- •Лабораторная работа № 1 удельное сопротивление полупроводников
- •Теория метода
- •Порядок выполнения задания
- •Контрольные вопросы
- •Рекомендуемая литература
- •Лабораторная работа № 2 определение ширины запрещенной зоны полупроводника
- •Электропроводность полупроводников
- •Температурная зависимость концентрации носителей заряда
- •4. Температурная зависимость проводимости
- •3. Температурная зависимость подвижности носителей заряда
- •Метод измерения
- •Описание экспериментальной установки
- •Задание
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 3 определение концентрации основных носителей заряда и подвижности в примесном полупроводнике с помощью эффекта холла
- •Физическая сущность эффекта Холла
- •Факторы, влияющие на погрешность измерений
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения задания
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 4 время жизни неосновных носителей заряда в полупроводнике
- •Теоретическая часть
- •2. Измерение времени жизни носителей заряда
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 5 определение диффузионной длины неосновных носителей заряда в полупроводнике методом подвижного светового зонда
- •1. Теоретическая часть
- •2. Метод измерения диффузионной длины
- •3. Схема экспериментальной установки
- •4. Порядок выполнения задания
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 6 определение поверхностной проводимости полупроводников
- •Поверхностные состояния
- •Концентрация носителей заряда и искривление энергетических зон у поверхности полупроводника
- •Измерение поверхностной проводимости
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 7 изучение оптического поглощения полупроводников
- •Поглощение света
- •Краткая характеристика различных видов поглощения
- •Прибор для снятия спектра поглощения
- •Определение коэффициента поглощения
- •Задание
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 8 пьезоэлектрический эффект в кристаллах
- •Поляризация диэлектриков. Основные характеристики
- •Поляризация нецентросимметричных диэлектриков
- •Пьезоэлектрический резонатор
- •Метод резонанса – антирезонанса
- •Методика и схема измерения
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 9 тензоэффект в кремнии
- •1. Теоретические сведения
- •3. Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •Содержание
3. Температурная зависимость подвижности носителей заряда
Подвижность носителей заряда μ численно равна скорости дрейфа носителей, приобретаемой ими под действием электрического поля единичной напряжённости:
. (2.10)
Подвижности электронов μn и дырок μp различны по величине вследствие различия в эффективных массах и временах свободного пробега электрона и дырки, которые зависят от механизма рассеяния электронов и дырок в кристаллической решетке полупроводника.
Можно выделить несколько механизмов рассеяния носителей заряда:
на тепловых колебаниях атомов кристаллической решетки;
на ионизированных примесях (ионы примеси);
на нейтральных примесях (атомы примеси);
на дефектах решетки (вакансии, точечные дефекты, дислокации, границы кристаллитов и др.);
на носителях заряда.
Ввиду малости концентрации дефектов и носителей заряда последними двумя видами рассеяния обычно пренебрегают.
В случае рассеяния носителей заряда на тепловых колебаниях решётки подвижность, обусловленная этим видом рассеяния, уменьшается с ростом температуры по закону:
. (2.11)
Рассеяние на тепловых колебаниях решётки преобладает при комнатных и более высоких температурах.
В случае рассеяния носителей на ионизированных примесях подвижность растёт с температурой:
(2.12)
Этот механизм рассеяния преобладает при низких температурах.
Если в рассеянии носителей участвуют оба механизма 1) и 2) и они независимы, то температурная зависимость μ может быть представлена в виде
, (2.13)
где a и b – коэффициенты пропорциональности.
На рис. 2.2 приведена зависимость подвижности от температуры.
Рассеяние носителей на нейтральных примесях не зависит ни от температуры, ни от энергии носителей и оказывает влияние при очень низких температурах, когда тепловые колебания решетки не играют заметной роли и степень ионизации примесей мала.
Рис. 2.2. Температурная зависимость подвижности носителей заряда
4. Температурная зависимость проводимости
Учитывая зависимость концентрации и подвижности носителей заряда от температуры, удельную проводимость собственного полупроводника можно записать в виде
. (2.14)
Множитель
медленно меняется с температурой, тогда
как множитель
сильно зависит от температуры, когда
ΔE
>> kT.
Следовательно, для не слишком высоких
температур можно считать, что
,
и выражение
(2.14) заменить более простым:
. (2.15)
Рассмотрим поведение σ полупроводника при переходе от низких температур к высоким. В донорном или акцепторном полупроводнике проводимость при комнатной и более низких температурах является примесной. При очень низких температурах, близких к абсолютному нулю, ионизованных примесей мало и преобладает рассеяние на нейтральных атомах, при котором μ не меняется с температурой. Поэтому температурная зависимость σ будет определяться зависимостью концентрации от температуры. Для проводимости донорного полупроводника согласно (2.6) и (2.7) можно записать:
.
. (2.16)
Соответственно для проводимости акцепторного полупроводника (см. (2.8) и (2.9)):
. (2.17)
Очевидно, если уравнения (2.16) или (2.17) построить графически в координатах ln(σ) от , то из наклонов этих зависимостей (рис. 2.3) можно определить энергию ионизации донорной или акцепторной примеси:
,
.
При дальнейшем повышении температуры проводимость попадает в область истощения примеси (см. рис. 2.1, область 2), в которой концентрация основных носителей остаётся постоянной и проводимость меняется вследствие изменения подвижности μ с температурой.
На
участке 2 кривой
(рис. 2.3)
или
.
Далее
проводимость падает незначительно с
температурой, так как преобладает
рассеяние на тепловых колебаниях, при
котором
(рис. 2.3,
участок 3). Наконец, при достаточно
высоких температурах проводимость
полупроводника становится собственной
(2.14), и в этих условиях можно определить
ширину запрещенной зоны полупроводника
ΔE.
,
Откуда
,
(2.18)
где k =8,62·10-5 эВ/К.
Рис. 2.3. Зависимость удельной проводимости полупроводника от
температуры: а) собственная проводимость; б) примесная проводимость
