4.Порядок проведення роботи

1.Вивчити фізичні основи методу

2.Ознайомитися з будовою та послідовністю роботи на спектрометрі МС- 7201М

3.Визначити хімічний склад зразків по мас – спектрам наданим викладачем.

4. Визначити орієнтовно марки сталей.

5. Побудувати розподіл елементів по глибині легованого шару по даним мас – спектроскопії та іонного розпилення.

5. Зміст звіту

У звіті по лабораторній роботі повинно бути відображено наступне:

• назва і мета роботи

• принципова схема спектрометра МС -7201М і опис його роботи

• копії мас- спектрів та визначений хімічний склад

• копії мас – спектрів сталей та їх марки

• залежності розподілу елементів по глибині легованого шару

6. Контрольні запитання для самоперевірки і контролю підготовленості до лабораторної роботи

1. Як готується зразок для визначення хімічного складу по методу ВІМС?

2. В якому випадку мас – спектр елементу має кілька максимумів?

3. Від чого залежить чутливість методу ВІМС?

4.Чому в аналізі вторинних іонів не урахуються іони з q>1?

5. Якими методами потік вторинних іонів розділюється в просторі по елементам?

6. Від чого залежать інтенсивності максимумів багато ізотопного елементу?

7. Які умови кількісного хімічного аналізу по методу ВІМС?

8. Як будуються залежності розподілу елементів по глибині шарів в випадках високих градієнтів їх розподілу?

Додаток1

Масові числа стабільних ізотопів та їх відносна розповсюдженість

елемент	атомний номер	масове число	відносна розповсюдженість, %
В С N O Na Mg Al Si P S Ti V Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn Zr Nb Mo Ag Cd Sn Ta W Pt Au Pb	5 6 7 8 11 12 13 14 15 16 22 23 24 25 26 27 28 29 30 40 41 42 47 48 50 73 74 78 79 82	10 11 12 13 14 15 16 17 18 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 46 47 48 49 50 50 51 50 52 53 54 55 54 56 57 58 59 58 60 61 62 64 63 65 64 66 67 68 70 90 91 92 94 96 93 92 94 95 96 97 98 100 107 109 106 108 110 111 112 113 114 116 112 114 115 116 117 118 119 120 122 124 181 182 183 184 186 192 194 195 196 198 197 204 206 207 208	19 81 99 1 99,6 0,4 99,76 0,04 0,2 100 79 10 11 100 92 5 3 100 95 1 4 8 7 74 5,5 5,5 0,2 99,8 4 84 10 2 100 6 91,5 2 0,5 100 68 26 1 4 1 69 31 49 28 4,5 18 0,5 51,5 11 17 17,5 3 100 16 9 16 15,5 9,5 24 10 51,5 48,5 1,2 0,8 12,5 12,5 24 12 29 7 1 0,5 0,5 14 7 24 8 33 4 6 100 26 14 31 28 1 33 33 25 7 100 1,5 25 22 51,5