- •Мета роботи
- •Одержання тонких плівок методом катодного розпорошування
- •1. Особливості тліючого розряду
- •2. Катодне розпорошування
- •2.1. Розповсюдження розпорошуваних частинок
- •Одержання тонких плівок методом термічного випаровування
- •1. Загальні зауваження. Закони Ламберта
- •4. Пристрої для термічного випаровування
- •2. Методи очищення поверхні підкладки
- •3. Умови конденсації розпорошуваних частинок
- •Одержання тонких плівок методом магнетронного розпорошування
- •1. Теоретичні обгрунтування методу магнетронного розпорошування
- •1.1. Загальна характеристика методу іонно-плазмового розпорошування
- •1.2. Електроніка плоского магнетрона
- •1.3. Механізм магнетронного розпорошування
- •2. Конструктивні особливості магнетронного розпорошувального приладу (мрп)
- •2.1. Обгрунтування необхідності створення катодного вузла для мрп з двома зонами ерозії
- •2.2. Розробка та дослідження мрп з двома зонами ерозії
- •Завдання до роботи
- •Список рекомендованої літератури
- •Порядок проведення лабораторної роботи
- •1. Будова вакуумного універсального поста вуп-5
- •2. Підготовка установки вуп-5 до роботи
- •3. Проведення експерименту
- •4. Порядок вимкнення вуп-5
- •Додаток Конструктивні особливості приставки мрп з двома зонами ерозії для промислових установок типу вуп-5
- •Вказівки з техніки безпеки при проведенні лабораторної роботи “Одержання тонких плівок методом магнетронного розпорошування”
1.2. Електроніка плоского магнетрона
Основний інтерес в електроніці плоского магнетрона - це дослідження руху електронів при одночасній дії взаємно перпендикулярних електричного та магнітного полів, коли напрямок початкової швидкості електрона співпадає з вектором напруженості електричного поля.
Схематичне розміщення електродів та напрямок полів в задачі плоского магнетрона представлено на мал.3.
Початок координат вибрано так, що вектор напруженості електричного поля E паралельний осі Y та спрямований вниз, а однорідне магнітне поле з напруженістю H перпендикулярне площині малюнка (вздовж осі Z).
Якщо
з початку координат виходить електрон
з початковою швидкістю U=U0
, то під дією електричної сили
(Fe=-eE)
він буде отримувати прискорення в
напрямку осі Y та рухатись до анода.
Наявність магнітного поля призведе до
появи магнітної сили
,
перпендикулярної до швидкості електрона
U0. Тоді рух електрона в
загальному випадку можна описати
рівнянням механіки, яке визначає сумарну
силу , що діє на електрон:
.
(5)
За початковими умовами: t=0, x=y=z=0, U=U0=0 розв'язок рівняння (5) можна подати в параметричній формі у вигляді:
,
де w= eH/m - циклотронна кутова частота обертання електрона, m - маса електрона.
Мал.3. Схематичне розміщення електродів та напрямок полів в плоскому магнетроні
Рівняння (6) і (7) показують, що траєкторія руху електрона являє собою циклоїду, тобто криву, яку описує будь-яка точка, що лежить на колі радіуса r, і котиться без ковзання в напрямку осі X (мал.3.). В цих умовах центр кола буде рухатись з рівномірною швидкістю Uп , яку називають переносною. Радіус кола можна визначити з умови:
,
(8)
a
це можливо, коли
.
Таким чином:
.
(9)
Переносну швидкість Uп руху центра кола можна визначити, звернувшись до мал.3.
Нехай х, шлях який проходить центр кола при повороті його на кут j, дорівнює rj. Таким чином:
.
(10)
Підставивши в рівняння (10) вираз w та r, отримаємо:
.
(11)
Скориставшись виразами (8) та (10), рівняння траєкторії електрона в плоскому магнетроні можна спростити до вигляду:
.
З отриманих рівнянь видно, що рух електрона в плоскому магнетроні можна розкласти на переносний Un в напрямку осі X зі швидкістю Un та на обертовий з циклотронною частотою w по колу радіуса r. Дійсно, для спостерігача, що рухається вздовж осі X зі швидкістю Un рівняння (12) та (13) приймуть вигляд:
.
Звідки маємо:
.
А
це є рівняння кола радіуса r,
зміщеного в напрямку осі Y на величину
.
Як
видно з отриманої формули (13), електрон,
який почав свій рух з катода з нульовою
початковою швидкістю, рухаючись по
циклоїді, через час
досягне найбільшого віддалення від
катода
(точка N на мал. 3.). Горизонтальне
зміщення електрона в напрямку осі X
до цього моменту часу буде визначатись
його переносною швидкістю і згідно
формулам (9) та (13) дорівнює
.
Потім електрон почне знижуватись,
переміщуючись при цьому вздовж осі X,
і в момент
потрапить на катод, віддалившись від
точки вильоту на відстань
,
і знову почне повторювати вищеописаний
цикл.
Таким чином, електрон в процесі циклоїдного руху то наближається до анода, то віддаляється від нього, але в середньому переміщується вздовж осі X зі швидкістю, що дорівнює його переносній швидкості.
З
розглянутого вище ясно, що при циклоїдному
русі електрони можуть досягти анода
тільки тоді, коли відстань між катодом
та анодом менша
(крива 1, мал. 4.).
Мал. 4. Траєкторії електронів в плоскому магнетроні
В цих умовах всі електрони, які вилетіли з катода, попадуть на анод і в колі потече струм, що дорівнює емісії катода (крива 1, мал. 5.).
Мал.5. Залежність анодного струму магнетрона від напруженості магнітного поля
поблизу критичного значення магнітного поля Hkp
Зі
збільшенням магнітного поля електронні
траєкторії все більше викривляються
та при деякому його значенні
задовольняють рівність
.
Тепер вже електрони дотикаються анода
і можуть не попасти на нього. Тому режим,
що відповідає умові:
(14)
є
критичним, а значення магнітного та
електричного полів, які задовольняють
(14), називаються критичними
.
Для плоского магнетрона критичне
значення магнітного поля, що визначається
з умови (14), дорівнює:
(15)
де
-
критичне значення анодної напруги. При
магнітних полях
всі електрони, що вилітають з катода,
не досягнувши анода, повертаються на
катод (крива 3, мал.4.) і анодний струм
магнетрона дорівнює нулю (крива 1, мал.
5.).
Проведений вище розгляд руху електронів в плоскому магнетроні справедливий тільки для випадку відсутності об'ємного заряду. Якщо ж об'ємний заряд в просторі катод-анод невеликий, то він частково впливає на кінетику руху електронів і їх траєкторії відрізняються від циклоїд. Однак можна показати, що критична величина магнітного поля і в присутності об'ємного заряду буде визначатись рівністю (15). В цьому випадку змінюється тільки залежність анодного струму магнетронної характеристики поблизу критичного значення магнітного поля Нkp (крива 2, мал. 5.).
Слід також відмітити, що реальна залежність анодного струму від величини магнітного поля (крива 3, мал. 5.) відрізняється від теоретичної ще й за рахунок того, що електрони, які залишають катод, завжди мають початковий розкид за швидкостями.
