Список литературы

1. Дьюли, У. Лазерная технология и анализ материалов / У. Дьюли – перевод с английского Е.А. Верного, В.Н. Сошникова. – Москва: Мир, 1986. – 502с.

2. Данилин, Б.С. Применение низко-температурной плазмы / Б.С.Данилин. – Москва: Энергоатомиздат, 1989. – 310с.

3. Делоне, Н.Б. Взаимодействие лазерного излучения с веществом / Н.Б. Делоне. – Москва: Наука, 1989. – 250с.

4. Полещенко, К.Н. Физические методы анализа материалов: учеб. пособие / К.Н. Полещенко [и др.]; под общ. ред. К.Н. Полещенко. – Омск: Изд-во СибАДИ, 2003. – 340с.

5. Бурмаков, А.П. Спектроскопическая система контроля расхода газов и содержания примесей в процессе магнетронного осаждения пленок / А.П. Бурмаков, В.Н. Кулешов // Журнал прикладной спектроскопии. 2007. – 32 с.

6. Достанко, А.П. Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые / А.П. Достанко. – Минск: БГУ, 2009. – 105с.

7. Терри, Л. Альфорд. Леонард К. Фельдман. Джеймс В. Майер Фундаментальные основы анализа нанопленок Л. Терри [и др.]; под общ. ред. Л. Терри – перевод с английского А.Н. Образцов, М.А. Долганов. –Москва: Научный мир, 2012. – 391 с.

8. Пячин, С.А. Новые технологии получения функциональных наноматериалов: лазерная абляция, электроискровое воздействие / С.А. Пячин, М.А. Пугачевский. – Хабаровск, 2013. – 38 с.

9. Кинетические свойства тонких пленок ТiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления / М.Н. Солован [и др.]; под общ. ред. М.Н. Солован. – Украина, 2013. – 4 с.

10. Берлин, Е.В. Получения тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Е.В. Берлин, Л.А. Сейдман. – Москва: Техносфера, 2014. – 5 с.

11. Воздействие наноимпульсного лазерного излучения на тонкие пленки TiAlN/Si / Г.Д. Ивлев [и др.]; под общ. ред. Г.Д. Ивлев. – БГУ: Минск, 2015. – 3 с.

47