- •Часть II
- •Содержание
- •0. Лазерный нагрев материалов 7
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов 92
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред 136
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы 150
- •Введение
- •0. Лазерный нагрев материалов
- •0.1. Общая характеристика нагревания лазерным излучением
- •0.0.0. Тепловые эффекты в конденсированных средах
- •0.0.1. Основные особенности температурной кинетики при лазерном воздействии на металлы
- •0.0.2. Теплопроводностные механизмы отвода тепла. Уравнение теплопроводности, начальное и граничные условия
- •0.1. Термические эффекты, сопровождающие лазерный нагрев
- •0.1.0. Термомеханические эффекты
- •0.1.1. Фазовые переходы в твердом состоянии (лазерное упрочнение)
- •0.1.2. Эмиссионные процессы
- •0.1.3. Основные особенности лазерной активации процессов аррениусовского типа. Лазерное окисление
- •0.1.4. Диффузионно-химические явления
- •0.1.5. Экзотермические эффекты при импульсном лазерном воздействии на металлы
- •0.2. Линейные режимы лазерного нагрева
- •0.2.0. Понятие температуры электронной и решеточной подсистем
- •0.2.1. Нагрев полупространства экспоненциально спадающим с глубиной тепловым источником
- •0.2.2. Нагрев металла импульсным излучением постоянной мощности
- •0.2.3. Нагрев материала лазерным пучком с гауссовым профилем
- •0.2.4. Нагрев материала постоянным лазерным излучением, луч сфокусирован в пятно круглого сечения
- •0.2.5. Влияние временной зависимости интенсивности лазерного излучения
- •0.2.6. Лазерный нагрев тонких слоев и пленок
- •0.2.7. Нагрев материалов в интерференционном лазерном поле
- •0.2.8. Особенности нагрева материала движущимся световым пятном.
- •0.3. Нелинейные режимы лазерного нагрева
- •0.3.0. Нагрев с учетом температурной зависимости поглощательной способности
- •0.3.1. Изменение поглощательной способности окисляющихся материалов при лазерном нагревании. Тепловая неустойчивость
- •0.3.2. Интерференционные явления в окисном слое
- •0.4. Лазерное плавление поверхности
- •0.4.0. Вакансионная модель плавления
- •Контрольные вопросы к разделу 1
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов
- •1.0. Общая характеристика механизмов лазерного разрушения
- •1.0. Механическое низкотемпературное разрушение хрупких материалов
- •1.0.0. Разрушение упругими напряжениями
- •1.0.1. Разрушение остаточными напряжениями
- •1.1. Химические механизмы разрушения
- •1.2. Высокотемпературные механизмы с участием испарения
- •1.3. Поляритонный механизм формирования лазерно-индуцированного поверхностного рельефа
- •1.4. Лазерное испарение
- •1.4.0. Кинетика испарения плоской поверхности
- •1.4.0.0. Испарение в вакуум и среду с противодавлением
- •1.4.0.1. Температурная граница перехода от нагрева к испарению
- •1.4.1. Теплофизика перехода от нагрева к испарению
- •1.4.2. Одномерная задача о лазерном нагреве с испарением
- •1.4.2.0. Установление стационарного режима. Определение квазистационарных параметров
- •1.4.2.1. Зависимость температуры и скорости лазерного разрушения от плотности светового потока.
- •1.4.3. Вытеснение расплава избыточным давлением паров
- •1.5. Свойства лазерного пара и плазмы, их влияние на процесс разрушения
- •Контрольные вопросы к разделу 2
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред
- •0.0. Физические представления об оптическом пробое идеальных диэлектриков
- •0.0.0. Оптический пробой газов
- •0.0.1. Оптический пробой идеально чистых твердых тел
- •0.1. Тепловой механизм оптического пробоя реальных сред
- •0.1.0. Основные экспериментальные закономерности и особенности оптического пробоя и разрушения оптически неоднородных сред
- •0.1.1. Тепловая неустойчивость
- •0.1.2. Статистическая концепция оптического пробоя
- •0.1.3. Размерная зависимость порога пробоя
- •Контрольные вопросы к разделу 3
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы
- •0.0. Двухтемпературная модель при сверхкоротком воздействии
- •0.1. Особенности экспериментального изучения воздействия фемтосекундных лазерных импульсов на материалы
- •0.2. Особенности разлета вещества при фемтосекундном лазерном воздействии
- •0.3. Плавление при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.3.0. Термическое плавление с высокими скоростями
- •0.3.1. Нетермическое плавление
- •0.4. Фотофизическая абляция
- •0.5. Уплотнение электронного газа и кулоновский взрыв в поверхностном слое проводника
- •0.6. Формирование лазерно-индуцированного поверхностного рельефа при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.6.0. Механизм образования поверхностных периодических структур при воздействии сверхкоротких импульсов
- •0.6.1. Резонансная дифракция на плоской поверхности с периодической модуляцией оптических свойств
- •0.6.2. Формирование периодического профиля поля температур
- •0.6.3. Эволюция периодических поверхностных структур в расплавленном поверхностном слое
- •0.7. Силовое действие сверхкоротких импульсов на прозрачные диэлектрики
- •Контрольные вопросы к разделу 4
- •Список рекомендуемой литературы
- •Кафедра лазерных технологий и экологического приборостроения
- •История кафедры лт и эп делится на
- •4 Разных периода:
- •1) Лазерное формирование многофункциональных зондов (мз) для зондовой микроскопии с целью создания универсальных зондовых микроскопов.
- •3) Наноструктурирование тонких металлических и полупроводниковых слоев.
- •4) Управление микрогеометрией, наношероховатостью и физико–химичекими свойствами поверхности материалов
- •2. Лаборатория лазерной очистки и реставрации произведений культуры и искусства (пкин) организована совместно с фирмой ооо «Мобильные лазерные системы».
- •Взаимодействие лазерного излучения с веществом (силовая оптика).
0.6.1. Резонансная дифракция на плоской поверхности с периодической модуляцией оптических свойств
При
выполнении условий
,
причем
,
поверхностная электромагнитная волна
на поверхности активного материала
будет образовываться во время действия
импульса возбуждения. Поэтому будет
происходить дифракция плоской волны
на плоской поверхности с
пространственно-модулированными
оптическими свойствами, которые
определяются локальной концентрацией
свободных электронов.
Решение задачи о дифракции плоской волны на плоской поверхности с пространственно-модулированными оптическими свойствами приводит к выражениям для векторов электрического и магнитного полей поверхностной волны, которые дают следующее соотношение для интерференционной пространственно-модулированной части мощности поглощенного в единице объема лазерного излучения:
(0.21)
Здесь
- коэффициент отражения, отвечающий
температуре решетки
,
- плотность мощности падающего излучения,
,
-
эффективный поверхностный импеданс,
состоящий из однородной (усредненной
по поверхности) части
и пространственно-модулированной части
,
причем
.
,
(0.22)
,
- составляющие амплитуды поля падающей
волны соответственно в плоскости падения
и перпендикулярно ей,
- угол между векторами
и
;
- угол, определяемый расстройкой резонанса
падающей лазерной волны относительно
поверхностной волны и меняющийся в
пределах
.
(0.23)
Выражение (0.21) для пространственно-модулированной части плотности мощности поглощения отвечает резонансной дифракции с возбуждением одной поверхностной волны с волновым вектором .
0.6.2. Формирование периодического профиля поля температур
Величина
периодически модулированного поглощения
излучения (0.22) является резко избирательной
в отношении вектора периодичности
поверхностной структуры
благодаря резонансу относительно
поверхностной электромагнитной волны.
Поэтому при наличии положительной
обратной связи возникает неустойчивость
формирования периодически модулированного
поля температур в приповерхностном
слое образца. Рассмотрим этот процесс,
используя двухтемпературную модель.
Система уравнений для
пространственно-модулированных частей
температур электронов проводимости и
кристаллической решетки при условиях
,
будет иметь вид
(0.24)
Здесь
и
- теплоемкости соответственно электронов
проводимости и кристаллической решетки,
,
- параметр обмена энергией между
электронами проводимости и кристаллической
решеткой,
- коэффициент электронной теплопроводности.
Неустойчивое решение системы (0.24) будем искать в форме
,
.
(0.25)
Рассмотрим случай относительно длинных лазерных импульсов, когда длина диффузии тепла в глубь образца для пространственно-модулированного прогрева велика в сравнении с толщиной скин-слоя
.
Учитывая, что последний член справа в первом из уравнений (0.24) играет роль поверхностного источника, принимая во внимание (0.21), после подстановки (0.25) в (0.24) получим уравнение для инкремента:
,
(0.26)
в котором введены следующие обозначения:
,
.
(0.27)
В
диапазоне видимого и ближнего инфракрасного
спектра излучения, когда время релаксации
импульса электронов проводимости
удовлетворяет неравенству
,
величина
в выражении (0.21) при температурах выше
дебаевской, когда
,
слабо зависит от температуры решетки,
вещественна, и близка к единице
.
В этих условиях, с учетом выражений (0.21) и (0.23) из уравнения (0.26) следует, что в рассматриваемом режиме при интенсивностях излучения ниже порогового значения, определяемого по порядку величины выражением
,
(0.28)
нарастающее во времени решение системы уравнений (0.24) отсутствует и, следовательно, периодическая поверхностная структура не образуется.
При интенсивностях выше пороговых, инкремент нарастания температуры решетки в режиме пространственной модуляции согласно уравнению (0.26) будет
.
(0.29)
Из
равенства (0.29) и соотношений (0.21)-(0.23)
следует, что к моменту окончания лазерного
импульса в рассматриваемом режиме
вещественная часть показателя экспоненты
в соотношениях (0.25),
,
приближенно равна
,
.
(0.30)
Углы
и
в соотношениях (0.21)-(0.23) определены путем
максимализации вещественной части
инкремента.
Рассмотрим формирование температурной решетки при малой по сравнению с толщиной скин-слоя длине диффузии тепла в глубь образца для пространственно-модулированного прогрева, когда
.
В этом случае в системе уравнений (0.24) можно пренебречь влиянием теплопроводности. Тогда, с учетом соотношений (0.21)-(0.23) следует, что к моменту окончания лазерного импульса будет:
.
(0.31)
Формирование
пространственно-модулированного поля
температур (температурной решетки), а,
следовательно, и весь процесс формирования
периодических структур в рассматриваемых
условиях является пороговым. Оценим
пороговую интенсивность, определяемую
выражением (0.28). Полагая
1012 Вт/см3К,
3
105 см-1,
0,7,
1
Вт/смК,
1.6
Дж/см3К,
10-13
с,
103 К, из (0.27) получаем
3, из (0.28) находим
2
1010 Вт/см2.
При
принятых выше значениях величин
и
,
длительности лазерного импульса
10-12
с и плотности энергии 0,1-0,5 Дж/см2,
учитывая, что вещественная часть
показателя экспоненты в (0.25) к моменту
окончания лазерного импульса должна
быть велика (
10),
получим, что в эксперименте реализуются
условия малой по сравнению с толщиной
скин-слоя длине диффузии тепла. Поскольку
(см. (0.24), (0.25)), а величина пороговой
интенсивности (0.28) отвечает условию
,
то при
справедливо соотношение между периодически
модулированными частями температур
электронов и решетки
.
То
есть формирование температурной решетки
может происходить лишь в условиях
значительного отрыва модулированной
части электронной температуры
от
(поскольку
),
который возможен при отрыве
от
.
