- •Мета роботи
- •Одержання тонких плівок методом катодного розпорошування
- •1. Особливості тліючого розряду
- •2. Катодне розпорошування
- •2.1. Розповсюдження розпорошуваних частинок
- •Одержання тонких плівок методом термічного випаровування
- •1. Загальні зауваження. Закони Ламберта
- •4. Пристрої для термічного випаровування
- •2. Методи очищення поверхні підкладки
- •3. Умови конденсації розпорошуваних частинок
- •Одержання тонких плівок методом магнетронного розпорошування
- •1. Теоретичні обгрунтування методу магнетронного розпорошування
- •1.1. Загальна характеристика методу іонно-плазмового розпорошування
- •1.2. Електроніка плоского магнетрона
- •1.3. Механізм магнетронного розпорошування
- •2. Конструктивні особливості магнетронного розпорошувального приладу (мрп)
- •2.1. Обгрунтування необхідності створення катодного вузла для мрп з двома зонами ерозії
- •2.2. Розробка та дослідження мрп з двома зонами ерозії
- •Завдання до роботи
- •Список рекомендованої літератури
- •Порядок проведення лабораторної роботи
- •1. Будова вакуумного універсального поста вуп-5
- •2. Підготовка установки вуп-5 до роботи
- •3. Проведення експерименту
- •4. Порядок вимкнення вуп-5
- •Додаток Конструктивні особливості приставки мрп з двома зонами ерозії для промислових установок типу вуп-5
- •Вказівки з техніки безпеки при проведенні лабораторної роботи “Одержання тонких плівок методом магнетронного розпорошування”
Вказівки з техніки безпеки при проведенні лабораторної роботи “Одержання тонких плівок методом магнетронного розпорошування”
Напруга, яка застосовується в приладі, небезпечна для життя. Тому необхідно дотримуватись правил техніки безпеки при роботі з електричними приладами з напругою вище 1000 В.
Забороняється вмикати в мережу і працювати з приладом без заземлення.
До роботи з приладом допускаються особи, які вивчили дану інструкцію та пройшли інструктаж по техніці безпеки при роботі з високовольтними електроприладами.
Чистка або ремонт приладу допускаються лише при повному його відключенні від мережі живлення з дотриманням правил високовольтної техніки безпеки. Студентам забороняється проводити будь-які ремонтні роботи з приладом під час проведення лабораторної роботи.
Необхідно постійно слідкувати, щоб форвакуумний насос був під’єднаний до вентиляційної труби.
Необхідно постійно перевіряти роботу вакуумного та електричного блокування. Забороняється працювати з приладом з непрацюючим та короткозамкненим блокуванням.
При роботі з рідким азотом слід дотримуватись особливої обережності. Попадання рідкого азоту у вічі та на відкриті ділянки шкіри може привести до тяжких опіків. Заливання рідкого азоту в азотну пастку дифузійного насосу проводити з ємністю не більше 1л малими дозами і через спеціальну лійку.
Відповідальний за техніку безпеки
при проведенні лабораторної роботи
пров. інж. Телега В.М.
“____”_________________________1999 р.
