4. Порядок вимкнення вуп-5
1. Відкрити повністю заслінку 6 (мал. 12.).
2. Натиснути кнопку "ПВ" та відкачати РО до тиску ~10-2 мм рт.ст. (вимірювати манометром “Д1”).
3. Натиснути кнопку "ВВ" та відкачати РО до тиску ~10-5 мм рт.ст. (вимірювати манометром “Д3”).
4. Вимкнути манометри “Д1”, “Д2”, “Д3”, “Д4”.
5. Відтиснути кнопку "НД".
6. Через 1-1.5 год відтиснути кнопку "БФ".
7. Відтиснути кнопку "НФ".
8. Відключити водяне охолодження дифузійного насосу.
Відтиснути кнопку "Сеть".
Додаток Конструктивні особливості приставки мрп з двома зонами ерозії для промислових установок типу вуп-5
Стандартні вакуумні установки ВУП-4 та ВУП-5 призначені, в основному, для електронно-мікроскопічного препарування, включаючи іонне травлення в тліючому розряді. Якщо їх доповнити приставками для магнетронного розпорошування, то функціональні можливості операцій, які проводяться, можна суттєво розширити та використати для іонно-плазмової технології. Найбільш простий та логічний шлях розв`язку поставленої задачі - це виготовлення перехідного кільця, на якому монтується МРП та охолоджуваний анод. Установки ВУП-4 та ВУП-5 мають автономні системи напуску газу, а також високовольтні джерела живлення, тому їх можна використати практично без переробок.
Встановлення перехідного кільця без сумніву збільшує об'єм простору під ковпаком на декілька кубічних дециметрів. Однак при наявності в установках дифузійних насосів з швидкістю відкачки ~500 л/c, збільшення відкачуваного об'єму практично не вплине на граничний вакуум робочого об’єму. Більш того, це збільшення позитивно впливає на промивання інертним газом і збільшує "добротність" вакуумної системи в режимі іонно-плазмового напорошування.
Таке розміщення вузлів МРП в перехідному кільці схематично показано на мал. 15.
Мал. 15. Схематичне зображення приставки МРП для установки ВУП-5
Перехідне кільце 1 висотою ~10-12 см з стандартним ущільненням під металевий або скляний ковпак виготовляється з неіржавіючої сталі. До нього приварюються штуцери для катодного 2 та анодного 3 вузлів.
Монтаж МРП на перехідному кільці, як показано на мал. 15., дещо ускладнює проблему охолодження магнітної системи катодного вузла 4.
Один з шляхів її вирішення представлено на мал. 16. і не потребує особливих пояснень.
Мал. 16. Схема охолодження магнітів МРП з двома зонами ерозії
Електрична ізоляція та герметичне ущільнення катодного та анодного вузлів виконано за допомогою профільної фторопластової втулки 1, гумових кілець 2 та гайки 3, як це показано на мал. 17.
Згідно описаної вище схеми виготовлена та випробувана приставка МРП з катодним вузлом діаметром 60 мм. Оригінальність катодного вузла полягає в тому, що він знаходиться в кожусі з неіржавіючої сталі і його можна розбирати. Мінімальна витрата охолоджувальної рідини ~2л/хв забезпечує довготривалу роботу приставки з розрядними струмами до 1 А при тисках робочого газу ~5.10-3 мм рт.ст.
Мал. 17. Схема електричного та вакуумного ущільнень
“ЗАТВЕРДЖУЮ”
Завідувач кафедрою
фізичної електроніки
проф. Чутов Ю.І.
“_____”_______________________1999 р.