- •Часть II
- •Содержание
- •0. Лазерный нагрев материалов 7
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов 92
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред 136
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы 150
- •Введение
- •0. Лазерный нагрев материалов
- •0.1. Общая характеристика нагревания лазерным излучением
- •0.0.0. Тепловые эффекты в конденсированных средах
- •0.0.1. Основные особенности температурной кинетики при лазерном воздействии на металлы
- •0.0.2. Теплопроводностные механизмы отвода тепла. Уравнение теплопроводности, начальное и граничные условия
- •0.1. Термические эффекты, сопровождающие лазерный нагрев
- •0.1.0. Термомеханические эффекты
- •0.1.1. Фазовые переходы в твердом состоянии (лазерное упрочнение)
- •0.1.2. Эмиссионные процессы
- •0.1.3. Основные особенности лазерной активации процессов аррениусовского типа. Лазерное окисление
- •0.1.4. Диффузионно-химические явления
- •0.1.5. Экзотермические эффекты при импульсном лазерном воздействии на металлы
- •0.2. Линейные режимы лазерного нагрева
- •0.2.0. Понятие температуры электронной и решеточной подсистем
- •0.2.1. Нагрев полупространства экспоненциально спадающим с глубиной тепловым источником
- •0.2.2. Нагрев металла импульсным излучением постоянной мощности
- •0.2.3. Нагрев материала лазерным пучком с гауссовым профилем
- •0.2.4. Нагрев материала постоянным лазерным излучением, луч сфокусирован в пятно круглого сечения
- •0.2.5. Влияние временной зависимости интенсивности лазерного излучения
- •0.2.6. Лазерный нагрев тонких слоев и пленок
- •0.2.7. Нагрев материалов в интерференционном лазерном поле
- •0.2.8. Особенности нагрева материала движущимся световым пятном.
- •0.3. Нелинейные режимы лазерного нагрева
- •0.3.0. Нагрев с учетом температурной зависимости поглощательной способности
- •0.3.1. Изменение поглощательной способности окисляющихся материалов при лазерном нагревании. Тепловая неустойчивость
- •0.3.2. Интерференционные явления в окисном слое
- •0.4. Лазерное плавление поверхности
- •0.4.0. Вакансионная модель плавления
- •Контрольные вопросы к разделу 1
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов
- •1.0. Общая характеристика механизмов лазерного разрушения
- •1.0. Механическое низкотемпературное разрушение хрупких материалов
- •1.0.0. Разрушение упругими напряжениями
- •1.0.1. Разрушение остаточными напряжениями
- •1.1. Химические механизмы разрушения
- •1.2. Высокотемпературные механизмы с участием испарения
- •1.3. Поляритонный механизм формирования лазерно-индуцированного поверхностного рельефа
- •1.4. Лазерное испарение
- •1.4.0. Кинетика испарения плоской поверхности
- •1.4.0.0. Испарение в вакуум и среду с противодавлением
- •1.4.0.1. Температурная граница перехода от нагрева к испарению
- •1.4.1. Теплофизика перехода от нагрева к испарению
- •1.4.2. Одномерная задача о лазерном нагреве с испарением
- •1.4.2.0. Установление стационарного режима. Определение квазистационарных параметров
- •1.4.2.1. Зависимость температуры и скорости лазерного разрушения от плотности светового потока.
- •1.4.3. Вытеснение расплава избыточным давлением паров
- •1.5. Свойства лазерного пара и плазмы, их влияние на процесс разрушения
- •Контрольные вопросы к разделу 2
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред
- •0.0. Физические представления об оптическом пробое идеальных диэлектриков
- •0.0.0. Оптический пробой газов
- •0.0.1. Оптический пробой идеально чистых твердых тел
- •0.1. Тепловой механизм оптического пробоя реальных сред
- •0.1.0. Основные экспериментальные закономерности и особенности оптического пробоя и разрушения оптически неоднородных сред
- •0.1.1. Тепловая неустойчивость
- •0.1.2. Статистическая концепция оптического пробоя
- •0.1.3. Размерная зависимость порога пробоя
- •Контрольные вопросы к разделу 3
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы
- •0.0. Двухтемпературная модель при сверхкоротком воздействии
- •0.1. Особенности экспериментального изучения воздействия фемтосекундных лазерных импульсов на материалы
- •0.2. Особенности разлета вещества при фемтосекундном лазерном воздействии
- •0.3. Плавление при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.3.0. Термическое плавление с высокими скоростями
- •0.3.1. Нетермическое плавление
- •0.4. Фотофизическая абляция
- •0.5. Уплотнение электронного газа и кулоновский взрыв в поверхностном слое проводника
- •0.6. Формирование лазерно-индуцированного поверхностного рельефа при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.6.0. Механизм образования поверхностных периодических структур при воздействии сверхкоротких импульсов
- •0.6.1. Резонансная дифракция на плоской поверхности с периодической модуляцией оптических свойств
- •0.6.2. Формирование периодического профиля поля температур
- •0.6.3. Эволюция периодических поверхностных структур в расплавленном поверхностном слое
- •0.7. Силовое действие сверхкоротких импульсов на прозрачные диэлектрики
- •Контрольные вопросы к разделу 4
- •Список рекомендуемой литературы
- •Кафедра лазерных технологий и экологического приборостроения
- •История кафедры лт и эп делится на
- •4 Разных периода:
- •1) Лазерное формирование многофункциональных зондов (мз) для зондовой микроскопии с целью создания универсальных зондовых микроскопов.
- •3) Наноструктурирование тонких металлических и полупроводниковых слоев.
- •4) Управление микрогеометрией, наношероховатостью и физико–химичекими свойствами поверхности материалов
- •2. Лаборатория лазерной очистки и реставрации произведений культуры и искусства (пкин) организована совместно с фирмой ооо «Мобильные лазерные системы».
- •Взаимодействие лазерного излучения с веществом (силовая оптика).
0.6.3. Эволюция периодических поверхностных структур в расплавленном поверхностном слое
После
окончания лазерного импульса электронная
и решеточная температуры выравниваются
(
,
)
, поверхностный слой плавится. При
наличии температурной решетки за счет
теплового расширения расплава происходит
формирование периодического профиля
поверхности с глубиной
,
где
- эффективная глубина
пространственно-модулированного
прогрева,
- коэффициент теплового расширения
расплава. Силы поверхностного натяжения
стремятся сгладить периодическую
структуру. Решение уравнений гидродинамики
в приближении тонкого слоя с учетом
поверхностного натяжения и вязкости
расплава дает зависимость глубины
поверхностного профиля от времени:
.
Время
сглаживания рельефа
при
,
,
определяется выражением
,
(0.32)
в
котором
- динамическая вязкость,
- поверхностное натяжение.
Для реализации механизма, основанного на пространственно-модулированном тепловом расширении жидкого слоя, требуются быстрое затвердевание за счет диффузии тепла в глубь образца и медленная релаксация пространственно-модулированного температурного поля за счет диффузии тепла в плоскости границы. Сравним характерные времена соответствующих процессов.
Требуемые
для оценки времени релаксации
периодического профиля на жидкой
поверхности (формула (0.32)) значения
поверхностного натяжения и вязкости
для жидкого графита неизвестны. Однако
отношение этих двух характеристик для
жидких металлов меняется в сравнительно
узких пределах. Для совокупности жидких
,
,
,
и
это отношение порядка
с/см. Считая, что для жидкого графита
эта величина не выходит далеко за эти
пределы, и полагая
2•10-6
см,
105
см-1, получаем оценку
1
нс. Время релаксации пространственно-модулированного
температурного профиля за счет диффузии
тепла в плоскости границы образца
определяется выражением
,
в котором
- коэффициент температуропроводности.
Полагая
0,1
см2/с, при
105
см-1 имеем
1
нс. Затвердевание поверхности в
рассматриваемом режиме лазерных
воздействий происходит за времена
порядка
100
пс.
Сопоставив
времена
,
и
,
приходим к выводу, что до затвердевания
расплавленного приповерхностного слоя
сохраняется пространственная модуляция
температуры поверхности, с одной стороны,
и, вместе с тем, периодический поверхностный
профиль не успевает сгладиться за счет
поверхностного натяжения, с другой. Все
это дает основание полагать, что
предложенный механизм формирования
периодических поверхностных структур
за счет теплового расширения расплавленного
приповерхностного слоя графита
соответствует проведенному эксперименту.
Следует отметить, что характер и качество образующихся периодических поверхностных мод в значительной мере зависит от первоначального состояния поверхности. Кроме того, при интенсивностях ~ 1012 Вт/см2 могут оказаться заметными полевые поправки к диэлектрической проницаемости, что может привести к зависимости периода поверхностных структур от плотности мощности лазерного излучения.
Что касается образования периодических структур на поверхности кремния (рис. 0.24), то для возникновения поверхностной электромагнитной волны кремний требуется расплавить, чтобы его диэлектрическая проницаемость стала отрицательной. В условиях фемто- и пикосекундного воздействия это становится возможным при реализации механизмов «холодного» плавления.
