- •Кафедра физики Кубанского государственного
- •Доктор физико - математических наук Кубанского
- •В.В. Фомин
- •Введение
- •1. Способы осуществления электростимулированной миграции ионов
- •2. Физические процессы, лежащие в основе электростимулированной миграции ионов
- •3. Анализ профиля поперечного сечения волноводов, изготовленных методом электростимулированной миграции ионов
- •Причем это соответствие устанавливается формулой
- •4. Изготовление интегрально-оптических волноводов электростимулированной миграцией ионов
- •4.1. Принципиальная схема установки для проведения электростимулированной миграции ионов
- •4.2. Изготовление интегрально-оптических волноводов электростимулированной миграцией ионов серебра
- •4.3. Исследование влияния стимулирующего напряжения и ширины отверстия в маске на форму и геометрические размеры поперечного сечения формируемых волноводов
- •4.4. Исследование влияния стимулирующего напряжения и ширины отверстия в маске на оптические параметры волноводов
- •4.5. Исследование интегрально-оптических волноводов, полученных электростимулированной миграцией ионов из расплава нитрата калия
- •4.6. Изготовление и исследование заглубленных и двухканальных интегрально-оптических волноводов
- •5. Изготовление интегрально-оптических микролинз и исследование их свойств
- •5.1. Изготовление микролинз электростимулированной миграцией ионов из расплава соли
- •5.2. Изготовление микролинз электростимулированной миграцией ионов из расплава соли
- •5.3. Изготовление и исследование интегральных
- •5.4. Формирование рассеивающих, цилиндрических
- •6. Изготовление матриц микролинз
- •7. Разработка и исследование матриц микролинз с плотной упаковкой
- •7.1. Расчет формы интегральных микролинз в матрицах, получаемых методом электростимулированной миграции ионов в стеклах
- •7.2. Изготовление матриц микролинз с плотной
- •7.3. Разработка и исследование матриц интегральных микролинз для датчика волнового фронта Шака-Гартмана
- •8. Создание и исследование Многоканального микролинзового интегрально-оптического ответвителя излучения
- •Заключение
- •Библиографические ссылки
4.4. Исследование влияния стимулирующего напряжения и ширины отверстия в маске на оптические параметры волноводов
Экспериментальное исследование волноводов предполагает измерение не только их геометрических размеров, но и таких основных параметров, как показатель преломления и профиль изменения показателя преломления.
Для измерения этих параметров использовался метод призмы. Он достаточно прост (в смысле постановки эксперимента) и не требует громоздких расчетов. Этот метод применим для различных волноводов, но особенно удобен для многомодовых волноводов и дает хорошие результаты. Суть его состоит в следующем. В основе установки берется система призма – волновод, причем призма прижимается к волноводу до установления оптического контакта (толщина зазора порядка /2). Подбирая соответствующий угол падения света на призму, можно добиться, чтобы постоянная распространения падающего света была равна постоянной распространения волноводной моды. Условие синхронизма можно записать в виде уравнения, определяющего собственные моды волновода
,
(49)
где
;
и
– искомые показатель преломления и
толщина волновода;
– изменение фазы при отражении от
тонкого слоя воздуха (
=
1) с учетом поправки на связь с призмой,
причем
,
(50)
– изменение
фазы при отражении от нижней среды
;
(51)
– эффективный
показатель преломления, рассчитываемый
по формуле
,
(52)
где
– преломляющий угол призмы,
– толщина воздушного зазора,
– показатель преломления призмы,
–
показатель преломления подложки,
= 0,1,2, ... – целое число.
Используя
условие синхронизма, можно по
экспериментально определяемым значениям
величин
,
,
,
рассчитать либо
,
либо
,
если исследуется одномодовый волновод.
Для многомодовых волноводов получается
система уравнений, решение которой дает
значения
и
одновременно.
Показатель преломления подложки определялся с помощью рефрактометра типа ИРФ–23. Измерение углов падения , преломляющего угла призмы и показателя преломления призмы проводилось на экспериментальной установке, собранной на основе гониометра ГС–5 по схеме, изображенной на рис. 23.
Рис. 23. Схема установки для измерения эффективных показателей преломления волноводных мод
В качестве источника света использовался He–Ne–лазер (1). Четвертьволновая пластинка (2) и поляризатор (3) служили для изменения плоскости поляризации оптического излучения. Линза (4) необходима для фокусировки оптического излучения на канальный волновод. Оптическое излучение при помощи измерительной призмы (5) возбуждает необходимую волноводную моду в образце (7) и, частично отразившись, попадает на экран (6).
Углы падения света на призму (для возбуждения определенной волноводной моды) измерялись с точностью до 15 угловых секунд, при этом точность измерения показателя преломления составила 10-4 на = 632,8 нм.
Поскольку волноводы, сформированные электростимулированной миграцией ионов, обладают большой глубиной и полукруглой или имеющей закругления формой поперечного сечения, то модовая структура, наблюдаемая на экране, существенно отличается от модовой структуры планарных или прямоугольных волноводов. Большое число мод, распространяющихся в таких волноводах, значительно усложняет измерение и анализ расположения m–линий в спектре волноводных мод.
а б
Рис. 24. Типичные картины m–линии: а – планарного
волновода; б – волновода полукруглой формы
На рис. 24 представлены типичные картины m–линий для планарного волновода, полученного в стекле при помощи ионного обмена в расплаве AgNO3, и волновода с полукруглой формой поперечного сечения, изготовленного электростимулированной миграцией ионов. В обоих случаях картина m–линий получена путем ввода оптического излучения в торец волновода и вывода его через призму. Такой метод возбуждения позволяет наблюдать на экране сразу весь набор m–линий. Измеряя углы, под которыми распространяются моды, можно определить эффективный показатель преломления N для каждой из мод. Но поскольку в картине m-линий стимулированных волноводов, которая представляет собой сплошную широкую полосу, отдельные моды выявить невозможно или крайне трудно, то измерение производилось для первой и последней моды, ограничивающих область m-линий.
На рис. 25 изображены графики изменения максимального эффективного показателя преломления (Nmax) волноводов, сформированных на стекле от фотопластин (ns = 1,5120) электростимулированной миграцией ионов Ag+ из расплава AgNO3 и NaNO3, взятых в молярном отношении 1:10, при температуре 350 2°C в течение 3 мин., в зависимости от внешнего стимулирующего напряжения.
Измерения Nmax проводились как для планарного волновода (шириной 5 мм), так и для каждого из канальных волноводов, полученных в процессе электростимулированной миграции сквозь отверстия в маске шириной 15, 30, 50, 70 и 100 мкм.
Как видно из графиков, в отсутствие стимулирующего поля Nmax в планарном волноводе выше, чем в канальных, и убывает с уменьшением ширины полоски в маске. Однако уже при стимулирующем напряжении 10 В наблюдается резкое увеличение значения Nmax. Наиболее сильно Nmax растет у волноводов, получаемых на отверстиях малой ширины, что обусловлено влиянием металлической маски. Nmax для планарных волноводов монотонно возрастает с увеличением стимулирующего напряжения во всем диапазоне стимулирующего напряжения от 0 до 60 В.
Рис. 25. Графики изменения максимального эффективного показателя преломления (Nmax) от величины
стимулирующего напряжения
Что касается канальных волноводов, то при стимулирующем напряжении более 30 В наблюдается уменьшение значения Nmax, обусловленное снижением напряжений в стекле, возникающих в результате замены ионов Na+ более крупными ионами Ag+.
Здесь следует отметить тот факт, что рост Nmax обусловлен двумя причинами. С одной стороны Nmax растет за счет внедрения высокопреломляющего иона Ag+ на место иона Na+, а с другой – в результате внедрения в матрицу стекла вместо иона Na+ (0,098 нм) иона Ag+ (0,126 нм) с большим радиусом возникают механические напряжения, вызывающие увеличение показателя преломления. Особенно сильно этот эффект проявляется в волноводах, получаемых заменой ионов Na+ в стекле на более крупные ионы K+ из расплава.
Аналогичная зависимость изменения показателя преломления Nmax от стимулирующего напряжения и ширины отверстия в маске наблюдается для волноводов, полученных на стеклах от фотопластин в расплаве AgNO3 и NaNO3, взятых в молярном отношении 1 : 20 при температуре 350 2°С за 3 мин. При этом Nmax имеет значения приблизительно на 0,01 ниже, чем в предыдущем случае.
Использование в качестве подложек стекол К8 (ns = =1,5136 на = 0,63 мкм ); C83-I (ns = 1,510 на = 0,63 мкм) и СФО (ns = 1,5410 на =0,63 мкм) позволило не только улучшить формируемые волноводы, но и расширить диапазон изменения эффективного показателя преломления до Nmax = 1,71.
Волноводы на стекле К8 формировались по описанной выше схеме в расплаве AgNO3 и NaNO3, взятом в молярном отношении I : 10 при температуре 380 2°С в течение 10 мин. При этом стимулирующее напряжение изменялось от 10 до 60 В.
Стекло C83–I представляет собой светочувствительное литиево-алюмосиликатное стекло и содержит 74,2% SiO2; 8,5% Al2O3; 10,6% Li2O; 4,2% K2O; 2,5% ZnO и в качестве фоточувствительного элемента – Ag2O – 0,04%; сенсибилизатора – Sb2O3 – 0,04%.
Канальные волноводы формировались в стекле C83–I в расплаве AgNO3 и NaNO3 (1:10 моль) при температуре 350 2°С в течение 10 мин. Стимулирующее напряжение также изменялось в диапазоне 0 – 60 В.
Поскольку в составе стекла C83–I содержится 10,6% Li2O, максимальный эффективный показатель преломления достигает в результате электростимулированной диффузии величины Nmax = 1,6287.
Использование стекол с еще более высоким содержанием щелочей, таких, например, как СФО (применяемого в качестве оболочек для элементов ВОЛС), содержащего Na2O – 25% и Li2O – 5%, позволяет получить при помощи электростимулированной диффузии из расплава AgNO3 + +NaNO3 (1:10 моль) при температуре 350°С за 10 мин. волноводы с Nmax = 1,7100.
На рис. 26 для сравнения приведены зависимости Nmax для различных стекол: К8, стекло фотопластин, C83–I, СФО с указанием режимов электростимулированной диффузии. Из полученных графиков видно, что подбором материала подложки с использованием одного диффузанта (Ag+) удается получать волноводы с довольно большим диапазоном изменения эффективного показателя преломления.
Р
ис.
26. Зависимости эффективного показателя
преломления
от величины стимулирующего напряжения для стекол:
1 – СФО, AgNO3 + NaNO3 (1:10 моль), 350, 10 мин.;
2 – С83-1, AgNO3 + NaNO3 (1:10 моль), 350, 10 мин.;
3 – Ф.П.1, AgNO3 + NaNO3 (1:10 моль), 350, 3 мин.;
4 – Ф.П.2, AgNO3 + NaNO3 (1:20 моль), 350, 3 мин.;
5 – К8, AgNO3 + NaNO3 (1:10 моль), 350, 10 мин.
Измерение оптических потерь в сформированных волноводах проводилось на установке, схема которой приведена на рис. 27.
Рис. 27. Схема установки для измерения оптических потерь
в канальных волноводах
Оптическое излучение гелий-неонового лазера (I), проходя через поляризатор (2), необходимый для регулировки интенсивности излучения, попадает на светоделитель (3). Отраженный луч используется для контроля за стабильностью работы лазера. Этот контроль осуществляется при помощи фотодиода ФД-24К (10) и цифрового вольтметра B7-2I (11). Луч, прошедший через делитель (3), фокусируется микрообъективом (4) на входном торце оптического волокна (5) с диаметром световедущей жилы 50 мкм и числовой апертурой NA = 0,2. Выходной торец волокна (5) совмещается с торцом исследуемого волновода, сформированного в стеклянной подложке (6). Оптическое излучение, выходящее из торца волновода, пройдя через микрообъектив (7) и светоделитель (8), попадает на фотокатод телевизионной камеры ЛИ-474-1 (13), соединенной с телевизором (12) "Электроника ВЛ-100" и предназначенной для визуального контроля совмещения торцов волокна и волновода. Измерительная часть установки состоит из фотодиода (9) и цифрового вольтметра со встроенным блоком измерения токов (14). Применение такой схемы в процессе измерения позволяет определить не только пропускание оптических волноводов, но и оценить эффективность торцевой связи между оптическим волокном и волноводом.
Для этого производилось измерение интенсивности оптического излучения на выходном торце оптического волокна ( I0 ) и интенсивности на выходном торце канального волновода ( I ). В процессе измерения длина волновода L дискретно менялась от 24 мм до 4 мм, что позволяло получить дискретный набор значений интенсивности на выходном торце волновода IL1, IL2 , IL3 ,..., ILn. Для различных длин волноводов L
,
(53)
где к – коэффициент ослабления оптического сигнала;
–эффективность ввода оптического излучения из волокна в волновод, получаемая путем экстраполирования кривой в область L 4 мм до пересечения с осью ординат.
На
рис. 28 представлены зависимости
пропускания
(%)
для волноводов, изготовленных в стеклах
от фотопластин (Ф.П.), К8, C83-I,
СФО.
Р
ис.
28. Зависимости пропускания оптического
излучения
от длины волноводов, изготовленных в стеклах К8, СФО, С83-1 и в стекле от фотопластин
Как видно из графиков, минимальными потерями (2 дБ/см) обладают волноводы, сформированные в стекле К8. Малые потери в волноводах на стекле К8 обусловлены высокой однородностью и прозрачностью подложки и незначительно коллоидной окраской, которая в свою очередь зависит от содержания щелочей в составе стекла.
Однако эффективность ввода оптического излучения из волокна в волновод достигает 67%. Эффективность ввода для волноводов, сформированных в стекле СФО, достигает 83%, но оптические потери в таких волноводах составляют 4 дБ/см и обусловлены в основном интенсивной коллоидной окраской.
Потери в волноводах на стекле К8, Ф.П., C83–I на =0,85 мкм уменьшаются до I дБ/см, что объясняется отсутствием поглощения, вызванного коллоидной окраской в этом диапазоне длин волн.
