(45)
Тогда
(46)
Из соотношений (24) и (44) следует, что
(47)
Если
учесть, что запорный слой существует
пока изгиб зон достаточно велик и
,то
(48)
(49)
Подстановка равенства (49) в (42) после несложных преобразований приводит к выражению
(50)
Если
максимальная напряженность электрического
поля в запорном слое настолько мала,
что
,
то в знаменателе выражения (50) вторым
членом можно пренебречь. Например, для
кремния при Г =300 К это неравенство
выполняется, когда
Поскольку
,
то выражение для вольтамперной
характеристики запорного слоя при
выполнении записанного выше неравенства
можно представить в следующем виде:
(51)
Из соотношений (44) и (24) видно, что
(52)
Следовательно, плотность прямого тока по диффузионной теории при U > 2,3 кТ/е
(53)
должна увеличиваться с ростом напряжения слабее, чем по диодной теории. Плотность обратного тока при |U| > 2,3 кТ/е
(54)
слабо растет при увеличении U.
Теперь сравним по величине плотность обратного тока по диодной теории, которую с учетом соотношения (38) можно записать в виде
(55)
с плотностью обратного тока по диффузионной теории
(56)
Поскольку
Ясно,
что и прямой ток при фиксированных
значениях напряжения по диффузионной
теории меньше, чем по диодной. При
соотношение
(50) описывает плотность тока по диодной
теории.
Из рассмотренного материала видно, что контакт металл - полупроводник с запорным слоем Шоттки обладает резко асимметричной вольтамперной характеристикой и, следовательно, может быть использован для выпрямления переменного тока. Полупроводниковые диоды, в основе действия которых лежат функциональные возможности запорного слоя Шоттки, получили название диодов с барьером Шоттки.
