- •Часть II
- •Содержание
- •0. Лазерный нагрев материалов 7
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов 92
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред 136
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы 150
- •Введение
- •0. Лазерный нагрев материалов
- •0.1. Общая характеристика нагревания лазерным излучением
- •0.0.0. Тепловые эффекты в конденсированных средах
- •0.0.1. Основные особенности температурной кинетики при лазерном воздействии на металлы
- •0.0.2. Теплопроводностные механизмы отвода тепла. Уравнение теплопроводности, начальное и граничные условия
- •0.1. Термические эффекты, сопровождающие лазерный нагрев
- •0.1.0. Термомеханические эффекты
- •0.1.1. Фазовые переходы в твердом состоянии (лазерное упрочнение)
- •0.1.2. Эмиссионные процессы
- •0.1.3. Основные особенности лазерной активации процессов аррениусовского типа. Лазерное окисление
- •0.1.4. Диффузионно-химические явления
- •0.1.5. Экзотермические эффекты при импульсном лазерном воздействии на металлы
- •0.2. Линейные режимы лазерного нагрева
- •0.2.0. Понятие температуры электронной и решеточной подсистем
- •0.2.1. Нагрев полупространства экспоненциально спадающим с глубиной тепловым источником
- •0.2.2. Нагрев металла импульсным излучением постоянной мощности
- •0.2.3. Нагрев материала лазерным пучком с гауссовым профилем
- •0.2.4. Нагрев материала постоянным лазерным излучением, луч сфокусирован в пятно круглого сечения
- •0.2.5. Влияние временной зависимости интенсивности лазерного излучения
- •0.2.6. Лазерный нагрев тонких слоев и пленок
- •0.2.7. Нагрев материалов в интерференционном лазерном поле
- •0.2.8. Особенности нагрева материала движущимся световым пятном.
- •0.3. Нелинейные режимы лазерного нагрева
- •0.3.0. Нагрев с учетом температурной зависимости поглощательной способности
- •0.3.1. Изменение поглощательной способности окисляющихся материалов при лазерном нагревании. Тепловая неустойчивость
- •0.3.2. Интерференционные явления в окисном слое
- •0.4. Лазерное плавление поверхности
- •0.4.0. Вакансионная модель плавления
- •Контрольные вопросы к разделу 1
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов
- •1.0. Общая характеристика механизмов лазерного разрушения
- •1.0. Механическое низкотемпературное разрушение хрупких материалов
- •1.0.0. Разрушение упругими напряжениями
- •1.0.1. Разрушение остаточными напряжениями
- •1.1. Химические механизмы разрушения
- •1.2. Высокотемпературные механизмы с участием испарения
- •1.3. Поляритонный механизм формирования лазерно-индуцированного поверхностного рельефа
- •1.4. Лазерное испарение
- •1.4.0. Кинетика испарения плоской поверхности
- •1.4.0.0. Испарение в вакуум и среду с противодавлением
- •1.4.0.1. Температурная граница перехода от нагрева к испарению
- •1.4.1. Теплофизика перехода от нагрева к испарению
- •1.4.2. Одномерная задача о лазерном нагреве с испарением
- •1.4.2.0. Установление стационарного режима. Определение квазистационарных параметров
- •1.4.2.1. Зависимость температуры и скорости лазерного разрушения от плотности светового потока.
- •1.4.3. Вытеснение расплава избыточным давлением паров
- •1.5. Свойства лазерного пара и плазмы, их влияние на процесс разрушения
- •Контрольные вопросы к разделу 2
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред
- •0.0. Физические представления об оптическом пробое идеальных диэлектриков
- •0.0.0. Оптический пробой газов
- •0.0.1. Оптический пробой идеально чистых твердых тел
- •0.1. Тепловой механизм оптического пробоя реальных сред
- •0.1.0. Основные экспериментальные закономерности и особенности оптического пробоя и разрушения оптически неоднородных сред
- •0.1.1. Тепловая неустойчивость
- •0.1.2. Статистическая концепция оптического пробоя
- •0.1.3. Размерная зависимость порога пробоя
- •Контрольные вопросы к разделу 3
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы
- •0.0. Двухтемпературная модель при сверхкоротком воздействии
- •0.1. Особенности экспериментального изучения воздействия фемтосекундных лазерных импульсов на материалы
- •0.2. Особенности разлета вещества при фемтосекундном лазерном воздействии
- •0.3. Плавление при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.3.0. Термическое плавление с высокими скоростями
- •0.3.1. Нетермическое плавление
- •0.4. Фотофизическая абляция
- •0.5. Уплотнение электронного газа и кулоновский взрыв в поверхностном слое проводника
- •0.6. Формирование лазерно-индуцированного поверхностного рельефа при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.6.0. Механизм образования поверхностных периодических структур при воздействии сверхкоротких импульсов
- •0.6.1. Резонансная дифракция на плоской поверхности с периодической модуляцией оптических свойств
- •0.6.2. Формирование периодического профиля поля температур
- •0.6.3. Эволюция периодических поверхностных структур в расплавленном поверхностном слое
- •0.7. Силовое действие сверхкоротких импульсов на прозрачные диэлектрики
- •Контрольные вопросы к разделу 4
- •Список рекомендуемой литературы
- •Кафедра лазерных технологий и экологического приборостроения
- •История кафедры лт и эп делится на
- •4 Разных периода:
- •1) Лазерное формирование многофункциональных зондов (мз) для зондовой микроскопии с целью создания универсальных зондовых микроскопов.
- •3) Наноструктурирование тонких металлических и полупроводниковых слоев.
- •4) Управление микрогеометрией, наношероховатостью и физико–химичекими свойствами поверхности материалов
- •2. Лаборатория лазерной очистки и реставрации произведений культуры и искусства (пкин) организована совместно с фирмой ооо «Мобильные лазерные системы».
- •Взаимодействие лазерного излучения с веществом (силовая оптика).
0.0.0. Тепловые эффекты в конденсированных средах
При лазерном воздействии на материалы наблюдаются многообразные процессы и явления, которые приводят к изменению оптических и электрических характеристик материала, его структуры и фазового состава.
Отметим основные физико-химические явления, представляющие наибольший практический интерес при решении инженерных задач в технологии лазерной обработки материалов.
Плавление.
При облучении кристаллического или
поликристаллического твердого тела
лазерным излучением достаточной
плотности мощности его температура
может возрасти до температуры плавления
.
Температуры плавления различных
материалов сильно различаются примерно
от 500 К для легкоплавких металлов (свинец,
олово) до 3300 К для тугоплавких (вольфрам,
платина). Соответственно меняется как
количество теплоты, которое необходимо
для нагревания металла от комнатной
температуры до температуры плавления,
так и скрытая теплота фазового перехода
твердое тело – расплав
.
При этом роль скрытой теплоты плавления,
т.е. теплоты, необходимой для разрушения
кристаллической решетки тела, тем
больше, чем ниже температура плавления.
Если продукты лазерного разрушения
немедленно удаляются с поверхности
твердого тела, например, в результате
обдува струей воздуха, то процесс
называется лазерной абляцией.
Целью теоретическою анализа процесса плавления является определение толщины расплавленного слоя и продолжительности плавления до момента начала интенсивного испарения материала. Знание этих параметров процесса плавления весьма важно, в частности, при использовании лазерного излучения для импульсной и непрерывной сварки.
Испарение.
Жидкая фаза, образовавшаяся при плавлении
твердого тела, может быть нагрета до
температуры испарения
.
Фазовый переход жидкость – пар происходит
при подводе в зону воздействия количества
теплоты, равного или большего теплоты
испарения
.
Для ряда материалов, у которых процесс
теплового разрушения протекает без
образования жидкой фазы, происходит
фазовый переход твердое тело – пар,
называемый сублимацией. Испарение
материалов может протекать в виде
кипения, для которого характерно
возникновение и рост пузырьков насыщенного
пара в расплаве вблизи поверхности
нагрева. Испарение является типичным
механизмом лазерной абляции.
У некоторых материалов (древесина, минералы) интенсивный лазерный нагрев ведет к испарению связанной (кристаллизационной) воды или других жидких компонентов. Подобные легкоиспаряемые продукты создают высокое давление в зоне нагрева, что приводит к образованию микротрещин, выбросу частиц материала, перестройке его химической структуры.
При
анализе лазерного испарения материалов
очень важен вопрос об "энергетической
организации" процесса. При малых
плотностях мощности поглощенного
лазерного излучения (
104
Вт/см2) разрушение практически
всех металлов связано с процессами
плавления и абляции. Доля газовой фазы
в продуктах разрушения невелика.
Увеличение мощности лазерного излучения
ведет к росту температуры материала
(
),
соответственно возрастает и роль
испарения в процессе разрушения.
Физическая модель, описывающая процесс
испарения, довольно сложна. В частности,
трудно определить долю рассеянного и
поглощенного лазерного излучения в
облаке пара вблизи поверхности, учесть
взрывные эффекты и взаимодействие
различных фаз в зоне обработки.
Кристаллизация. Тепловое действие поглощенного лазерного излучения может приводить к изменению структуры и оптических и электрофизических свойств материала в зоне обработки. Характер этих изменений зависит от свойств облучаемого материала, мощности поглощенного излучения, скорости нагрева и охлаждения.
При лазерном воздействии кристаллизация расплава может приводить либо к образованию материалов с другим типом кристаллической решетки либо к структурированию аморфных тел. При этом происходит выделение удельной теплоты кристаллизации в зоне воздействия (при фазовом переходе жидкость – твердое тело она равна ).
Термохимические реакции. Лазерный нагрев веществ может стимулировать протекание необратимых химических реакций, которые вызывают ускорение процесса разрушения материала. Большой тепловой вклад экзотермических реакций, инициируемых в зоне нагрева, приводит к воспламенению материала, которое может перейти в автономный режим. При этом материал воспламеняется в области, размеры которой многократно превосходят зону облучения.
Кроме того, воздействие лазерного излучения на металлы способствует развитию термохимических реакций, с помощью которых можно окислять поверхность, восстанавливать металлы, разлагая сложные соединения, синтезировать новые материалы. При этом существенно меняются оптические свойства материалов (в первую очередь поглощательная способность) вследствие изменения физико-химических свойств поверхности.
Взаимосвязь физических процессов, сопровождающих процесс воздействия лазерного излучения на материалы, изображена на рис. 0.0.
При лазерном облучении в соответствии с величиной поглощенного потока материал нагревается, плавится и испаряется. По окончании воздействия – остывает. После любой из названных стадий (нагрев, плавление, испарение) возможен процесс кристаллизации – изменение структуры.
Стрелками показано возникновение обратных связей по оптическим свойствам, в частности, по поглощательной способности при нагреве материала, при плавлении. Последнее особенно сказывается при облучении полупроводников.
Также в нагретом материале на поверхности могут активироваться термохимические реакции, происходить деформация поверхности, а при испарении материала возможны химические реакции в парофазном состоянии.
Рис. 0.0. Взаимосвязь физических процессов при воздействии лазерного излучения па материалы
В левой части схемы отмечено возникновение оптического пробоя при прохождении излучения сквозь прозрачную среду. В частности, при облучении на воздухе может произойти оптический пробой (возникновение искры) в воздухе. Над поверхностью материала образуется плазма, состоящая как из частиц оптического пробоя окружающей среды, так и из испаренных частиц материала. Приповерхностная плазма участвует в поглощении излучения и может существенно экранировать мишень.
Очевидно, что совокупность физических процессов в зоне воздействия определяется температурой, скоростью и временем нагрева, скоростью охлаждения материала, которые, в свою очередь, зависят от геометрических и энергетических характеристик лазерного излучения, свойств обрабатываемого материала, массы облучаемого изделия, технологических схем обработки и т.д.
Поэтому в дальнейшем основными целями при анализе лазерного нагревания будут:
- оценка темпа разогрева и характерных масштабов прогрева вглубь и в стороны (теплофизика процесса);
- выявление и анализ физико-химических процессов, происходящих во время воздействия, и описание их воздействия на нагревание.
