Параметрический анализ в первой резонансной моде. (Vary loop on the first reso- nant mode).
На этом шаге вы будете варьировать размеры балок и исследовать влияние измене- ния размеров на резонансную частоту.
Процедура |
Детальное описание процедуры |
1. Установите два цикла варьирования в частотном анализе с изменением длины ба- лок от 208 мкм до 400 мкм и ширины от 5 мкм до 15 мкм с шагом 2 мкм. |
А.
Щелкните
на
иконке
Vary
Б. Щелкните на vary в командном окне цикла. В. В диалоге Parameter Sweep (Loop #1) в поле Parameter Name введите /bl. Г. Установите параметры изменения длины балки от 208 мкм до 358 мкм с шагом 50 мкм. Д. Щелкните Accept. Е. Щелкните на Addloop и выберите vary. Ж. Установите изменение параметра /bw от 3.5 мкм до 9.5 мкм с шагом 2 мкм. З. Выберите Add Analysis > Within Loop(s) > Small Signal AC. И. Щелкните на acanalysis установите па- раметры как показано на рис.3.22. К. На вкладке Input Output оставьте только /x. Л. Щелкните Accept. |
.
Рисунок 3.22. Параметры циклов варьирования.
Процедура |
Детальное описание процедуры |
2. Включите измерительные шаги после цикла. |
А. В диалоге Looping Commands выберите Add Analysis > After Loop(s) >Transform Plot- file . Щелкните на pfextract в списке файлов с графиками выберите combdrive_accelerometer.ac . Б. Введите имя выходного файла measure_frequency как показано на рис. 3.23. В. Щелкните на закладке Transforms Filter- ing и измените Y Transform на dB используя выпадающее меню. Г. Добавьте график Add Analysis > After Loop(s) > View Plotfiles in Scope. Д. Щелкните plot и введите имя графика measure_frequency. Е. Добавьте измерение Add Analysis > After Loop(s) > Batch Measure. Ж. В поле Measure выберите Le- vels>Maximum. З. Проверьте, чтобы Return было выставлено |
на
X
и
в поле
Input
Plot
File
должно
быть
measure_frequency
с
x
в
качестве
имени
кри-
вой.
И. На закладке Transforms Filtering введите имя выходного файла (Output Plot File) frequency_sweep.
К. Добавьте график и введите его имя fre- quency_sweep.
Л. В диалоге Looping Commands нажмите
OK для запуска анализа.
Рисунок 3.23. Настройки параметрического анализа.
Процедура |
Детальное описание процедуры |
3. Просмотр результатов в CosmosScope |
А. В программе CosmosScope создано два файла с графиками. Б. Откройте график x. В. Откройте график X_Max(x). Г. Щелкните правой кнопкой на подписи X_Max(x) и в появившемся меню выберите Member Attributes. Д. Щелкните на Show all labels и Rainbow |
Colored.
Е. График приведен на рис. 3.24.
Показано влияние изменения длины и ширины балки. Резонансная часто- та повышается по мере увеличения ширины и уменьшения длины.
Рисунок 3.24. Влияние размеров балки на резонансную частоту.