- •«Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “лэти” им. В.И. Ульянова (Ленина)» (сПбГэту)
- •«Сапр микро- и наносистем»
- •Профиль – «Нанотехнологии для систем безопасности»
- •«Сапр микро- и наносистем»
- •Профиль – «Нанотехнологии для систем безопасности»
- •Аннотация дисциплины
- •Цели и задачи дисциплины
- •Требования к уровню освоения дисциплины
- •Тема1. Сапр как метод проектирования.
- •Тема2. Виды обеспечения сапр.
- •Тема 3. Математическое моделирование при автоматизированном проектировании.
- •Тема 4. Общая постановка и виды задач принятия решений.
- •Тема 5. Методики автоматизированного проектирования.
- •Тема 6. Программные пакеты сапр
- •Перечень лабораторных работ
- •Содержание рабочей программы
- •Основная литература
- •Дополнительная литература
- •Введение в сапр.
- •Состав, структура и виды обеспечения сапр.
- •Классификация проектных процедур
- •Стратегии проектирования технологических процессов
- •Лекция №2
- •Математический аппарат в моделях разных иерархических уровней
- •Математические модели на макроуровне
- •Математические модели на микроуровне
- •Основные шаги мкэ
- •Решение
- •Выбор вариационного принципа.
- •Выбор аппроксимирующих функций.
- •Сапр, основанные на мкэ.
- •Сапр для сквозного проектирования мэмс
- •Базовый программный пакет проектирования микро- и наносистем CoventorWare
- •Введение в сапр CoventorWare
- •Основные компоненты сапр CoventorWare Function Manager (Менеджер функций)
- •Material Properties Database (База данных свойств материалов)
- •Process Editor (Редактор процессов)
- •Architect (Архитектор)
- •Designer (Проектировщик)
- •Meshing (Разбиение сетки)
- •Analyzer 3-d Field Solvers (Решатель 3-d)
- •Сапр микро- инаносистем
- •Введение в сапр.
- •Классификация проектных процедур
- •Математический аппарат в моделях разных иерархических уровней
- •Математические модели на макроуровне
- •Математические модели на микроуровне
- •Основные шаги мкэ
- •Решение
- •Выбор вариационного принципа.
- •Выбор аппроксимирующих функций.
- •Сапр, основанные на мкэ.
- •Сапр для сквозного проектирования мэмс
- •Базовый программный пакет проектирования микро- инаносистем CoventorWare
- •Введение в сапр CoventorWare
- •Основные компоненты сапр CoventorWare Function Manager (Менеджер функций)
- •Material Properties Database (База данных свойств материалов)
- •Process Editor (Редактор процессов)
- •Architect (Архитектор)
- •Designer (Проектировщик)
- •Meshing (Разбиение сетки)
- •Analyzer 3-d Field Solvers (Решатель 3-d)
- •3. Проектирование акселерометра
- •Проектирование эквивалентной схемы акселерометра.
- •Инструкция по созданию схемы акселерометра
- •1. Подготовка к работе.
- •Установка mpd и Process.
- •Создание схемы
- •Символ coventor
- •Соединение компонентов.
- •Установка свойств элементов схемы.
- •Установка узлов.
- •Добавление управляющей электроники.
- •Проверка фотошаблонов.
- •Анализ технических характеристик микроэлектромеханического акселерометра с помощью эквивалентных схем
- •Анализ стационарной характеристики (рабочей точки по постоянному напря- жению) (dc Operating Point Analysis)
- •Анализ в режиме малых сигналов (Small Signal ac Analysis)
- •Частотный анализ с электрическим возбуждением.
- •Параметрический анализ в первой резонансной моде. (Vary loop on the first reso- nant mode).
- •Передаточный анализ по постоянному току. (dc Transfer (Sweep) Analysis)
- •Переходный анализ. Transient Analysis
- •Добавление схемы чтения выходного сигнала датчика
- •Анализ технических характеристик микроэлектромеханического акселерометра с помощью метода конечных элементов.
- •Создание конечноэлементной сетки
- •Моделирование с помощью мкэ.
- •Литература
- •(СПбГэту)
- •Инструкция по созданию схемы акселерометра
- •1. Подготовка к работе.
- •Установка mpd и Process.
- •Создание схемы
- •Символ coventor
- •Соединение компонентов.
- •Установка свойств элементов схемы.
- •Установка узлов.
- •Добавление управляющей электроники.
- •Проверка фотошаблонов.
- •Анализ технических характеристик микроэлектромеханического акселерометра с помощью эквивалентных схем
- •Анализ стационарной характеристики (рабочей точки по постоянному напряжению) (dc Operating Point Analysis)
- •Анализ в режиме малых сигналов (Small Signal ac Analysis)
- •Частотный анализ с электрическим возбуждением.
- •Параметрический анализ в первой резонансной моде. (Vary loop on the first resonant mode).
- •Передаточный анализ по постоянному току. (dc Transfer (Sweep) Analysis)
- •Переходный анализ. Transient Analysis
- •Добавление схемы чтения выходного сигнала датчика
- •Анализ технических характеристик микроэлектромеханического акселерометра с помощью метода конечных элементов.
- •Создание конечноэлементной сетки
- •Моделирование с помощью мкэ.
- •«Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “лэти” им. В.И. Ульянова (Ленина)»
- •«Сапр микро- и наносистем»
- •Профиль – «Нанотехнологии для систем безопасности»
- •Оценка самостоятельной работы студентов
- •Темы рефератов
- •Темы курсовых проектов
Основные шаги мкэ
Основные шаги МКЭ показаны на рис. 1.2. Схематично их можно назвать следующим образом:
Идеализация
Дискретизация
Решение.
Рис.1.2. Основные шаги МКЭ
Идеализация. Под идеализацией понимают процесс перехода от исходной физиче- ской системы к математической модели. Этот процесс является наиболее важным шагом при решении технической или инженерной задачи.
Ключевым пунктом в этом процессе является понятие модели, которую можно опре- делить как символическое устройство, построенное для моделирования и предсказания поведения системы. Математическое моделирование, или идеализация, есть процесс, с помощью которого инженер переходит от реальной физической системы к математиче- ской модели системы. Данный процесс называется идеализацией, поскольку математиче- ская модель необходимо абстрагируется от физической реальности.
В качестве примера реальной физической системы рассмотрим инженерную конст- рукцию в виде плоской пластины, нагруженную поперечными силами. Математические модели данной системы, которые инженер может использовать для анализа напряжений в пластине, могут быть следующими [7, 17]:
Модель очень тонкой пластины, основанная на теории изгиба мембран.
Модель тонкой пластины, основанная на классической теории Кирхгоффа.
Модель достаточно толстой пластины, основанная, например, на теории Миндлина-Рейсснера.
Модель очень толстой пластины, основанная на трехмерной теории упруго-
сти.
Очевидно, инженер должен обладать достаточными теоретическими знаниями, чтобы правильно выбрать соответствующую математическую модель системы (конструкции), которую ему необходимо исследовать.
Дискретизация области, т.е. замена континуальной среды совокупностью КЭ задан- ной формы, соединенных между собой в узлах конечным числом связей.
Этот этап, несмотря на видимую простоту, имеет важное значение, хотя он и не обу- словлен строгими теоретическими рекомендациями и во многом определяется интуитив- но. Обычно при построении конечно-элементной модели руководствуются предваритель- ными представлениями о характере ожидаемого результата, и в местах высоких градиен- тов искомых величин сетку конечных элементов сгущают.
Решение
Выбор вариационного принципа.
Выбор вариационного принципа определяет основные неизвестные функции, через которые впоследствии устанавливаются остальные неизвестные. В задачах механики де- формируемого твердого тела используются следующие вариационные принципы [3]: принцип Лагранжа, в соответствии с которым варьируются перемещения; принцип Кас- тильяно (варьируются напряжения), принцип Рейсснера (варьируются перемещения и на- пряжения), принцип Ху-Вашицы (варьируются перемещения, напряжения и деформации). В практических расчетах чаще всего используется принцип Лагранжа.
Выбор аппроксимирующих функций.
При кусочно-непрерывной аппроксимации предполагается, что перемещения внутри элемента могут быть выражены через перемещения в его узлах. Эта связь описывается при помощи так называемых функций формы, которые аппроксимируют действительное
поле перемещений внутри элемента. От выбора аппроксимирующих функций в значи- тельной степени зависит точность решения. Эти функции должны удовлетворять следую- щим критериям:
критерию полноты: при стремлении размеров элемента к нулю выбранные функции формы должны обеспечить любые простые значения.
критерию совместимости: функции формы должны обеспечивать непрерывность пе- ремещений и ее производных до (n-1)-го порядка на границе между элементами (где n- порядок старшей производной в функционале энергии).
При выполнении этих критериев с увеличением числа конечных элементов, модели- рующих конструкцию, результаты расчета монотонно сходятся к точному решению. На- рушение критерия совместимости в ряде случаев приводит к достоверному результату, но сходимость в этих случаях не будет монотонной.
Реализация вариационного принципа.
На этом этапе осуществляется вычисление матриц жесткостей элементов и построение глобальной матрицы системы алгебраических уравнений и вектора узловых сил. Глобаль- ная матрица жесткости может быть получена несколькими методами:
методом непосредственного сложения жесткостей;
методом конгруэнтного преобразования;
при помощи конечно-разностных операторов.
Учет граничных условий.
Полученная на основе указанных методов матрица жесткости является вырожденной, поскольку в соответствии с уравнениями равновесия заданной системы часть уравнений (для пространственных систем – шесть, а для плоских - три) окажутся взаимно зависимы- ми. Корректировка этой матрицы при учете граничных условий приводит к невырожден- ной системе линейных алгебраических уравнений.
Решение системы алгебраических уравнений.
Для решения системы алгебраических уравнений используются стандартные про- граммы, имеющиеся в математическом обеспечении ЭВМ, и специально подготовленные и лучшим образом учитывающие симметрию и структуру матрицы жесткости системы – редкозаполненность или ленточность.
Определение распределения полей искомых величин.
После определения узловых перемещений в соответствии с известными соотноше- ниями теории упругости могут быть определены деформации и напряжения.
САПР МЭМС устройств
Термин МЭМС является аббревиатурой для МикроЭлектроМеханических Систем. В этом контексте:
•―Микро‖ означает, что устройства являются экстремально маленькими с размерами порядка микрометров и меньше.
•―Электро‖ – включены некоторые электрические компоненты.
•―Механические‖ система выполняет какие-либо механические движения.
•―Системы‖ отражает тот факт, что все эти особенности объединены в одном корпус. МЭМС технология использует существующую микроэлектронную базу и инфра-
структуру для создания комплексных машин в микроскопическом масштабе. Обширные области применения таких устройств существуют в коммерческих и индустриальных сис- темах. Хорошо известные компоненты, такие как интегральные кремниевые датчики дав- ления, акселерометры, датчики движения нашли широкое применение в течение послед- них лет в автомобилестроении и промышленности.
МЭМС состоят из микроскопических электромеханических компонентов, однако не все инженеры проектировщики принимают во внимание, что почти все МЭМС устройства включают в себя несколько областей физики (мультифизичность multiphysics). Как мини- мум в устройстве есть электрические и механические части, описываемые соответствую- щей физической теорией. Также часто электрические и механические элементы являются сопряженными посредством теплофизических, электрохимических или других эффектов, что добавляет третий или четвертый физический эффект в систему.
Мультифизичная природа МЭМС устройств требует от разработчика широкого пони- мания и знаний в различных областях физики. Вследствие того, что некоторые эффекты на микроуровне являются новыми или проявляются отлично от эффектов на макроуровне инженеры должны обладать новой философией системного проектирования. При проек- тировании МЭМС устройств становится трудно разбивать проект на несколько частей, что являлось обычным при проектировании макроустройств, когда один инженер мог изучать механику, в то время как остальные концентрировались, например на электрических и те- пловых аспектах. Таким образом, инженер МЭМС является системным проектировщиком, оперирующим несколькими физическими областями одновременно и САПР должен по- зволять ему это делать.
Пионеры МЭМС проектирования в исследовательских и промышленных организаци- ях решили некоторые проблемы в области моделирования и проектирования. Они ис- пользовали существующее программное обеспечение для анализа поведения МЭМС уст- ройств с помощью численных методов (САПР основанный на МКЭ). В то же время оче- видна необходимость разработки и использования новых САПР, реализующих системный подход к проектированию МЭМС.
