- •А. Н. Мурашкевич, н. В. Богомазова, о. А. Алисиенок
- •Химическая технология квантовой и
- •Твердотельной электроники
- •Предисловие
- •Методические указания к выполнению курсовых проектов (работ)
- •1.1. Тематика курсовых проектов (работ)
- •1.2. Указания к выполнению технологической курсовой работы
- •1.2.1. Общие указания
- •1.2.2. Аналитический обзор литературы
- •1.2.3. Инженерные решения
- •1.2.4. Технологический раздел
- •1.2.4.1. Структура и содержание
- •1.2.4.2. Указания по проведению технологических расчетов
- •Сравнительная характеристика интегральной планарной и керамической технологий
- •Основной состав исходной шихты
- •Сводная таблица материального баланса процесса спекания заготовок позисторов (для одной лодочки с 672 заготовками)
- •Материальный баланс процесса напыления пленки Al (для единичной загрузки камеры напыления)
- •Материальный баланс процесса травления фсс
- •1.2.5. Контроль качества продукции и метрологическое обеспечение технологии
- •1.2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •1.3. Курсовой проект по оборудованию и основам проектирования производств материалов и изделий электронной техники
- •1.3.1. Обоснование выбора типа аппарата
- •1.3.2. Технологический расчет аппарата
- •1.3.3. Конструирование электропечей сопротивления
- •1.3.4. Расчет электропечей сопротивления
- •Материальный баланс процесса обжига изделий
- •1.3.5. Конструирование нагревательных элементов
- •Сводный тепловой баланс обжига в электропечи сопротивления
- •Основные характеристики материалов, применяемых для изготовления нагревательных элементов [5]
- •Рекомендуемые и максимально допустимые температуры работы нагревателей в зависимости от условий эксплуатации [7]
- •Сплавы, рекомендуемые для работы в специальных атмосферах [7]
- •Максимальное отношение d / d для спиральных нагревателей
- •Максимальная высота зигзага проволочных нагревателей, мм
- •Максимальная высота зигзага ленточного нагревателя, мм
- •Удельное электрическое сопротивление металлов, (Оммм2)/м
- •1.3.6. Расчет нагревательных элементов
- •Коэффициент степени черноты некоторых материалов
- •Значения коэффициента эф для различных систем нагревателей
- •Значения коэффициента эф при нагреве материалов с различной степенью черноты поверхности [1]
- •Относительная мощность стен для нагревателей различного вида
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности ленточного нагревателя, размещаемые на 1 м2 поверхности футеровки
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности проволочного нагревателя, размещаемые на 1 м2 футеровки
- •Характеристики карборундовых нагревателей
- •Допустимая удельная поверхностная мощность на нагревателях
- •Допустимые мощности n, удельные поверхностные мощности и напряжения u различных типоразмеров нагревателей из дм
- •1 .3.7. Расчет вакуумной системы
- •Проводимости и распределение давления по длине низковакуумного участка системы
- •Результирующая таблица вакуумной системы
- •1.4. Графическая часть проекта
- •2 . Выполнение дипломных проектов (работ)
- •2.1. Тематика дипломных проектов (работ)
- •2.2 Структура дипломных проектов (работ)
- •Структура основной части дипломных проектов и работ
- •2.3 Указания по выполнению разделов пояснительной записки
- •2.3.1. Обоснование научной или производственной задачи
- •2.3.2. Технологический раздел
- •Материальный баланс установки химико-механического полирования кремниевых пластин
- •Материальный баланс стадии осаждения диоксида титана
- •2.4. Автоматизация производства
- •2.5. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства
- •2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •2.7 Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности
- •2.8. Экономический раздел
- •Основные технико-экономические показатели модернизации производства постоянных магнитов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация технологических потоков на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация потоков на аппаратурно-технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства ферритных изделий
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства ферферритных изделий
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Фундаментальные физико-химические константы
- •Термодинамические свойства некоторых веществ
- •Параметры удельного газовыделения конструкционных материалов
- •Коэффициенты, характеризующие процесс газопроницаемости материалов
- •Теплофизические свойства огнеупорных и теплоизоляционных материалов
- •Литература
- •Оглавление
- •Химическая технология квантовой и твердотельной электроники
- •220006. Минск, Свердлова, 13.
Допустимая удельная поверхностная мощность на нагревателях
Температура в печи, °С |
Поверхностная мощность, Вт/см2 |
1150 |
19,0 |
1200 |
17,0 |
1250 |
14,5 |
1300 |
11,5 |
1350 |
7,5 |
1385 |
5,0 |
1400 |
3,6 |
Мощность одного нагревателя N, кВт, находят по формуле
N = fраб, |
(88) |
где fраб – площадь наружной поверхности рабочей части нагревателя, м2 (определяют по табл. 20).
Небольшой мощностью, выделяемой в токоподводах, обычно пренебрегают.
Падение напряжения на одном нагревателе U, В, равно
U
=
|
(89) |
где R – сопротивление нагревателя, Ом.
Поскольку исходное сопротивление нагревателей колеблется в широких пределах, а также сильно меняется в процессе эксплуатации, необходимо определить верхний и нижний предел изменения напряжения U. Для определения нижнего предела в формулу (87) подставляют меньшее значение сопротивления, приведенного в табл. 24. Верхний предел напряжения определяют по наивысшему значению сопротивления и увеличивают полученное значение в 2,5–3,0 раза для учета «старения» нагревателя, возможного падения напряжения питающей сети и выделения мощности в выводах нагревателей.
Зная заданную мощность печи и мощность одного нагревателя, можно найти общее число нагревателей. Затем, выбирая схему включения нагревателей (параллельно или последовательно) и ориентируясь на напряжения, необходимые для питания одного нагревателя, определяют значение верхней и нижней ступеней трансформатора. После этого устанавливают необходимые промежуточные ступени напряжения трансформатора.
1.3.6.3. Расчет нагревателей из дисилицида молибдена. Металлокерамические нагреватели из MoSi2 целесообразно применять в тех случаях, когда требуется нагрев изделия до температур 1350–1550°С. Температуры нагревателя при этом достигают значений 1450–1680оС.
Основные характеристики нагревателей приведены в табл. 24.
Таблица 24
Допустимые мощности n, удельные поверхностные мощности и напряжения u различных типоразмеров нагревателей из дм
Тип нагревателя |
Раз-вернутая длина рабо-чей части, м |
Повер-хность рабо-чей части, 10-4 м2 |
Сопро-тивление двух выводов при 700°С 2Rвыв, Ом |
Температура,оС |
|||||
1400 |
1500 |
1600 |
|||||||
N, кВт |
U, B |
N, кВт |
U, B |
N, кВт |
U, B |
||||
ДМ- 180/250 |
0,39 |
72,4 |
0,0068 |
1,26 |
8,5 |
1,06 |
7,95 |
0,606 |
6,00 |
ДМ- 180/400 |
0,0108 |
1,35 |
9,1 |
1,135 |
8,5 |
0,650 |
6,45 |
||
ДМ-250/250 |
0,53 |
99,4 |
0,0068 |
1,67 |
11,2 |
1,41 |
10,5 |
0,805 |
8,00 |
ДМ-250/400 |
0,0108 |
1,76 |
11,8 |
1,49 |
11,1 |
0,89 |
8,60 |
||
ДМ-315/250 |
0,66 |
124,2 |
0,0068 |
2,05 |
13,7 |
1,74 |
12,9 |
0,99 |
9,80 |
ДМ-315/400 |
0,0108 |
2,14 |
14,3 |
1,81 |
13,4 |
1,03 |
10,4 |
||
ДМ-3 15/500 |
0,0135 |
2,20 |
14,7 |
1,86 |
13,8 |
1,06 |
10,5 |
||
ДМ-400/250 |
0,83 |
156,0 |
0,0068 |
2,54 |
17,0 |
2,16 |
16,0 |
1,23 |
12,1 |
ЦМ-400/400 |
0,0108 |
2,64 |
17,6 |
2,23 |
16,6 |
1,27 |
12,5 |
||
ДМ-400/500 |
0,0135 |
2,70 |
18,0 |
2,28 |
16,9 |
1,30 |
12,8 |
||
ДМ-500/250 |
1,03 |
194,0 |
0,0068 |
3,13 |
20,9 |
2,64 |
19,6 |
1,51 |
15,0 |
ДМ-500/400 |
0,0108 |
3,22 |
21,5 |
2,72 |
20,2 |
1,55 |
15,3 |
||
ДМ-500/500 |
0,0135 |
3,29 |
22,0 |
2,77 |
20,5 |
1,58 |
16,6 |
||
ДМ-630/250 |
1,29 |
243,0 |
0,0068 |
3,87 |
26,0 |
3,28 |
24,4 |
1,88 |
18,5 |
ДМ-630-400 |
0,0108 |
3,96 |
26,5 |
3,35 |
24,8 |
1,93 |
19,0 |
||
ЦМ-630/500 |
0,0135 |
4,01 |
27,0 |
3,40 |
25,2 |
1,95 |
19,2 |
||
ЦМ-800/700 |
1,63 |
307,0 |
0,0200 |
5,15 |
34,5 |
4,36 |
33,2 |
2,48 |
24,5 |
, кВт/м2 |
153 |
130 |
74 |
||||||
Примечание. ДМ-315/250 означает: длина рабочей части 315 мм, длина вывода 250 мм.
Электрическое сопротивление нагревателей из ДМ при комнатной температуре низко, но оно резко возрастает с повышением температуры. Вследствие этого электропечи с нагревателями из ДМ всегда снабжены понизительными трансформаторами с набором промежуточных ступеней напряжения. Наиболее распространенная форма нагревателей из ДМ U-образная.
Расчет нагревателей из ДМ аналогичен расчету карборундовых нагревателей. Величина коэффициента в формуле (76) имеет постоянное значение, поскольку при стандартной форме нагревателя коэффициент г = 1,27 и = эфг = 0,68 1,27 = 0,87.
Мощность рабочей части нагревателя из ДМ Nраб находят по формуле (88), причем значение fраб берут из табл. 24.
Полную мощность нагревателя N, кВт, с учетом мощности, выделяемой в выводах, находим по формуле
N
= Nраб
(1 +
|
(90) |
г
, 106 Ом м
де Rвыв – сопротивление одного вывода нагревателя при температуре t, Ом; Rраб – сопротивление рабочей части при температуре t, Ом.Для стандартной формы нагревателя из ДМ с dраб = 6 мм, dвыв = 12 мм, средней по длине температуре выводов 700°С мощность равна
N
= Nраб
(1 + |
(91) |
где lвыв и lраб – соответственно длина одного вывода и развернутая длина рабочей части нагревателя, м; раб – удельное электрическое сопротивление рабочей части нагревателя при температуре t, Омм (рис. 13).
Полное сопротивление нагревателя R, Ом, вычисляют по формуле
R = 3,54 104(раб lраб + 0,75 10-6 lвыв). |
(92) |
При включении холодной печи пусковое напряжение в течение 2–10 мин должно постепенно увеличиваться до величины, составляющей 30–35% рабочего напряжения. В момент пуска мощность печи будет превышать величину N.

,
),
),