СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие

Рис. 7-5. Результат предварительного сканирования. Выполнено вычитание плоскости

Процесс растровой литографии занимает достаточно длительное время, за которое в результате дрейфа сканер может смещаться относительно выбранного участка поверхности, при этом формируемый в соответствии с шаблоном рельеф

поверхности может быть сильно искажен. Во избежание этого рекомендуется отсканировать рабочую поверхность несколько раз, убедиться в отсутствии дрейфа и

только после этого проводить литографию.

Подбор параметров литографии

Перед проведением литографии рекомендуется измерить зависимость Mag(z) и на ее основании подобрать параметры проведения литографии.

1.Перейдите на вкладку спектроскопии (Рис. 7-6). На вкладке будет отображаться то же изображение, что и на вкладке сканирования.

Рис. 7-6. Вкладка спектроскопии

2. Из списка M o de выберите метод M ag(Z).

7-14

Лабораторная работа № 7

3.Задайте диапазон изменения удлинения Z-трубки сканера в полях ввода От (расстояние на которое образец отводится от зонда от текущего положения), Дo (расстояние, на которое образец подводится к зонду от текущего

положения) (Рис. 7-6). В качестве начальных значений установите:

От = 50 нм, Дo = –160 нм (в относительных единицах).

4.Выберите точку проведения измерений рядом с участком, на котором

предполагается проводить литографию. Для этого нажмите кнопку , затем задайте положение точки измерений щелчком мыши.

ПРИМЕЧАНИЕ. Не рекомендуется выбирать точку для измерений в

пределах области литографии, поскольку при спектроскопии на поверхности образца остается небольшой след от зонда.

5.Запустите измерения кнопкой . Результат измерений появится в области

графиков вкладки Спектро ско пия. График должен иметь вид как на Рис. 7-7. При необходимости, измените пределы измерений.

6.По полученной кривой определите значение силы воздействия зонда в точках,

соответствующих черным точкам шаблона – параметр Во здействие (Во здействие 1 для растровой литографии). Значение силы воздействия следует выбирать в пределах нижнего перегиба графика Mag(z) (см. Рис. 7-7).

Рис. 7-7. Выбор значения параметра Воздействие

Векторная силовая литография

1.Перейдите на вкладку литографии. На вкладке будет отображаться то же изображение, что и на вкладке сканирования.

2.Выберите векторный способ литографии, нажав кнопку Вектор. Появится панель инструментов векторной литографии.

Рис. 7-8

7-15

СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие

3.На выбранном участке изображения поверхности задайте положение и размер объектов шаблона литографии с помощью инструментов Панели инструментов шаблона литографии.

Рис. 7-9. Шаблон векторной литографии

4.На дополнительной панели задайте параметры литографии (Рис. 7-10):

●Выберите метод литографии – Сигнал ОС;

●Задайте скорость проведения литографии – 2 мкм/сек;

●Задайте шаг литографии – 0,1 мкм.

Рис. 7-10

5.В поле Во здействие на панели управления задайте силу, с которой зонд будет

воздействовать на поверхность образца при движении по линиям шаблона. Значение силы воздействия выбирается по результатам спектроскопии Mag(z) (Рис. 7-7).

7-16

Лабораторная работа № 7

Рис. 7-11

6. Запустите процесс литографии кнопкой . В процессе литографии зонд будет двигаться по линиям, соответствующим линиям шаблона.

Движение зонда будет отображаться на мониторе перемещением перекрестья в реальном времени. Кнопка Пус к изменится на кнопку Сто п и под ней

появится индикатор, на котором голубым цветом будет отображаться процент выполнения литографии (Рис. 7-14). По окончании литографии кнопка Пус к примет свой первоначальный вид.

7.После окончания литографии просканируйте участок поверхности образца, на котором была выполнена литография. Для этого перейдите на вкладку

сканирования. Не изменяя параметров сканирования и не смещая поле сканирования, запустите сканирование кнопкой Пус к .

8.Оцените качество литографированного изображения. При необходимости

измените (увеличьте или уменьшите) значение максимальной величины воздействия на образец, затем повторно проведите литографию на новом участке.

Растровая силовая литография

1.Перейдите на вкладку литографии. Выберите растровый метод литографии, нажав кнопку Рас тр.

2.Загрузите шаблон литографии, перетащив изображение в поле выбора шаблона (Рис. 7-12).

3.На отсканированном изображении поверхности выберите достаточно гладкий и не имеющий существенных поверхностных дефектов и загрязнений

участок. Нажмите кнопку , затем с помощью мыши задайте размер и

положение области литографии. На выделенной области появится изображение шаблона (Рис. 7-12).

7-17

СЗМ НАНОЭДЬЮКАТОР II. Учебное пособие

Рис. 7-13. Задание параметров литографии

5.Задайте силу воздействия зонда на образец в точках шаблона:

Во здействие 1 – значение, определенное по результатам спектроскопии

Mag(z). C такой силой зонд будет воздействовать на поверхность образца в точках, соответствующих черным точкам шаблона.

Во здействие 2 – значение, равное значению параметра Рабочая точка. C

такой силой зонд будет воздействовать на поверхность образца в точках, соответствующих белым точкам шаблона.

7-18

начнется выполнение литографии, кнопка Пус к изменится на кнопку Сто п и под ней появится индикатор, на котором голубым цветом будет отображаться

процент выполнения литографии (Рис. 7-14). По окончании литографии кнопка Пус к примет свой первоначальный вид.

Рис. 7-14. Вид панели управления в процессе выполнения литографии

7.После окончания литографии просканируйте участок поверхности образца, на котором была выполнена литография. Для этого перейдите на вкладку

сканирования. Не изменяя параметров сканирования и не смещая поле сканирования запустите сканирование кнопкой Пус к .

Рис. 7-15. СЗМ-изображение участка поверхности, на котором была осуществлена литография

8.Оцените качество литографированного изображения. Например, на Рис. 7-16

изображение практически не видно, т.е. величина воздействия была недостаточной.

7-19