Содержание

7.

Зондовая литография

Содержание

7.

ЗОНДОВАЯ ЛИТОГРАФ ИЯ ..........................................................................................................................

7-1

7.1.

ТЕОРИЯ..........................................................................................................................................................

7-3

7.1.1. Физические основы зондовой литографии .............................................................................

7-4

7.1.2. Виды зондовой литографии........................................................................................................

7-5

7.1.2.1. СТМ литография.................................................................................................................

7-5

7.1.2.2. Анодно-окислительная литография ..................................................................................

7-6

7.1.2.3. Силовая литография ...........................................................................................................

7-8

7.2.

ЗАДАНИЕ......................................................................................................................................................

7-10

7.3. ПОРЯДОК ВЫПОЛНЕНИЯ ЛАБОРАТОРНОЙ РАБОТЫ..............................................................................

7-10

7.4.

КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ.........................................................................................................................

7-20

7.5.

ЛИТЕРАТУРА...............................................................................................................................................

7-21